Formation of Dielectric Carbon Nitride Thin Films using a Pulsed Laser Ablation Combined with High Voltage Discharge Plasma (펄스 레이저 애블레이션이 결합된 고전압 방전 플라즈마 장치를 이용한 유전성 질화탄소 박막의 합성)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.16 no.7
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- pp.641-646
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- 2003