• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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• pp.486-486
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• 2012

반도체 식각 공정에서 이온의 플럭스와 충돌 에너지를 각각 조절하고자 Dual frequency RF source가 사용된다. 듀얼 freuqnecy RF가 인가된 Capacitively coupled plasma (CCP) 의 경우, 기판에 걸린 Low freuqency (LF) RF 소스에 의하여 이온의 에너지를 조절하고, High frequency (HF) 소스를 조절하여 이온의 플럭스를 조절하는 것이 일반적이다. 그러나 LF의 세기가 증가함에 따라서, 플라즈마의 밀도가 오히려 감소하는 문제점이 있었다. 이 경우, 약한 자장을 플라즈마에 걸어줌으로써 밀도가 감소되는 문제를 해결할 수 있다고 알려져 왔다. Inductively coupled plasma (ICP) 에서는 HF를 안테나에 가하여 이온의 플럭스를 조절하고, LF를 기판에 가하여 이온의 충돌 에너지를 조절하는 것이 일반적인데, 위와 동일한 문제가 이 경우에도 발생하는 것을 확인 하였다. CCP와 마찬가지로, 바이어스에 걸린 파워의 세기가 증가함에 따라서 플라즈마의 밀도가 감소하고 전자의 온도가 증가하는 현상을 확인하였다. 또한 이때에도, 약한 자장을 걸어줌으로써 플라즈마의 밀도가 감소하지 않고 유지될 수 있으며, 전자의 온도 또한 유지될 수 있음을 발견하였다.

• Journal of Positioning, Navigation, and Timing
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• 제7권4호
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• pp.235-243
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• 2018

Conventional Real Time Kinematics (RTK) collect measurements in stationary state for several minutes to resolve the integer ambiguity in the carrier phase measurement or resolve the integer ambiguity on the move assuming low maneuvering movement. In this paper, an On The Move-RTK (OTM-RTK) technique that resolves the integer ambiguity on the move for fast and precise positioning of ground vehicles such as high maneuvering vehicles was proposed. The OTM-RTK estimates the precise amount of movement between epochs using the carrier phase measurements acquired on the move, and by using this, resolves the integer ambiguity within a short period of time by evaluating the integer ambiguity candidates for each epoch. This study analyzed the integer ambiguity resolution performance using field driving experiment data in order to verify the performance of the proposed method. The results of the experiment showed that the precise trajectory including the initial position bias can be obtained prior to resolving the integer ambiguity, and after resolving the integer ambiguity on the move, it was possible to obtain the bias-corrected precise position solution. It was confirmed that the integer ambiguity can be resolved by collecting measurements of about 10 epochs from the moving vehicle using a dual frequency receiver.

• 한국전자파학회논문지
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• 제16권11호
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• pp.1106-1113
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• 2005

본 논문에서는 단일 국부 발진기를 이용하여 IEEE 802.11a/b/g 표준의 두 대역 신호를 처리할 수 있는 이중 대역 혼합기를 설계 구현하여 기존 방식의 단점을 개선하였다. 기존 회로 구조는 두 대역을 처리하기 위해 각각 두 개의 국부 발진기와 혼합기를 사용함으로 인하여 구조의 복잡함과 큰 전력 손실이라는 단점을 가지고 있었다. 구현된 회로는 입력 RF 2.452/5.260 GHz에서 동일한 IF인 356 MHz로 하향 변환하였을 때 변환 손실은 각각 11.6 dB, 16.8 dB, IIP3(Input 3rd Intercept Point)는 각각 8.77 dBm, 12.5 dBm으로 측정되었으며, RF-LO 격리도는 각각 36 dB, 41 dB, LO-IF 격리도는 각각 50 dB 이상의 특성을 나타내었다.

• 한국전자파학회논문지
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• 제11권4호
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• pp.634-641
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• 2000

DECT 단말기용 Switchable veo를 설계 및 제작하였다. 이중모드 단말기에서는 하나의 veo가 송.수신모 드의 규격을 만족하도록 두 개의 다른 주파수에서 동작되어야 한다. 이중 모드 veo는 하나의 공진부를 스위칭 한 VCO 두 개의 공진부를 스위칭한 veo 그리고 두개의 VCO를 스위칭한 형태가 있다. 본 논문에서는 하나의 공진부를 스위칭한 VCO를 사용하였는데, 핀 다이오드를 사용하여 공진부의 커패시턴스를 스위칭하였다. 측정 결과 바이어스 조건이 3V와 13mA일때 출력전력은 - 6.5 dBm 이상, 25 kHz offset 주파수에서 - 104 dEe/Hz의 위상잡음 특성을 나타내었다. 따라서 제작된 switchable VCO는 DECT 단말기에 적용할 가능함을 알 수 있다.

• Investigative Magnetic Resonance Imaging
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• 제22권4호
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• pp.218-228
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• 2018

Purpose: The objective of this study is to determine the effect of physical changes on MR temperature imaging at 7.0T and to examine proton-resonance-frequency related changes of MR phase images and T1 related changes of MR magnitude images, which are obtained for MR thermometry at various magnetic field strengths. Materials and Methods: An MR-compatible capacitive-coupled radio-frequency hyperthermia system was implemented for heating a phantom and swine muscle tissue, which can be used for both 7.0T and 3.0T MRI. To determine the effect of flip angle correction on T1-based MR thermometry, proton resonance frequency, apparent T1, actual flip angle, and T1 images were obtained. For this purpose, three types of imaging sequences are used, namely, T1-weighted fast field echo with variable flip angle method, dual repetition time method, and variable flip angle method with radio-frequency field nonuniformity correction. Results: Signal-to-noise ratio of the proton resonance frequency shift-based temperature images obtained at 7.0T was five-fold higher than that at 3.0T. The T1 value increases with increasing temperature at both 3.0T and 7.0T. However, temperature measurement using apparent T1-based MR thermometry results in bias and error because B1 varies with temperature. After correcting for the effect of B1 changes, our experimental results confirmed that the calculated T1 increases with increasing temperature both at 3.0T and 7.0T. Conclusion: This study suggests that the temperature-induced flip angle variations need to be considered for accurate temperature measurements in T1-based MR thermometry.

• 제어로봇시스템학회논문지
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• 제7권6호
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• pp.550-557
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• 2001

There are several applications and error analysis methods using GPS(Global Positioning System) In most analysis positioning and timing errors are represented as the multiplication of DOP(Dilution Of Precision) and measurement errors, which are affected by the receiver and measurement type. Therefore, lots of DOPs are defined and used to analyze and predict the performance of positioning and timing systems. In this paper, the relationships between these DOPs are investigated in detail, The relationships between GDOP(Geometric DOP), PDOP(Position DOP) and TDOP(Time DOP) in the absolute positioning are de-rived. Using these relationships, the affect of clock bias is analyzed. The relationships between RGDOP(Relative DOP) and PDOP are also derived in relative positioning where the single difference and double dif-ference techniques are used. From the results, it is expected that using the common clock will give better performance when the single difference technique is used while the effects of clock is eliminate when the double difference technique is used. Finally, the error analyses of dual frequency receivers show that the narrow lane measurements give more accurate results than wide line of or L1. L2 independent measurements.