The Mass Flow Controller(MFC) has become crucial in semiconductor manufacturing equipments. It is an important element because the quality and the yield of a semiconductor process are decided by the accurate flow control of gas. Therefore, the demand for the high speed and the highly accurate control of MFCs has been requested. It is hard to find an article of the control algorithm applied to MFCs. But, it is known that commercially available MFCs have PID control algorithms. Particularly, when the system detects the flow by way of heat transfer, MFC control problem contains the time delay and the nonlinearity. In this presentation, MFC control algorithm with the superior performance to the conventional PID algorithm is discussed and the superiority is demonstrated through the experiment. Fuzzy controller was utilized in order to compensate the nonlinearity and the time delay, and the performance is compared with that of a product currently available in the market. The control system, in this presentation, consists of a personal computer, the data acquisition board and the control algorithm carried out by LabWindows/CVI program on the PC. In addition, the method of estimating an actual flow from sensor output containing the time delay and the nonlinearity is presented. In conclusion, according to the result of the experiment, the proposed algorithm shows better accuracy and is faster than the conventional controller.
Kim, Young-Bong;Rhee, Dong-Ho;Lee, Youn-Seok;Cho, Hyung-Hee
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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v.28
no.3
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pp.304-314
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2004
An experimental study has been conducted to measure the temperature fields and the local film cooling effectiveness for two and three staggered rows of the rectangular shaped-holes with various blowing rates. The hydraulic diameter of rectangular-shaped hole is 10mm. To compare with the film cooling performance of rectangular-shaped hole, two kinds of circular holes are tested. One has the same hydraulic diameter as the rectangular hole and the other has the same cross sectional area. Also, rectangular holes with expanded exit with same inlet area as rectangular ones are tested. Temperature fields are measured using a thermocouple rake attached on three-axis traversing system. Adiabatic film cooling effectiveness on the surface are obtained based on experimental results of thermochromic liquid crystals. The film cooling effectiveness is measured for various blowing rates and compared with the results for the cylindrical holes. In case of 2 rows, the rectangular holes has better performance than circular holes due to its slot-like geometry. In case of 3 rows, the effecta of hole shape is not clear.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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v.24
no.9
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pp.1264-1276
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2000
Light-off catalyst has been used for minimization of cold-start emissions. Improved cold-start performance of light-off catalyst needs the optimal design in terms of flow distribution, geometric surface area, precious metal loading, cell density and space velocity. In this study, these influential factors are numerically investigated using integrated numerical technique by considering not only 3-D fluid flow but also heat and mass transfer with chemical reactions. The present results indicate that uneven catalyst loading of depositing high active catalyst at upstream of monolith is beneficial during warm-up period but its effect is severely deteriorated when the space velocity is above 100,000 $hr^{-1}$ To maximize light-off performance, this study suggests that 1) a light-off catalyst be designed double substrate type; 2) the substrate with high GSA and high PM loading at face be placed at the front monolith; and 3) the cell density of the rear monolith be lower to reduce the pressure drop.
Korean Journal of Air-Conditioning and Refrigeration Engineering
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v.10
no.4
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pp.475-482
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1998
In this paper, an experimental study was conducted to investigate the performance of the spherical ice particle production system which uses the technology of water spray in a vacuum chamber for increasing the heat transfer area. As a result, following conclusions were obtained. The diffusion-controlled evaporation model agreed relatively well with experiments. The spray flow rate influences the performance of the system rather than any other factors, for example, the spray nozzle position, the nozzle number. As the spray rate increases, the system efficiency increases. It is due to the entrainment of small droplets among the spray with the exhausted vapor. Thus the system should be designed and operated to prevent the entrainment. Assuming the compressor efficiency to be 70%, the COP of the system reaches highly up to 6 at a maximum spray rate. Under the conditions, however, the rigid ice layer is obtained because ice particles bond together with increase of the spray rate. Therefore, the spray rate should be controlled properly to make the spherical ice particles.
Because of its rustproof property, stainless steel is widely used in kitchen appliances, building materials, electronics, chemical plants and automobile exhausts. In addition, the utilization of stainless steel for fuel cell application is growing. As the demand for this material increases, it is necessary to study the basic properties of stainless steel such as corrosion resistance, heat transfer, formability, cutting or shearing ability and weldability. In this article, the mechanical properties, formability and press forming performance of stainless steel are reviewed. Since temperature and strain rate affect the press forming performance of STS304(austenitic) stainless steel, the influence of these parameters on the plastic behavior should be investigated. Moreover, measures for the prevention of ridging of STS430(ferritic) and delayed fracture of STS430, which respectively appear during and after press forming, should be considered. Recently, stainless steel sheets with a thickness lower than 0.2 mm have been widely used in applications for mobile phone, digital camera and fuel cell separator. Therefore, there is a growing interest of studying the grain size effect and plasticity at the crystal scale in order to understand the anisotropic behavior and micro forming ability of thin sheets. This review paper was written with the objective of helping engineers and researchers to understand the forming characteristics of stainless steel and to establish standards in plastic forming techniques.
A modern optical fiber manufacturing process requires the sufficient cooling of glass fibers freshly drawn from the heated and softened silica preform in the furnace, since the inadequately cooled glass fibers are known to cause improper polymer resin coating on the fiber surface and to adversely affect the product quality of optical fibers. In order to greatly enhance the fiber cooling effectiveness at increasingly high fiber drawing speed, it is necessary to use a dedicated glass fiber cooling unit with helium gas injection between glass fiber drawing and coating processes. The present numerical study features a series of three-dimensional flow and heat transfer computations on the cooling gas and the fast moving glass fiber to analyze the cooling performance of glass fiber cooling unit, in which the helium is supplied through the discretely located rectangular injection holes. The air entrainment into the cooling unit at the fiber inlet is also included in the computational model and it is found to be critical in determining the helium purity in the cooling gas and the cooling effectiveness on glass fiber. The effects of fiber drawing speed and helium injection rate on the helium purity decrease by air entrainment and the glass fiber cooling are also investigated and discussed.
Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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2002.11b
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pp.1010-1014
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2002
A new type actuator has been designed and investigated to overcome thermal problems in slim optical disc drive which is adopted in mobile storage devices. Recently, in optical storage device technical trends, the size of optical disc drives is slimmer to adopt notebook computer and the spindle rotate velocity is faster to achieve high transfer rate and the power of actuator is higher to perform tilting, etc. However, these trends of optical disc drives tend to raise the environment temperature of drives, actuator power and parts temperature. Moreover, it is more difficult to remove the heat inside a drive and the temperature of an actuator increases and drive slims. As a result, increase of surface temperature of actuator body caused that second resonance of an actuator moves down to a lower frequency band and the performance of optical parts also deteriorates. Especially objective lens, coil and magnet of the actuator parts are easily damaged. To manage these thermal problems, in this paper an actuator with a hybrid blade, which is composed of vectra which has low thermal conductivity and magnesium which has high thermal conductivity, has been suggested and verified. Despite the high temperature environment, the proposed actuator showed good dynamic performance.
International Journal of Aeronautical and Space Sciences
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v.15
no.1
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pp.102-111
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2014
An analytical model was developed to understand the physics and predict the functional performance of a pin puller. The formulated model is based on one-dimensional gas dynamics for an ideal gas. Resistive forces against pin shaft movement were measured in quasi-static mechanical tests, the results of which were incorporated into the model. The expansion chamber pressure and the pin shaft displacement were measured from an actual firing test and compared to the model prediction. The gas generation rate was adjusted by a correction factor, and the heat transfer rate was obtained through parametric analysis. The validity of the model is assessed for additional firing tests with different amounts of pyrotechnic charge. This model can provide knowledge on how the pin puller functions, and on which design parameters contribute the most to the actuation of the pin puller. Using this model, we estimate the functional safety factor by comparing the energy generated by the pyrotechnic charge to the energy required to accomplish the function.
Premixed combustion within porous ceramic media is numerically studied to understand burning characteristics and to find best configurations for burner implementations. Among many parameters, critical to burner performance, flame location and extinction coefficient are selected as major parameters for this study. The flame structure and burner performance with respect to these two parameters are observed. In the study, it is found that the location of flame is the most important in porous burner operation since it affects the rate of heat transfer and flame structure. Stability of the flame within the porous ceramic burner is discussed with respect to the flame location. It is found that to obtain high radiative output, the flame should be located downstream section of the burner. But the flame is to be unstable at most of downstream section except near the exit plane. To overcome this problem, new porous ceramic burner, using different ceramic properties in one burner instead of single property ceramic, is made and tested. With a combination of ceramics of high extinction coefficient at upstream and another material of low extinction coefficient at downstream of the burner, the flame can be stabilized at wider region of the burner with higher radiative output compared to the original burner configuration.
Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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2011.11a
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pp.636-640
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2011
Film cooling technique has been applied to effectively reduce thermal load on liquid rocket combustion chambers by direct injection of a portion of propellant, which flows through the regeneratively cooling channels, into the chamber wall. This study developed a comprehensive model to quantitatively predict the effects of kerosene film cooling on propulsive performance and wall cooling at supercritical pressure conditions, and assessed the predictive capability against hot-firing tests of an actual combustor. The present model is expected to be utilized as a design and analysis tool to meet the conflicting requirements in terms of performance, cooling, pressure loss and weight.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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