APMOCVD 법에 의해 증착된 PZT[Pb(Zr,Ti)$O_3$ 박막의 강유전 특성에 관한연구
(Characterization of ferroeletric properties of PZT thin film deposited by APMOCVD)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 1994년도 추계 학술발표 강연 및 논문 개요집
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- pp.10-10
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- 1994