A study on manufacture and evaluation of CMP pad controllable contact area (접촉 면적을 제어할 수 있는 CMP 패드 제작 방법 및 성능 평가에 관한 연구)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 2004.07a
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- pp.247-251
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- 2004