In silicon wafer manufacturing process, the grinding process has been adopted to improve the quality of wafer such as flatness, roughness and so on. This paper describes the effect of grinding process on the surface quality of wafer. The experiments are carried out by high precision in fred grinder with air bearing spindle. The relationship between the inclination of chuck table and the flatness of wafer is investigated, and the effect of grinding conditions including wheel speed, table speed, and feed rate on damage depth and roughness of wafer is also investigated. The experimental results show that there is close relationship between the inclination of the chuck table and the flatness of wafer, and the grinding conditions within this paper little affect the flatness of wafer and relatively high affect the damage depth of wafer.
International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
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제2권1호
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pp.81-86
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2001
This paper deals with the monitoring of grinding wheel wear in surface grinding process. A monitoring system, which makes use of a laser scanning micrometer, is developed to measure the circumferential shape as well as the axial profile of grinding wheel. The monitoring system is applied to surface grinding processes. The experimental results show that the developed monitoring system is useful not only for monitoring the amount of wear in grinding wheel but also for evaluation the quality of ground surface and determining proper derssing time for the grinding wheel.
Grinding operations is accomplished by rotating a gfinding wheel with lots of random abrasive at high speed, and its object is generally obtained the fanal workpiece surface of high quality as well as the maximization of workpiece removal rate. But, especiallysince grinding operations is related with a large amount of functional parameter, it is actually difficult to therapy that the grinding trouble occurs during the grinding process. Therefore, we trytodesign grinding trouble-shooting system utilizing the back-propagation model of neural network. The conceptual method is produced byidentifying the four parameters derived from the grinding power, and we are design te to the grinding trouble-shooting system on the basis of their data. In this paper, cognition and therapy method tothe grinding trouble which utilizes neural network based four identified models are suggested, and implementation results of computer simulation with respect to the grinding burn and chatter vibration is presented.
International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
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제8권3호
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pp.14-19
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2007
Rapid prototyping (RP) technology can fabricate any 3D physical model regardless of geometric complexity using the layered manufacturing (LM) process. Stereolithography (SL) is the best-known example of RP technology. In general, the surface quality of a raw SL-generated part is unsatisfactory for industrial purposes due to the step artefact created by the LM process. Despite of the increased number of applications for SL parts, this side effect limits their uses. In order to improve their surface quality, additional post-machining finishing, such as traditional grinding, is required, but post-machining is time consuming and can reduce the geometric accuracy of a part. Therefore, this study proposes a post-machining technology combining coating and grinding processes to improve the surface quality of SL parts. Paraffin wax and pulp are used as the coating and grinding materials. By grinding the coating wax only up to the boundary of the part, the surface smoothness can be improved without damaging the surface. Finally, moulding and casting experiments were performed to confirm the suitability of the SL parts finished using the proposed process with rapid tooling (RT) techniques.
In general, grinding is one of the final machining processes which determines the surface quality of machined products. Since the ground surface is affected by the states of grains and voids on the grinding wheel surface, the wheel should be dressed before the machined surface deteriorates over a quality limit This paper describes a systematic approach to decide a proper dressing chance and an optimal dressing depth for the working grinding wheel. An eddy current sensor and a laser displacement sensor are used to measure the loading on the working wheel surface and the topography of the dressed wheel surface respec- tively. The dressing chance can be properly decided through the relational locus between the amount of handing and the machined surface roughness. An optimal dressing depth to guarantee the less wheel loss and the higher wheel surface quality is decided through the analysis of the variance of topography for the dressed wheel surface, which decreases at three different rates according to the accumulated dressing depth.
As the optical communication industry is developed, the demand of optical communication part is increasing. ZrO$_2$ ceramic ferrule is very important part which can determines the transmission efficiency and information quality to connect the optical fibers. In general ZrO$_2$ ceramic ferrule is manufactured by grinding process because the demands precision is very high. And the co-axle grinding process of ZrO$_2$ ceramic ferrule is to make its concentricity all of uniform before centerless grinding. This paper deals with the analysis of the process parameters such as grinding wheel speed, grinding feedrate and regulating wheel speed as influential factors, on the concentricity and surface finish developed based on Taguchi's experimental design methods. Taguchi s tools such as orthogonal array, signal-to-noise ratio, factor effect analysis, etc. have been used for this purpose optimal condition has been found out. Thus, if possible be finding highly efficient and quality grinding conditions.
Crinding of stainless steel, aluminium alloy, copper alloy, and titanium alloy are difficult to obtain high quality finish, because they have the mechanical properties such as low hardness, high toughness. The low hardness and the high toughness result in the loading of wheel and the poor surface finish. In order to perform the grinding operations for these sorts of materials easily, the discontinuous grinding wheel wiht multi-porous grooves has been newly developed. The multi-porous grooves inthe discontinuous grinding wheel were formed during grinding wheel manufacturing process. In this paper, discontinuous grinding wheels having intermittent ratio 0.66, 0.81 and number of grooves 18,32 have been manufactured and grinding surface characteristics of these grinding wheels for SUS304 have been analyzed. Discontinuous grinding temperature according to intermittent ratiohas been also estimated by simulation. The discontinuous grinding wheels increase the grinding performance considerably. It is desirable to use the discontinuous grinding wheel in grinding the materials with high efficiency and accuracy.
When most manufacturing company produce grinding product operators decide grinding condition by experience and subjective judgment. The study on grinding manufacture have been developed to get the grinding condition with the same result when non-experienced or experienced worker work. The objective of this study is to develope the grinding condition and predict the result of grinding by neural network. Several discussions were made in following areas as; getting MRR with image processing, the architecture optimization of neural network with experiment design, analysis of the input neurons using sensitivity approach. The results showed that the developed approach was the best method in predicting grinding condition with respect to surface finish quality.
As recently optical communication industry is developed, request of optical communication part is increased. Ferrule is very important part which determines transmission efficiency and quality of information in the optical communication part. Most of ferrule processes are grinding which request high processing precision. Particularly, concentricity and cylindricity of inner and outer diameter is very important. The co-axle grinding process of ferrule is to make its concentricity all of uniform before centerless grinding. Surface integrity of ferrule is affected by kind of grinding wheels, grinding conditions, and characteristic of workpiece and equipment. In this study, surface integrity of workpiece according to change of grinding wheel speed, feed rate, regulating wheel speed and grinding force is investigate to improve the concentricity and roundness of ferrule from many experiments.
As a general index in surface quality of machined products, surface roughness is to measure worker's skill level, a ground product quality and machining accuracy, etc. The surface roughness is defined by a function of rotational speed and radius of a grinding wheel, distances of active grains composed of the wheel, and feed of a grinder's worktable. To predict surface roughness in horizontal surface grinding operations, probability distributions were used. Probability distribution functions(p.d.f.) of surface roughness were found as results when the size of active grains(=the radius of a grinding wheel) is given as uniform, exponential distribution, and the distance between active grains follows the distributions of uniform, exponential. For each pdf case, probabilistic features of surface roughness were also analyzed and presented. This study is a substantial step for determining mathematically the surface roughness instead of using empirical approaches. More works should be presented to develop a general model by which an accurate roughness value can be obtained in horizontal surface grinding operations.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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