$CF_4$ 기체의 MCS-BEq 알고리즘에 의한 전자에너지 분포함수
(Electron Energy Distribution Function in $CF_4$ Gas used by MCS-BE Algorithm)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 2002년도 학술대회 논문집 전문대학교육위원
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- pp.102-105
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- 2002