• 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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• 제53권12호
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• pp.620-625
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• 2004

In this paper, we studied the emissive electric field due to the communication signal and the noise in medium voltage power-line. There are many types of conductive noise in power-line channel, which gives rise to radiation. And if the DMT carrier signal was excited, the current by this term was added to the current by noise and, generate radiation. We calculated input impedance by means of signal input network model of medium voltage power-line channel for calculating these currents. We calculated currents by input impedance and, calculated the emissive electric field by this calculated currents. From the measurement results, we knew that the measured results are very similar to the calculated results and if the input signal power level was higher than -40 dBm, the emissive electric field exceeds FCC radiation limit level 69.5 dB$\mu$V/m.

• 한국진공학회지
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• 제10권1호
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• pp.112-118
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• 2001

본 논문에서는 축 방향으로 자화된 용량결합형 13.65 MHz/40 KHz RF 방전에서 Langmuir Probe, Emissive Probe를 통해 이온 전류 밀도, 전자 온도, 플라즈마 전위의 자장 의존성 및 자기 바이어스 전위를 조사하였다. 자장을 인가함으로서 실험변수 범위 내에서 최대 3배의 이온 전류밀도증가를 얻었고 점화가능한 기체 압력의 최저값을 줄일 수 있었다. 플라즈마가 자화된 경우 공간 전위는 평균적으로 감소하였고 RF 전압의 한주기 동안 시 변동폭이 크게 증가하였다. 플라즈마 전위의 자장 의존성은 Particle-in-Cell Simulation을 수행하여 실험 결과와 비교하였다. 대표적 실험 조건에서 전자 온도는 자장에 따라 약 4 eV에서 5 eV로 약간 증가하는 경향을 보였으나 방전 주파수를 40 KHz로 줄인 경우 1.8 eV에서 0.8 eV로 감소하였다. 실험 장치의 응용 예로서 플루오로 카본 가스에 의한 식각실험이 수행되었다. 자화 플라즈마의 산화막 식각속도 증가를 확인함으로서 축방향 자장이 실제 공정에 긍정정인 영향을 미침을 확인 할 수 있었다.