이온 보조 증착한 ${Ta_2}{O_5}$ 광학 박막의 광학적 및 기계적 특성 분석
(Optical and mechnical properties of ${Ta_2}{O_5}$ optical thin films by ion assisted deposition)
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- 한국광학회지
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- 제11권3호
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- pp.147-151
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- 2000