$SnO_2$ 박막증착을 위한 APCVD Reactor 내 유량 균일도 향상에 대한 수치 해석적 연구
(COMPUTATIONAL ANALYSIS FOR IMPROVING UNIFORMITY OF $SNO_2$ THIN FILM DEPOSITION IN AN APCVD SYSTEM)
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- 한국전산유체공학회:학술대회논문집
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- 한국전산유체공학회 2010년 춘계학술대회논문집
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- pp.567-570
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- 2010