Design and analysis of two-dimensional binary phase masks for the fabrication of two-and three-dimensional periodic structures (2차원 및 3차원의 주기적인 구조 제작을 위한 2차원 이진 위상마스크의 설계와 분석)
-
- Korean Journal of Optics and Photonics
- /
- v.12 no.1
- /
- pp.17-24
- /
- 2001