• 제목/요약/키워드: Gas flow analysis

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스퍼터링시 수소첨가가 MIS소자용 AIN절연박막의 전기적특성에 미치는 영향 (Effects of hydrogen addition during sputtering on the electrical properties of AIN insulating films for MIS device application)

  • 권정열;이환철;이헌용
    • 한국수소및신에너지학회논문집
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    • 제10권1호
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    • pp.59-69
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    • 1999
  • 반응성 스퍼터링법으로 AIN 박막을 증착하여 Al/AlN/Si구조의 MIS소자용 절연박막으로서의 응용가능성에 대해 연구하였다. 기판온도 $300^{\circ}C$, RF power 150W, 스퍼터링 압력 5mTorr, 아르곤과 질소 가스유량비 1:1 의 조건에서 5%의 수소가스를 부가적으로 첨가해 주는 시기에 따른 AIN박막의 표면형상변화, I-V특성, C-V특성, 조성을 조사하였다. 수소첨가에 따라 증착속도는 상당히 감소하였으나 표면형상 및 거칠기는 크게 변하지 않았다. I-V특성에서는 AIN 박막 증착시 초기 20분간 수소첨가를 시킨 경우가 후기 20분간 수소첨가를 시킨 경우보다 보다 우수한 절연특성을 보였다. 또한 C-V특성에서도 수소가 첨가됨에 따라 플랫밴드전압이 매우 낮아졌으며, 초기 20분간 수소첨가를 시킨 경우는 히스테리시스를 거의 보이지 않았으나, 후기 20분간 수소첨가를 시킨 경우는 상당한 히스테리시스를 보였다. AES를 이용한 조성분석을 통해 수소가스가 첨가됨에 따라 AIN박막내의 산소농도가 낮아진다는 사설을 발견하였고, 이에 따라 박막의 절연특성 및 C-V특성이 향상될 수 있는 가능성을 보였다.

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반복적인 막 추출과 GC-MS를 이용한 물 중 BTEX의 분석 (Solvent-free determination of BTEX in water using repetitive membrane extraction followed by GC-MS)

  • 김희갑;김세영;이수형
    • 분석과학
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    • 제24권5호
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    • pp.352-359
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    • 2011
  • 용매를 사용하지 않고 반복적으로 막 추출한 후 저온농축과 GC-MS로 물 중 BTEX를 분석하는 방법을 시도하였다. 물로부터 비공성막의 silicone 막을 투과한 BTEX를 He 기체를 통해 $-100^{\circ}C$의 저온 농축장치로 보낸 후 열 탈착과 GC-MS로 분석하였다. 물 시료(30 mL)는 10 mL/min로 흘려주었고, 한 번 추출된 시료는 다시 되돌려서 두 번 더 추출하였다. Benzene에 대한 회수율은 가장 높아 약 80%인 반면에, ethylbenzene과 xylenes에 대한 회수율은 3.5-10%로 낮은 편이었다. 그렇지만, RSD는 모두 10% 미만이었고 검량선의 직선성($r^2$)도 0.9976-0.9997로 높은 편이었으며, 방법검출한계도 1.8 ${\mu}g$/L 이었다. 이 방법은 짧은 추출 시간, 용매의 미사용 및 분석의 편의성의 장점을 갖고 있다.

대기광 관측을 통한 과학기술위성 1호 원자외선분광기(FIMS)의 파장 보정 (FIMS WAVELENGTH CALIBRATION VIA AIRGLOW LINE OBSERVATIONS)

  • 이대희;선광일;박장현;진호;육인수;남욱원;한원용;박재우;이지나;유광선;민경욱
    • Journal of Astronomy and Space Sciences
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    • 제21권4호
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    • pp.391-398
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    • 2004
  • 2003년 9월 27일 과학기술위성 1호가 성공적으로 발사된 이래, 주탑재체인 원자외선분광기(Far-ultraviolet Imaging Spectrograph, FIMS)는 초기 운용 모드를 거쳐 현재까지 정상 관측을 수행하고 있다. FIMS는 전천관측을 통해 우리은하의 뜨거운 가스의 분포를 측정하고 있으며, 초신성 잔해 및 성간운의 수소 방출선, 그리고 지구 대기의 대기광 등에 대한 관측을 수행하고 있다. FIMS의 광학계 및 검출기는 지상에서 특성 평가 및 보정을 마쳤지만, 우주 발사 과정의 진동에 의한 효과, 우주 환경에의 노출 등에 의한 효과로 인해 궤도상 보정이 필수적이다. 한편, 지구 대기에는 수소 및 질소 분자 등이 태양빛을 받아 강한 방출선들을 내는데 이들은 파장 보정의 좋은 기준선들이 된다. 이 논문에서 우리는 FIMS로 대기광 방출선들을 관측하였고, 관측된 방출선을 검출기의 위치에 따라 모델 스펙트럼과 비교하여 그 차이를 구하였으며, 이것을 보정시킴으로써 FIMS의 장파장에서의 분해능 및 정확도를 향상시키는데 기여하였다.

세라믹 모노리스에 담지된 CuO와 ZnO계 촉매에 의한 이산화탄소의 메탄올로의 전환에 관한 연구 (Study on Conversion of Carbon Dioxide to Methyl Alcohol over Ceramic Monolith Supported CuO and ZnO Catalysts)

  • 박철민;안원주;조웅규;송진훈;김기중;정운조;손보균;안병권;정민철;박권필;안호근
    • 한국대기환경학회지
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    • 제29권1호
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    • pp.97-104
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    • 2013
  • Methyl alcohol is one of the basic intermediates in the chemical industry and is also being used as a fuel additive and as a clean burning fuel. In this study, conversion of carbon dioxide to methyl alcohol was investigated using catalytic chemical methods. Ceramic monoliths (M) with $400cell/in^2$ were used as catalyst supports. Monolith-supported CuO-ZnO catalysts were prepared by wash-coat method. The prepared catalysts were characterized by using ICP analysis, TEM images and XRD patterns. The catalytic activity for carbon dioxide hydrogenation to methyl alcohol was investigated using a flow-type reactor under various reaction temperature, pressure and contact time. In the preparation of monolith-supported CuO-ZnO catalysts by wash-coat method, proper concentration of precursors solution was 25.7% (w/v). The mixed crystal of CuO and ZnO was well supported on monolith. And it was known that more CuO component may be supported than ZnO component. Conversion of carbon dioxide was increased with increasing reaction temperature, but methyl alcohol selectivity was decreased. Optimum reaction temperature was about $250^{\circ}C$ under 20 atm because of the reverse water gas shift reaction. Maximum yield of methyl alcohol over CuO-ZnO/M catalyst was 5.1 mol% at $250^{\circ}C$ and 20 atm.

공기중 염화비닐단량체 포집시 온도가 파과현상에 미치는 영향 (The Effect of Temperature on the Breakthrough of Charcoal Tube During Vinyl Chloride Monomer Sampling)

  • 박윤정;이상회;김치년;원종욱;노재훈
    • 한국산업보건학회지
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    • 제8권1호
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    • pp.115-123
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    • 1998
  • Vinyl chloride monomer exists as gas phase at normal temperature and reacts with oxygen and strong oxidant in the air to form oxidized materials. Because of being easily synthesized, it is used as a main source at the synthetic reaction process of PVC synthesis factories. Ministry of Labor regulates its usage as a carcinogen and its exposure level as 1 ppm. But the amount of VCM production in PVC and VCM production process hasn't been exactly estimated. In addition, facilities of this factory are located in outdoor. Therefore, this study was designed to investigate effects of temperature on breakthrough of charcoal tube at a fixed concentration and temperature during VCM sampling based on NIOSH and OSHA methods which were used as methods of occupational environment measuring and analysis. During the sampling of VCM, methods of OSHA and NIOSH require flow rate of 0.05 lpm and sampling volume of $3{\ell}$, $5{\ell}$ respectively, at this time carbon molecular sieve tube and coconut shell charcoal tube are used to observe the breakthrough along with concentration and temperature. As a result, significant difference between average adsorbed amounts of OSHA methods but that of NIOSH methods cannot be found. NIOSH method is likely to be effected by high temperature and normal temperature in high concentration. Breakthrough is not found in the method of OSHA at different conditions of temperature and concentration. As the result of this study we could verify that breakthrough occurred in the process of sampling VCM with NIOSH methods. Therefor in summer time, breakthrough should be considered and research on the breakthrough volume should be done. It is considered the research about the specificity of the coconut shell charcoal and carbon molecular sieve sorbent should be done when sampling VCM in comming days.

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유구낭미충(有鉤囊尾蟲) 낭액(囊液)의 아미노산(酸) 및 유리지방산(遊離脂肪酸)의 정량분석(定量分析) (Quantitative Analysis of Cystic Fluid Components in Cysticercus cellulosae)

  • 문준;정명숙;주경환;임한종
    • 농촌의학ㆍ지역보건
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    • 제16권2호
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    • pp.141-153
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    • 1991
  • Free amino acid(FAA), free fatty acid(FFA), and amino acid obtained by hydrolysis of protein components of cystic fluid(CF) of Cysticercus cellulosae in pig and man were analyzed. FFA was analyzed by gas chromatography using Varian model 2700, and flame ionization detector with 6 feet${\times}$1/4inch glass column. Flow rate of $N_2$ was 30 ml/min, $H_2$ was 30 ml/min, air was 350 ml/min respectively and chart speed was 1 cm/min. Amino acid was analyzed by high performance liquid chromatography using Waters model 441, and fluorescence detector at 338nm/425nm with column of amino acid analyzer. Buffer A of mobile phase was pH 3.05 and pH of buffer B was 9.6 respectively. The results obtained were as follows : Seven FFAs containing 12~18 carbons were detected : Saturated fatty acids were lauric acid ($C_{12}$), myristic acid($C_{14}$), palmitic acid($C_{16}$), Stearic acid($C_{18}$). Unsaturated fatty acids were oleic acid($C_{12}^{=1}$), linoleic acid($C_{12}^{=2}$), and one unidentified fatty acid was detected. Generally much more quantity of FFA was determined in CF obtained from pig than that from man. FFA of the largest quantity was palmitic acid; 0.078 mg/ml. Eighteen FAAs were detected and the largest quantity was alanine. Ouantity of alanine was 386 ug/ml in CF from pig 108 ug/ml in CF from man respectively. while histidine in CF from pig was 273 ug/ml, that from man was only 4.3 ug/ml. Eighteen amino acids were identified by hydrolysis of protein in CF from man. But, histidine was not identified in CF from pig. Amino from pig and ug/ml from man.

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보행자 우선도로 개선 사업으로 인한 교통사고 변화에 대한 연구 (A Study on the Change of Traffic Accidents Around the Pedestrian Priority Zone)

  • 장재민;이영인;김숙희;최회균
    • 대한교통학회지
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    • 제36권2호
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    • pp.112-128
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    • 2018
  • 국내는 온실가스를 줄이고 보행자 중심의 친환경 도시를 지향하고자 일부지역에 보행자 우선지역을 시행하고 있다. 이는 대중교통 중심의 서비스 개선 및 여유로운 보행공간의 확보 측면에서 시민의 만족도가 높았으며, 친환경 교통수단의 도입으로 온실가스의 감축효과에 기여했다. 그러나 보행자 우선지역은 보행환경 개선 측면에는 영향력이 높지만 주변 교통흐름에는 악영향을 주는 만큼 시행에 따른 교통 환경 변화를 예측할 필요가 있다. 본 연구는 수원시 행궁동 생태교통 지역을 중심으로 보행자 우선도로 시행에 따라 행사주변의 효과를 도출하기 위해 사전사후 평가를 활용한 교통사고 특성변화를 분석하였다. 분석결과 보행자 우선도로는 보행자 중심으로 설계되어 운영되는 만큼 보행자 관련 사고는 줄었으나, 차량의 회전교통 제한에 따른 불법유턴 사고 및 속도 저하에 따른 신호위반 사고가 증가한 것으로 나타났다. 각 지역에는 행사를 시행하기 전 운전자에게 각별한 주의가 요구되며, 행사구역 인근에 본 연구 특성이 반영된 안전표지판 및 어플 정보를 제공하여 교통사고에 유념할 필요가 있겠다.

양산용 80 kW급 RF Plasma Torch System 개발 및 Si 나노분말 제조 공정 연구 (Development of 80 kW RF Thermal Plasma Torch System for Mass Production and Research of Si Nano-Powder Manufacturing Process)

  • 송석균;손병구;김병훈;이문원;신명선;최선용;이규항;김성인
    • 한국진공학회지
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    • 제22권2호
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    • pp.66-78
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    • 2013
  • 80 kW RF 플라즈마 토치 시스템을 개발하기 위하여, 토치 시스템에 대한 온도, 유체 거동 분석 등의 보다 많은 정보의 추출을 위하여 3차원 시뮬레이션을 진행했다. 파우더 주입관 위치, 입력 전류 변화에 따른 플라즈마 생성 특성, 세라믹 원통관 길이에 따른 플라즈마 방전 특성, 및 공정가스 유량에 따른 플라즈마 온도특성 등을 시뮬레이션 했다. 시뮬레이션을 통해 설계 제작된 RF 열 플라즈마 토치의 경우, 최대 89.3 kW까지 파워 인가가 측정되었다. 개발된 80 kW급 RF 열 플라즈마 토치 시스템의 양산성 평가로 Si 나노분말을 제조하고 특성을 고찰하였다. Si 나노분말의 생산량이 평균 539 g/hr의 양산 수준과 71.6%의 높은 수율을 달성했으며, 제조된 나노 분말은 $D_{99}/D_{50}$가 1.98의 좋은 입경 균일 분포도를 나타내었다.

IEA-CFBC 모델을 이용한 저급탄의 순산소 연소 특성 분석 (Analysis of Oxygen Combustion Characteristics of a Low Grade Coal Using IEA-CFBC Model)

  • 곽유라;김예빈;길상인;윤진한;이시훈
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제56권5호
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    • pp.631-640
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    • 2018
  • 에너지 공급 안정과 온실가스 저감이라는 목표를 달성하기 위해 저등급 석탄의 순산소 순환유동층 보일러의 적용이 새롭게 모색되고 있다. 아직까지 실증 단계의 개발이 진행되고 있기에 순산소 순환유동층 보일러에서의 저급탄 이용을 위해 주입 공기량, 조업 온도, 연료 공급량 등의 변화에 따른 연소 특성이 고찰되어야 상용 모델을 위한 설계 기준을 선정할 수 있다. 이에 본 연구에서는 공기 연소로 개발된 IEA-CFBC 모델을 순산소 연소를 전산모사하도록 개조하였고 새로운 순산소 순환유동층 모델을 이용하여 온도($800^{\circ}C{\sim}900^{\circ}C$), 산소 농도(21%~41%), 석탄 주입량, Ca/S 비율(1.5~4.0) 등의 다양한 조건에서 순산소 연소 특성을 고찰하였다. 공기 연소와 비교하여, 순산소 조건에서의 보일러 온도가 높았으나 산소 농도가 증가함에 따라 보일러의 온도구배는 감소하는 경향을 나타냈다. 더불어 Ca/S 비율, 산소농도가 높을수록 탈황 효율이 증가하는 것으로 나타났다.

중온 배기열을 이용한 유기랭킨사이클 작동유체별 성능특성 (Performance Characteristics of Organic Rankine Cycle Using Medium Temperature Waste Heat with Different Working Fluids)

  • 권동욱;허기무;윤성훈;문윤재;유호선;이재헌
    • 플랜트 저널
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    • 제10권2호
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    • pp.38-47
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    • 2014
  • 2012년부터 신재생에너지 의무공급제도가 국내에 도입되고, 전 세계적인 에너지 절약과 환경보존 측면에서 미활용 및 신재생에너지원에 대한 관심이 날로 증가하고 있다. 특히, 중저온 열원의 활용방안에 대하여 많은 관심과 연구가 활발하게 진행되면서 고부가가치의 전력생산이 가능한 유기랭킨사이클이 그 대안으로 떠오르고 있다. 따라서 본 연구에서는 유기랭킨사이클 발전시스템을 하수 처리장 1,500 kW 바이오가스엔진 배기열을 열원으로 하부 사이클을 구성하여 성능해석 상용 프로그램으로 성능특성을 예측하였다. 바이오가스엔진 배열의 실제 운전조건은 $460^{\circ}C$의 온도와 매 초당 2.7 kg의 유량으로 운전되고 있었다. 이러한 열원 온도에 적합한 작동유체를 다수 선정하여 작동유체 종류별 성능해석을 수행하였으며, 최고의 성능이 나타나는 이소펜탄의 경우 163.1 kW의 발전출력과 13.66%의 효율을 얻을 수 있었다.

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