• 한국산학기술학회논문지
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• 제4권4호
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• pp.361-365
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• 2003

Oxide etcher장비에서 실리콘 웨이퍼를 잡고 공정을 수행할 수 있는 단극 (unipolar) 형태의 E-chuck을 제작하였다. 단극 형태의 E-chuck을 개발하기 위하여 핵심기술인 폴리이미드 박막의 코팅기술과 알미늄 표면의 양극처리기술을 개발하였다. E-chutk은 폴리이미드 재료를 표면 물질로 사용하여 플라스마에 의한 표면 손상을 최소화하였다. Oxide etcher 장비에 사용되는 핵심 부품인 E-chuck의 제조 과정을 살펴보고 히터 내장형 E-chuck을 위한 박막형 전열체 기술을 개발하였다.

• KSTLE International Journal
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• 제2권2호
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• pp.114-119
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• 2001

The distribution of magnetic flux density of electro-magnetic chucks may clarify the clamping characteristics, which is strongly related to the machining efficiency and machining accuracy in surface grinding machine. Therefore the distribution of the normal and the tangential components of magnetic flux density have been analyzed theoretically. It appears that the normal component of magnetic flux density increases and the tangential component of magnetic flux density increases as the ratio of the separator width to the pitch, e/p decreases. The results seem to increase the stability and uniformity of normal component of magnetic flux density for the decreased e/p.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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• pp.156.2-156.2
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• 2015

반도체 소자의 크기가 나노사이즈로 줄어들기 때문에, 건식식각의 중요성이 강조되고 있다. dual plasma source를 사용함으로써 plasma 밀도, 이온충돌에너지, 이온플럭스를 조절 가능하다. Low frequency로 이온에너지를 조절하고, high frequency로 이온플럭스를 일반적으로 조절한다. 본 연구는 inductively coupled plasma (ICP)와 capacitively coupled plasma (CCP)를 사용하는 dual plasma source이다. ICP는 AE RPS로 2.4 MHz를 사용하고, CCP는 AE RFX-600으로 13.56 MHz이다. single L-probe는 Hiden ESPion이고, quadrupole mass spectrometer (QMS)는 INFICON CPM-300이다. chuck에 CCP가 인가되고, ICP는 SUS mesh를 거쳐서 영향을 미친다. Gas는 Ar, Ar+CF4 두 조건에서 비료를 하였다. Single L-probe를 이용하여 플라즈마를 측정한 결과 CCP만 인가하였을 때, Te 2.05 eV, Ne 4.07E+10 #/cm3, Ni 5.82E+10 #/cm3의 결과를 얻을 수 있었다. ICP를 방전하고 mesh를 통해서 chuck으로 입사하는 이온을 측정한 결과 mesh에 의해 이온이 중성화되어 거의 입사하지 않음을 확인할 수 있었다. 최종적으로 이온의 영향이 상쇄되고, 라디칼의 영향이 증가하여 높은 etch rate와 선택비를 가지며, 등방성 식각의 영향이 커질 것으로 사료된다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1999년도 하계학술대회 논문집 D
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• pp.1627-1629
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• 1999

In order to analysis the degradation process of epoxy/glass fiber for outdoor condition, FRP laminate was exposed to high temperature and water. Then the degradation process was evaluated by comparing contact angle, surface potential decay, and surface resistivity. For the change of wettability, the contact angle of thermal-treated specimen with the high temperature of $200^{\circ}C$ increased. But that of water-treated specimen decreased. The characteristic of surface potential decay shows the tendency of the remarkable decrease on water-treated specimens, but no difference on thermal-treated specimen compared with untreated one. Also, for the surface resistivity, it shows the same trend compared with the change of contact angle.

• 터널과지하공간
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• 제4권3호
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• pp.297-304
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• 1994

This study aimed at analysis of induced stress and deformation behavior in rock mass around coal seams of Sam Chuck coal mine. For this study Vibrating Wire Stressmeters and Multi-point Borehole Extensometers were installed in the area of coal shale near coal seams. Induced stress and displacement in this area were coutinuously increased for 6 days from the begining of measurement, and then converged. But induced stress and displacement occurred when there were another openings by tunnelling and mining. The value of final induced stress was 21.8kgf/$\textrm{cm}^2$, displacement of rod extensometer was 1.3 mm at arch. Especially, over 1 mm of displacement between E2 and E3 in rod extensometer was measured.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1998년도 추계학술대회 논문집 학회본부 C
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• pp.813-815
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• 1998

In order to analyse the degradation process of epoxy/glass fiber for outdoor condition, FRP laminate was exposed to the wavelength of ultraviolet rays and evaluated by comparing contact angle, surface resistivity, surface potential decay, and ESCA spectrum respectively. Finally, We can conclude that the degradation phenomena on the surface of epoxy composites are dominated by the induction of ester and carboxyl groups.

• 한국정보과학회:학술대회논문집
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• 한국정보과학회 2010년도 한국컴퓨터종합학술대회논문집 Vol.37 No.1(D)
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• pp.262-265
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• 2010

멀티미디어 스트리밍은 인터넷에서 이미 가장 인기있는 서비스가 되었다. 멀티미디어 스트리밍 서비스를 제공하기 위해서는 충분한 대역폭과 딜레이가 유지되어야 한다. 기존의 무선 멀티홉 네트워크는 이러한 요구사항을 만족하기 어렵다. 본 논문에서는 멀티미디어 스트리밍을 보다 좋은 품질로 서비스하기 위해 802.11e를 사용한 Hop Based Priority 테크닉을 제안한다. HBP 테크닉은 패킷이 경로를 따라 이동할때 한홉이 지날때마다 우선순위를 증가시킨다. 그럼으로써 먼저 보낸 패킷과 나중에 보낸 패킷간의 경쟁을 최소화 시키고 먼저 보낸 패킷이 채널을 잡을수 있도록 한다. 이를 모델링을 통해 검증하여 약 43%의 성능 개선 효과가 있음을 확인하였다.

• 한국축산식품학회지
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• 제25권1호
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• pp.45-51
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• 2005

본 연구는 한국에서 사육된 한우와 일본에 한국산 육성우를 수출하여 일본 사양표준에 의해 사육된 한우 및 일본의 화우육간 미생물 및 단백질 추출성을 상호 비교하여 기초적인 품질정보를 얻고자 실시되었다. 진공포장 쇠고기는 4±1℃에 저장하면서 13일차에 분석하였다. 미생물검사에서 총균수는 각 부위별 비교에서 우둔이 가장 높게 나타났다(p<0.0001). 내냉성 미생물의 경우 우둔이 비교적 높게 나타났으나 유의적인 차이는 없었으며 등심에서 가장 낮게 검출되었다. E. coli는 각 부위별 비교에서 유의적인 차이는 없었다. 젖산균은 한국산 3등급 목심에서 가장 많이 검출되었다(P<0.0001). 수용성 단백질에 있어서는 등심, 목심, 우둔 중에서 목심 부위에서 가장 많이 나왔다(p<0.001). 등심의 경우 수용성 단백질은 3등급 한우와 화우에서 가장 많은 3.010, 2.977mg/g이었으며, 다음은 1등급 한우로 2.927 mg/g이었다(p<0.001). 등심의 염용성 단백질의 경우 1등급 한우가 7.437mg/g으로 가장 많았다.

• 정보과학회 컴퓨팅의 실제 논문지
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• 제21권10호
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• pp.639-644
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• 2015

최근 널리 사용되는 Solid State Drive(SSD), embedded Multi Media Card(eMMC) 등의 플래시 저장장치는 사용자 요구에 의해 점점 그 용량이 증대되고 있다. 플래시 저장장치 내부의 Flash Translation Layer(FTL)은 전원 유실 등의 크래시 상황에서 전체 플래시 영역을 대상으로 복구하는 동작을 하게 되는데, 저장장치의 고용량 화로 인해 그 시간이 길어지는 문제가 발생한다. 본 논문에서는 이러한 문제를 해결하기 위하여 저장장치 용량에 비례하지 않도록 O(1) 크래시 복구 수행 시간을 갖는 O1FTL을 제안한다. 이를 위해 본 연구팀은 기존에 플래시 파일 시스템에서 제안된 작업 영역 기법을 FTL에 적용하고 실제 하드웨어 플랫폼에 구현하였다. 실험 결과, 다양한 용량에 대해 유사한 복구 시간을 달성함을 보였으며, I/O 성능, 수명에 대해서는 대단히 적은 오버헤드를 요구하는 것을 검증하였다.

• 센서학회지
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• 제17권2호
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• pp.147-150
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• 2008

Multiple ZnO nanorod device detecting $NO_2$ gas was fabricated by sol-gel growth method and gas response characteristics were measured as a chemical gas sensor. The device is mainly composed of sensing electrode and sensing nano material. To acquire high sensitivity of the device for $NO_2$ gas it was heated by a heat chuck up to $400^{\circ}C$ The sensing part was easily made using the CMOS compatible process, for example, the large area and low temperature nano material growth process, etc. The sensors were successfully demonstrated and showed high sensitive response for $NO_2$ gas sensing.