Electron Optics Design and Analysis in Finishing Instruments using High Density Electron Beam (고밀도 전자빔 피니싱 공정에 이용되는 전자광학계의 설계 및 해석에 관한 연구)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2011.06a
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- pp.787-788
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- 2011