마이크로미터 변위 측정을 위한 비접촉식 전기용량 센서 개발
(Development of a Non-contacting Capacitive Sensor for Measurement of ${\mu}{\textrm}{m}$ -order Displacements)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2001년도 하계학술대회 논문집
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- pp.768-771
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- 2001