• 자원ㆍ환경경제연구
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• 제14권1호
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• pp.167-199
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• 2005

본 논문의 분석결과는 다음과 같다. 첫째, 환경부가 1991년부터 매년 조사, 발표하고 있는 "대기오염물질배출량"은 난방, 산업, 수송 및 발전의 4부문으로 분류되어 있어 자료의 활용가치가 매우 낮아 조사 통계 내용의 다양화 및 산업분류기준이 개선되어야 한다. 둘째, 대기오염 대량배출산업은 석탄 석유(s7), 전력 가스(s17), 운송 보관(s20) 산업이다. 이들 산업에 대한 기존의 대기규제정책은 다른 산업에 비해 비효율적이었다고 볼 수 있으며 향후 대기정책에서도 유념하여야 할 사항으로 여겨진다. 셋째, 시멘트 석회 석제(s10), 전력 가스(s17) 산업은 대량의 오염배출산업인 동시에 배출 유발효과도 상대적으로 가장 큰 산업이다. 넷째, 배출량 변화의 가장 큰 감소요인은 배출계수의 변화(${\Delta}f$)이며, 가장 큰 증가요인은 경제성장 효과(${\Delta}y$)였다. 생산 또는 투입기술의 변화(${\Delta}D$), 수요구조의 변화(${\Delta}u$)는 배출량 증감에 미치는 영향이 산업별로 다르게 나타났으나 그 영향은 미미하였다. 다섯째, 대기오염 총량관리제 도입, 고(高)오염산업의 차별관리 및 환경과 경제의 상생을 위한 대기정책의 효율적 시행을 위해서는 산업별 배출량 기본자료의 산정 방법 개선 및 경제적 분석과 평가 기준의 활용, 확대가 필요하다. 여섯째, 1990년대 한국의 경제성장은 1960~1970년대와 같이 배리 코머너 가설에 상응한 오염지향적 경제성장은 아니었으나 산업 전체의 기술 및 수요구조가 환경친화적이라 할 수도 없었다. 이것은 대기환경 개선을 위한 환경정책이 오직 환경당국의 환경정책수단에만 의존했을 뿐이며 국가경제 전체의 산업구조나 친환경 생산기술의 발전 등 범정부적 차원의 환경정책이 병행되지 못했음을 시사한다.

• 한국미생물·생명공학회지
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• 제26권2호
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• pp.122-129
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• 1998

최근 생물방제균으로 주목받고 있는 Enterobacter cloacae의 방제기작이 이 균에 의해 토양내에서 생산된 휘발성 ammonia이며 ammonia의 생산에는urease가 관계한다는 보고를 근거로 하여, 항생물질 생산성 균주로 선발된 우수한 길항균주에 암모니아 생성능, 즉 urease 유전자를 유전적으로 부가함으로써 항진균성 길항물질 생산과 암모니아 생산이 동시에 이루어 질 수 있는 새로운 다기능의 생물방제균을 유전적으로 육종하고자 하였다. 저병해 인삼경작지로부터 식물근부균 Fusarium solani의 생육을 강하게 억제하는 길항세균 한 균주 SH14균주를 분리, 선발하였으며, 분리된 균주를 동정한 결과 Bacillus subtilis이거나 그 근연종으로 추정되었다. 억제기작 실험을 통해 길항균주 B. subtilis SH14에 의해 생산되는 항진균성 길항물질은 외막가수분해효소와 같은 고분자 물질이 아니라 열에 안정한 저분자의 항생물질임을 알 수 있었다. 한편 ammonia 생산을 위한 urease의 유전자는 urease 생산력이 강력한 호알칼리성 Bacillus pasteurii의 urease 생산유전자를 E. coli-Bacillus shuttle vector인 pEB203에 subcloning하였고, 이어서 pGU 366으로 명명된 이 recombinant plasmid를 선발된 항진균성 길항균주 B. subtilis SH14에 PEG-induced protoplast transformation 방법으로 도입, 발현시켰으며, 최적조건을 조사하여 90분간의 lysozyme 처리과정 후 1.5 $\mu\textrm{g}$/$m\ell$의 DNA와 40% PEG4000의 첨가로 약 6.5$\times$$10^{-4}$의 형질전환율을 얻을 수 있었다. 아울러 암모니아 생성능이 부가된 생물방제균 B. subtilis SH14(pGU366)에 의해 식물근부균 F. solani에 대한 생육억제력이 증가되는지 여부를 억제거리 측정법과 균체중량법을 통해 확인한 결과 urease 유전자가 도입된 형질전환체 B. subtilis SH14(pGU366)의 근부균 생육억제능이 각각 36.7%, 44.0%정도로 숙주균주인 B. subtilis SH14에 비해 근부균 생육억제능을 보다 강하게 나타내었음을 알 수 있었다. 따라서 항진균성 항생물질 생산성 생물방제균 B. subtilis SH14에 외부의 urease유전자를 도입하여 ammonia 생성능을 부가함으로써 생물방제력의 상승효과를 거둘 수 있었다.

• 정신신체의학
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• 제29권1호
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• pp.67-76
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• 2021

연구목적 본 연구는 알츠하이머병 및 경도인지장애 환자에서 뇌의 퇴행성 변화 (내측두엽 위축, 대뇌백질병변) 및 신경인지기능과 일상생활 수행능력과의 연관성을 살펴보고자 하였다. 방 법 본 연구는 단면 연구로서, 알츠하이머병 및 경도인지장애로 진단받은 111명을 대상으로 하였다. 내측두엽 위축은 표준화된 시각 기반 척도(Scheltens scale)에 의해 평가하였으며, 대상군을 두 그룹으로 분류하였다. 일상생활 수행능력은 한국어판 블레스트 치매 척도-일상생활 수행능력(Korean version of Blessed Dementia Scale-Activity of daily living, BDS-ADL)으로 평가하였으며 신경인지기능은 The Korean version of the consortium to establish a registry for Alzheimer's disease (CERAD-K)로 평가하였다. 내측두엽 위축의 정도에 따른 일상생활 수행능력의 차이를 보기 위해 독립표본 t-test를 시행하였으며, 일상생활 수행능력과 신경인지기능과의 상관관계를 분석하기 위해 피어슨 상관분석 및 계층적 다중회귀분석을 시행하였다. 결 과 내측두엽 위축이 심할수록, 그리고 단어목록재인 검사 점수가 낮을수록 BDS-ADL 점수가 높았다(p<0.05). 계층적 다중회귀분석 결과 MMSE-K, 단어목록 재인검사 점수가 BDS-ADL의 유의한 예측인자로 나타났다(Adjusted R²=0.442, F=44.611, p<0.001). 결 론 알츠하이머병과 경도인지장애 환자에서 일상생활 수행능력은 내측두엽 위축 및 단어목록재인 검사 점수와 유의한 상관관계를 보였다. 일상생활 수행능력과 관련된 인자를 분석한 본 연구는 임상 실제에서 유용한 정보를 제공할 것으로 생각된다. 일상생활 수행능력과 뇌의 구조 및 기능과의 연관성에 대해서 추가적인 연구가 필요할 것으로 보인다.

• 한국응용곤충학회지
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• 제4권
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• pp.39-46
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• 1965

본문은 1964-'65년에 걸쳐 한국의 남부지방 특히 대구지방에서 많이 재배되고 있는 감나무에 수년전부터 심한 피해를 주고 있는 Oriental moth의 생태학적인 사항에 관한 연구의 결과를 수록하였다. (1) Oriental moth의 우화 최성기는 대구지방에서 6월중순경이다. 그리고 산란은 전부 엽이면에 하며 엽상에서도 엽선단부에 대부분 란이 산란되었다. (2) 란기간은 1964년의 평균이 $5.984\pm0.162$일이었고 1965년은 $6.262\pm0.094$ 로서 양년 모두 약 6일간이었다. 그리고 실내 사육실에서 부화율은 1964년이 $84.4\%$였고 1965년이 $96.1\%$었다. (3) 기주식물별 생장률에 있어서 체장생장은 4기주, 감나무, 고욤나무. 네군도단풍. 플라타너스에서 1령충에서 3령충까지는 고욤나무, 감나무, 플라타너스, 네군도단풍의 순위었으나 4령충 부터는 반대로 감나무, 고욤나무, 네군도단풍과 플라타너스의 순위였다. 두폭의 생장률도 동일한 경향을 나타내었다. 그리고 플라타너스엽을 식이로 한 개체들은 사육 20일 경과 후 전부 사멸하였다. (4) 본충은 1년에 1회 발생하며 탈피회수는 6회이다. 1회탈피는 부화 후 약 5시간 후에 일어나고 2-6회 탈피는 각각 약 7일 간격으로 일어났다. 그리고 최종탈피를 한 후 약 3일 후 Cocoon을 형성하여 월동한다. (5) 유충체상에 있는 침수가 위치별로, 각 령별로 차이가 있으므로 령의 판정이 가능하다. 특히 L2, D2, D3, D8, D10의 침과 L1, L3, L4, L5, L6, L7의 침은 각 령별로 그 수가 다르므로 침으로 령의 판정이 가능하다. (6) Cocoon내에서 Pupation은 감나무 지상에서 월동을 한 후 이듬해 5월 중순부터 Pupa가 형성되어 우화기인 6월 초순까지 계속된다. (7) 자성충이 체내에 가지고 있는 난수는 평균 1필당 당 $1325.5\pm2.7182$개였다

• Applied Biological Chemistry
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• 제13권1호
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• pp.105-109
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• 1970

탁주 양조에 사용되는 각종원료중의 Thiamin과 쌀, 소맥분 및 옥수수분을 주원료로 일반 탁주양조법에 따라 담금하여 숙성시까지 술덧중의 Thiamin의 소장을 측정하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. 각원료 100g중의 Thiamin 함량 $({\gamma})$은 쌀 107.8 소맥 분 185.0 옥수수분 410.2 누룩 347.4 소맥분입곡 170.1 옥수수분입곡 257.,3 이었으며 쌀, 소맥분 및 옥수수분중의 함량은 증자에 의하여 $40{\sim}50%$ 파괴됨을 보였다. 2. 쌀, 소맥분 및 옥수수분을 주원료로 하여 각각 담금한 술덧에서 Thiamin의 소장은 각 술덧에서 같은 경향을 보여 누룩단용법의 양구에서 담금 후 1, 2일 사이에 급격히 감소하며 이후 숙성시까지 큰 변동이 없었고 입곡혼용법의 양구에서는 담금초기에 누룩단용법구들에 비하여 감소율이 훨씬 적었다. 또한 각 숙성 술덧 100ml중의 함량은 누룩단용법의 쌀구에서 약 6${\gamma}$, 소맥분구에서 7.5${\gamma}$였고 입곡혼용법의 소맥분구에서 약 $12,4{\gamma}$, 옥수수분구에 서 15.4 ${\gamma}$ 였다. 3. 각숙성 술덧으로 제성한 탁주 100ml중에는 Thiamin이 누룩단용구들에서 $2.4{\sim}3.5{\gamma}$, 입곡혼용법구들에서 약 $5{\sim}7{\gamma}$ 함유됨을 알 수 있었다. 4. 각숙성 술덧의 지게미 100g중에는 Thiamin이 누룩단용법의 쌀구에서 약 $43.7{\gamma}$, 소맥분구에서 $56.1{\gamma}$ 그리고 입곡혼용법의 소맥분구에서 약 $57.5{\gamma}$. 옥수수분구에서 $81.4{\gamma}$ 함유되었다.

• 한국인구학
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• 제4권1호
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• pp.105-130
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• 1981

This study was conducted to compare the characteristics of high performane areas for family planning with that of low performance areas and to find factors which strongly affected contraceptive practice behavior. For the study, eight areas were selected from 274 rural family planning canvassing areas of Korean Population Policy and Program Evaluation Study, which was an action study operated in all areas of Cheju Island from July 1, 1976 until December 31,1979. As a first step of the action study, Cheju Island was devided up 318 family planning canvasser areas Each area was consisted of 200 households in rural district and 300 households in urhan one Duriog the period of project, each canvassing area had been managed by a female family planning canvasser, selected by director of health center considering several individual conditions needed for family planning activities Basic activities of canvassers were to counsell all the eligihie couples in own charged area about family planning methods and also to distribute contraceptives such as condoms and oral pills. In case couples desire to accept sterilization including vasectomy and tubal-ligation, the canvassers played a linking role connecting potential client with family planning field workers. Canvassng areas shows significant differentce in performance for family planning, nevertheless they are supposed to have almost the same conditions regarding family planning distribution channel. Because the purpose of the Cheju project was to eliminate all the problems that existed in governmental distribution system, that is to remove geographic, economic, cognitive and administrative barriers Accumulated performances of family planning methods accepted by residents in each area were calculated by eligible women aged 14-49. And then canvassing areas were ranked according to performance score. Consequently, 4 areas in extremely high and low family planning performance areas were selected respectively. Major results were obtained by comparing characteristics of high performance area with that of low performance areas, which are as follows: 1. The mean number of living children was about the same both in high and low performance areas for family planning. But respondents' mean age (38.5) in high performance areas was higher than that (37.0) in low performance areas 2. Respondents' perception in the expectant educational level of others' children in high performance areas was higher than that in low performance areas, although respondents educational level, monthly expenditure and ratio of children in high school and above was not different. 3. Ratio of ownerships of TV and newspaper in high performance areas was highen than that in low performance areas 4. The duration of canvasser' charge in high performance areas was longer than that of low performance areas, showing the fact that canvassers didn't move cut in high performance areas 5. In high performance areas, canvassers' houses were relatively located in the center part of the village. And so villagers resided in near distances from the anvasser's house 6. 4H clubs' activities in high performance areas were more active than those in low performance areas Therefore it was assumed that cohesiveness of community in high performance areas were stronger than that in low areas. 7. Canvassers' family planning practice rate was higher than that in low performance areas, and also canvassers' human relationship was more sociable than that of canvassers in low performance areas. 8. Fourteen variables which showed relatively high significance level in $X^2$ and F test were selected as independent variables for stepwise regression analysis. According to the results of regression analysis. five of 14 variables-distributors education level ($R^2$=.4439), duration of distributor's charge ($R^2$=.6166), 4H club activities ($R^2$=.6697), canvasser's contraceptive practice ($R^2$=.7377) and location of distributions house ($R^2$=.8010) explained 80.1 percent of total variance.

• Pediatric Infection and Vaccine
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• 제4권1호
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• pp.126-132
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• 1997

목 적 : 높은 예방접종율에도 불구하고 흥역이 계속 발생하는 것은 1차 백신 실패 또는 2 차 백신 실패 등의 논란을 자아내고 있다. 이에 저자들은 1993년 전국적으로 홍역이 유행하였을 당시 인구 밀집 대도시인 성남지역에서 그 당시 홍역에 이환되었던 일부 소아를 대상으로 특이 혈청학적 검사를 실시하였다. 대상 및 방법 : 1993년 홍역이 유행할 당시 임상진단 기준에 따라서 홍역으로 진단된 초등학교생을 대상으로 학교에 의뢰하여 93년 12월 10일부터 5일간 채혈한 후, 혈청을 분리한 후 $-20^{\circ}C$ 냉장고에 보관한 후 2개월 지나 검사하였다. Behring사의 시약을 사용하여 ELISA(Enzyme linked immunosorbent assay)방법에 의해 혈청내 홍역 특이 IgM 항체 (measles-specific IgM) 및 IgG를 검사하였다. 결 과 : 1) 총 126명 (남녀비=1:1)으로 발병시 연령은 5세 6명, 6세 11명, 7세 20명, 8세 39명, 9세 22명, 10세 11명, 11세 11명, 12세 6명으로 8세 전후에 가장 많은 빈도 보였다. 홍역은 여름에 발생하기 시작한 홍역은 9월부터 증가하기 시작하여 11월에 정점을 이루었다. 2) 홍역환자 126명중 99명(78.6%)에서 MMR접종력이 있었다. MMR접종자 99명 가운데 홍역 특이 IgM 항체에 양성은 80.8%(80/99)에서 관찰되었고, MMR 비접종자 27명 가운데 26명 (96.3%)에서 양성율을 보였다. 3) 홍역 특이 IgG 항체 반응결과 MMR 접종력이 있는 99명 중 90명(90.9%)에서, MMR 비접종군 27명중 23명(85.2%)에서 양성반응을 보였다. 흥역특이 IgG 항체반응은 MMR 접종력이 있는 아동 33명중 30례(90.1%)에서 양성을 보였다. 결 론 : MMR 접종력이 있는 아동의 상당수는 시간에 따른 항체가의 감소로 인해 홍역이 발생하였을 가능성을 배제할 수 없으나, 상당수의 환자가 IgM 항체 양성을 보인 것은 1차 백신 실패가 여전히 중요하다는 것을 의미하는 것으로 생각한다. 이를 확인하기 위해서는 보다 많은 아동을 대상으로 한 연구가 필요할 것으로 생각한다.

• Journal of Pharmaceutical Investigation
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• 제36권3호
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• pp.209-215
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• 2006

Zaltoprofen, (2-(10,11-dihydro-10-oxodibenzo[b,f]thiepin-2-yl)propionic acid) is an NSAID with powerful anti-inflammatory effects as well as an analgesic action on inflammatory pain. The purpose of the present study was to evaluate the bioequivalence of two zaltoprofen tablets, $Soleton^{\circledR}$ (CJ Corp.) and SCD Zaltoprofen (Samchundang Pharmaceutical Co., Ltd.), according to the guidelines of the Korea Food and Drug Administration (KFDA). The release of zaltoprofen from the two zatoprofen formulations in vitro was tested using KP Vlll Apparatus ll method with various dissolution media. Twenty six healthy male subjects, $23.2{\pm}2.26$ years in age and$64.7{\pm}8.08$ kg in body weight, were divided into two groups and a randomized $2{\times}2$ cross-over study was employed. After a single tablet containing 80 mg as zaltoprofen was orally administered, blood samples were taken at predetermined time intervals and the concentrations of zaltoprofen in serum were determined using HPLC with UV detector. The dissolution profiles of two formulations were similar in all tested dissolution media. The pharmacokinetic parameters such as $AUC_t$, $C_{max}$ and $T_{max}$ were calculated, and ANOVA test was utilized for the statistical analysis of the parameters using logarithmically transformed $AUC_t$, $C_{max}$ and untransformed $T_{max}$. The results showed that the differences between two formulations based on the reference drug, $Soleton^{\circledR}$ were 6.33, 5.91 and 17.7% for $AUC_t$, $C_{max}$ and untransformed $T_{max}$, respectively. There were no sequence effects between two formulations in these parameters. The 90% confidence intervals using logarithmically transformed data were within the acceptance range of log 0.8 to log 1.25 (e.g.,log $1.01{\sim}1og\;1.11$ and log $0.928{\sim}1og\;1.18$ for $AUC_t$ and $C_{max}$, respectively). Thus, the criteria of the KFDA bioequivalence guideline were satisfied, indicating SCD Zaltoprofen tablet was bioequivalent to $Soleton^{\circledR}$ tablet.

• 대한간호학회지
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• 제18권2호
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• pp.162-188
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• 1988

The purpose of this study is to guide the direction of the Korean nursing education to analysize ⑴ the philosophy and objectives ⑵ curriculum, and ⑶ educational environment. This analysis is based on the data from 50 nursing schools (14 4-year colleges and 35 3-year colleges) The survey was conducted from Dec. 1986 through Jan. 1987 by mail. 1) Educational philosophy and objectives 10 4-year colleges and 8 3-year college program have curricular philosoph. Most popular curricular philosophies are human beings, health, nursing, nursology, nursing education, nurses role in the present and in the future. 10 nursing schools mentioned that human being is the subject to interact with : environment physically, mentally and socially. 2 schools mentioned that health is the state of functioning well physically, mentally and socially. 13 schools mentioned that the nursing is the dynamic act to maintain and to promote the highest possible level of health. 4 schools mentioned that the nursology is an applied science. 4 schools mentioned that nursing education is the process to induce the behavioural changes based on the individual ability. There is different opinion about the nurses' role between 4-year college and 3-year college. In the responses from 4-year colleges they focus on the leadership in effective changes, self-regulating and self-determining responsibilities, applying the new technology, continuing education, and participation in research to further nursing knowledge. In the responses from 3-year colleges, they focus on the education in college, primary health care nursing, direct care provider and public health education. Among 50 respondents 40 schools have educational goals which can be divided into two categories. One is to establish the moral and the other is to develop the professionalism. 2) Curriculm The analsis of curriculum is only based on the data from the 4-year colleges because the most of 3-year colleges follow the curriculum guideline set by the Ministry of Education. a) Comparison of the credits in cultural subject and in nursing major. The average required credit for graduation is 154.6 and the median credit is the range of 140-149. The average credit of cultural subjects is 43.4. In detail, the average number of credit of required course and elective courses are 24.1 and 19.3 respectively. The average credit for major subject is 111.2. In detail, the average credit for required courses and electives course are 100.9 and 10.4 respectively. In 5 colleges, students are offered even on elective course b) Comparison of the credit by class. The average earned credits are as follows : 41.1 in freshman, 400 in sophormore 38.3 in junior and 32.4 in senior. Cultural subjects are studied in early phases. c) Comparison of the compulsory and elective cultural subject by institute. The range of credit is 7-43 in compulsory cultural subjects and there are lot of differences among institutions. While all respondents require liberal arts as compulsary subjects, few respondents lists social science, natural science and behavioral science as required subjects. Social science-related subjects are frequently chosen as cultural subjects d) Distribution of creditsin cultural subjects by institute. The liberal art subjects are taught in 20 institute. English and physical education courses are taught in all instituions. The social science subjects are taught in 15 colleges and the basic Psycology and the Basic sociology are the most popular subjects. The natural science subjects are taught in 7 colleges and Biology and Chemistry are the most popular subjects among them. e) Distribution of credits in major basic courses by institute. Most of the institutes select Anatomy, Microbiology, Physiology, biochemistry and Pathology as basic major courses. f) Comparison of the required and elective courses for nursing major by institutions. Subjects and credit ranges in major are varing by institute. More than half of the respondents select the following subjects as required major subjects. (1) Adults Health Nursing and Practice (19.5 credits) (2) Mother and Child Care and Practice (8.9 credits) (3) Community Health Care and Practice (8.5 credits) (4) Psychiatric Nursing Care and Practice (8.1 credits) (5) Nursing Management and Practice (3.9 credits) (6) Fundamental of Nursing, Nursing Research and Health Assessment and Practice. Three institutions select Introduction to nursing, Rehabilitation Nursing, School Nursing, Public Health Nursing, Nursing English, Communication, Human Development as electives in nursing major. 3) Educational environment a) Nursing institution There are forty-three 3-year colleges and seventeen 4-year colleges and 81.4% of which are private b) Number of students and faculty 19.2% of the students are in 4-year colleges and 80.8% of the students are in 3-year colleges. In 4-year colleges, the number of nursing faculty members is in the other of assistant professor, instructor and professor. In 3-year colleges, the orderiis lecturer, associate professor, full time instructor and assistant professor. In 4-year colleges, 18.8 students are allocated per nursing faculty and in 3-year colleges, 33.1 students are allocated per nursing faculty. c) Clinical practices 66.7% of the 4-year colleges practice over 1201 hours in clinic and 28.5% of 3-year colleges practice over 1201 hours in clinic. In 4-year colleges, 11.5 students are allocated per nursing faculty and in 3-year colleges,17 students are allocated per nursing faculty The survey shows no difference in the procedure between 4-year colleges and 3-year colleges but 3-year colleges choose the more variety practicing site such as special hospital and community health clinic. d) Audiovisual facilities The survey shows a lot of difference in audiovisual facilities among institution and 3-year colleges are less equipped than 4-year colleges.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.476-476
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• 2014

서론: 저 전력 소모를 필요로 하는 무선 센서 네트워크 관련 기술의 급격한 발달과 함께 자체 전력 수급을 위한 진동 에너지 수확 기술에 대한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 다양한 구조와 소재를 압전 외팔보에 적용하여 제안하고 있다. 그 중에서도 진동 기반의 에너지 수확 소자는 주변 환경에서 쉽게 진동을 얻을 수 있고, 높은 에너지 밀도와 제작 방법이 간단하다는 장점을 가지고 있어 많은 분야에 응용 및 적용 가능하다. 기존 연구에서는 2차원적으로 진동 에너지 수확을 위한 휜 구조의 압전 외팔보를 제안 하였다. 휜 구조를 갖는 압전 외팔보는 각각의 짧은 두 개의 평평한 외팔보가 일렬로 연결된 것으로 볼 수 있다. 하나의 짧고 평평한 외팔보는 진동이 가해지면 접선 방향으로 응력이 생겨 최대 휨 모멘텀을 갖게 된다. 그러므로 휜 구조를 갖는 외팔보는 진동이 인가됨에 따라 길이 방향과 수직 방향으로 진동한다. 하지만, 이 구조는 수평 방향으로 가해지는 진동에 대한 에너지를 수확하기에는 한계점을 가진다. 즉, 3축 방향에서 임의의 방향에서 진동 에너지를 수확하기는 어렵다. 본 연구에서는 3축 방향에서 에너지를 효율적으로 수확할 수 있도록 헤어-셀 구조의 압전 외팔보 에너지 수확소자를 제안한다. 제안된 소자는 길이 방향과 수직 방향뿐만 아니라 수평 방향으로도 진동하여 임의의 방향에서 진동 에너지를 수확할 수 있다. 구성 및 공정: 제안하는 소자는 3축 방향에서 임의의 진동을 수확하기 위해서 길이를 길게 늘이고 길이 방향을 따라 휘어지는 구조의 헤어-셀 구조로 제작하였다. 외팔보의 구조는 외팔보의 폭 대비 길이의 비가 충분히 클 때, 추가적인 자유도를 얻을 수 있다. 그러므로 헤어-셀 구조의 에너지 수확 소자는 기본적인 길이 방향, 수직방향 그리고 수평방향에 더불어 추가적으로 뒤틀리는 방향을 통해서 3차원적으로 임의의 주변 진동 에너지를 수확하여 전기적인 에너지로 생성시킬 수 있다. 제작된 소자는 높은 종횡비를 갖는 무게 추($500{\times}15{\times}22{\mu}m3$)와 길이 방향으로 길게 휜 압전 외팔보($1000{\times}15{\times}1.7{\mu}m3$)로 구성되어있다. 공정 과정은 다음과 같다. 먼저, 실리콘 웨이퍼 위에 탄성층을 형성하기 위해 LPCVD SiNx를 $0.8{\mu}m$와 LTO $0.2{\mu}m$를 증착 후, 각각 $0.03{\mu}m$과 $0.12{\mu}m$의 두께를 갖는 Ti와 Pt을 하부 전극으로 스퍼터링한다. 그리고 Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 박막을 $0.35{\mu}m$ 두께로 졸겔법을 이용하여 증착하고 상부 Pt층을 두께 $0.1{\mu}m$로 순차적으로 스퍼터링하여 형성한다. 상/하부 전극은 ICP(Inductively Coupled Plasma)를 이용해 건식 식각으로 패턴을 형성한다. PZT 층과 무게 추 사이의 보호막을 씌우기 위해 $0.2{\mu}m$의 Si3N4 박막이 PECVD 공정법으로 증착되고, RIE로 패턴을 형성된다. Ti/Au ($0.03/0.35{\mu}m$)이 E-beam으로 증착되고 lift-off를 통해서 패턴을 형성함으로써 전극 본딩을 위한 패드를 만든다. 초반에 형성한 실리콘 웨이퍼 위의 SiNx/LTO 층은 RIE로 외팔보 구조를 형성한다. 이후에 진행될 도금 공정을 위해서 희생층으로는 감광액이 사용되고, 씨드층으로는 Ti/Cu ($0.03/0.15{\mu}m$) 박막이 스퍼터링 된다. 도금 형성층을 위해 감광액을 패턴화하고, Ni0.8Fe0.2 ($22{\mu}m$)층으로 도금함으로써 외팔보 끝에 무게 추를 만든다. 마지막으로, 압전 외팔보 소자는 XeF2 식각법을 통해 제작된다. 제작된 소자는 소자의 여러 층 사이의 고유한 응력 차에 의해 휨 변형이 생긴다. 실험 방법 및 측정 결과: 제작된 소자의 성능을 확인하기 위하여 일정한 가속도 50 m/s2로 3축 방향에 따라 입력 주파수를 변화시키면서 출력 전압을 측정하였다. 먼저, 소자의 기본적인 공진 주파수를 얻기 위하여 수직 방향으로 진동을 인가하여 주파수를 변화시켰다. 그 때에 공진 주파수는 116 Hz를 가지며, 최대 출력 전압은 15 mV로 측정되었다. 3축 방향에서 진동 에너지 수확이 가능하다는 것을 확인하기 위하여 제작된 소자를 길이 방향과 수평 방향으로 가진기에 장착한 후, 기본 공진 주파수에서의 출력 전압을 측정하였다. 진동이 길이방향으로 가해졌을 때에는 33 mV, 수평방향으로 진동이 인가되는 경우에는 10 mV의 최대 출력 전압을 갖는다. 제안하는 소자가 수 mV의 적은 전압은 출력해내더라도 소자는 진동이 인가되는 각도에 영향 받지 않고, 3축 방향에서 진동 에너지를 수확하여 전기에너지로 얻을 수 있다. 결론: 제안된 소자는 3축 방향에서 진동 에너지를 수확할 수 있는 에너지 수확 소자를 제안하였다. 외팔보의 구조를 헤어-셀 구조로 길고 휘어지게 제작함으로써 기본적인 길이 방향, 수직방향 그리고 수평방향에 더불어 추가적으로 뒤틀리는 방향에서 출력 전압을 얻을 수 있다. 미소 전력원으로 실용적인 사용을 위해서 무게추가 더 무거워지고, PZT 박막이 더 두꺼워진다면 소자의 성능이 향상되어 높은 출력 전압을 얻을 수 있을 것이라 기대한다.