• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 1998년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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• pp.157-157
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• 1998

• 한국재료학회지
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• 제8권2호
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• pp.131-134
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• 1998

$SiO_{2}$ 기판과 dimethylethylamine alane(DMEAA)을 반응소스로 하여 알루미늄을 증착시켜 증착전 전처리 가스 종류와 수소 플라즈마 처리에 따른 증착속도의 차이와 미세구조에 대하여 연구하였다. TiN기판에 증착된 알루미늄의 증착속도는 증착전 수소 가스에 의한 전처리한 경우 아르곤이나 헬륨에 의한 전처리에 비해 빠른 증착속도를 나타내었다. 이르곤 플라즈마 전처리나 플라즈마 전처리 하지 않고 $SiO_{2}$기판에 알루미늄을 증착하였을 경우에 비해 수소 플라즈마 전처리에 의해 알루미튬증착시 잠복기(incubation time)가 감소하였으며 치밀한 미세조직을 얻을 수 있었다.

• 한국진공학회지
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• 제4권S1호
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• pp.81-86
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• 1995

Aluminum has been deposited selectively on TiN surfaces in the presence of Si, SiO2 from Dimethyethylamine Alane(DMEAA). The film properties of the deopsited AI film were determined by various methods(SEM, Auger, UV-photospectrometer, Four point-probe, XRD). The effect of in-situ H2 plasma precleaning was studied. The effect of gap distance, pressure and temperature on the properties(crystallinity, resistance, grain size, morphology) of AI film and on the growth rates was investigated. It was found that the plasma precleaning promotes the growth rate and there exists optimum thmperature for maximum growth rate.

• 한국재료학회지
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• 제6권3호
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• pp.333-340
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• 1996

p-type(100) 실리콘 기판과 TiN(50nm)/Si 기판에 dimethylethylamine alane(DMEAA)을 반응소스로 하여 알루미늄을 증착시켜 증착온도와 유량, 반송가스 종류에 따른 방향성, 증착속도, 미세구조 변화에 대해 연구하였다. 알루미늄의 증착속도는 기판온도, 반송가스 종류 및 유량에 따라 100-650mn/min으로 다양하게 조절되었다. DMEAA의 증착 활성화에너지는 TiN 기판에서는 약 0.leV이었고 Si와 SiO2 기판에서는 각각 약 0.23eV, 0.24eV이었다. 알루미늄 박막의 방향성은 증착속도의 감소에 따라 (200)에서 (111)방향으로 변하였다. 증착된 알루미늄 박막의 불순물 함량은 산소의 경우 0.2at%, 탄소의 경우 1.8at.%이었다. DMEAA 소스에 의한 알루미늄의 증착속도는 반송가스가 Ar 일 때 보다 H2 가스를 사용하면 증착속도가 크게 증가하였으며 이는 반송가스에 의해 SiO2표면의 흡착 H 농도가 증가하고 흡착 H가 소스 가스와 반응하여 핵생성 site 로 작용하는 것으로 생각된다. 알루미늄 박막의 비저항은 표면 미세조직에 크게 영향을 받으며 그 값은 약 3-7$\mu$$\Omega$cm이었다.

• 한국가스학회지
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• 제7권4호
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• pp.30-35
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• 2003

제조물책임(Product Liability : PL)이란 제조물의 결함으로 인하여 소비자 또는 제3자의 생명, 신체, 재산 등에 손해가 발생했을 경우 그 제조물의 제조자 또는 판매자 등에게 손해배상 책임을 부과시키는 법으로 국내에서는 제조물책임법은 2002년 7월 시행되었다. 본 연구에서 FMEA를 이용한 화학제품의 제조물책임 대응체계를 구성하였으며, 깍N-Dimethyethylamine을 사례로 적용하여 연구를 진행하였다. 우선 화학제품의 취급설명서 역할을 하는 MSDS(Material Safety Data Sheet)를 통해 제품의 정보를 파악하고, 제품의 결함으로 인한 영향을 분석하는 FMEA기법을 적용하여 결함의 심각도, 결함의 발생빈도 및 검출도의 곱으로 정의된 RPN(Risk Priority Number)에 의하여 위험성을 정량적으로 제시하였다.

• 대한안과학회지
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• 제59권11호
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• pp.1077-1081
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• 2018

목적: 기화된 아민에 의한 각막부종 2예를 보고하고자 한다. 증례요약: 28세 남자 환자가 시력저하를 주소로 내원하였다. 폴리우레탄 액체를 고체화시키는 작업을 했으며 폴리우레탄과 직접적인 접촉은 없어도 작업 시 열기와 기체를 직접 접하게 된다고 했다. 우안 나안시력 0.5, 좌안 0.6, 세극등현미경검사에서 상피하 소낭포 소견이 관찰되었고, 경면현미경에서 각막두께는 우안 $698{\mu}m$ 좌안 $672{\mu}m$로 증가해 있었다. 0.5% moxifloxacin과 1% fluorometholone을 점안하며 3일 후 나안시력 우안 0.5, 좌안 1.0, 각막두께는 우안 $644{\mu}m$, 좌안 $651{\mu}m$로 감소, 좌안 소낭포도 감소했다. 34세 여자 환자가 자동차 의자 충전재를 다루는 공장에서 일하며 시력감소로 내원하였다. 우안 시력 0.8, 좌안 시력 1.0, 중심각막두께는 우안 $537{\mu}m$, 좌안 $541{\mu}m$를 보였다. 세극등현미경검사에서 양안 각막에 상피하 부종이 관찰되었다. 환자는 초진 이후 내원하지 않았다. 결론: 폴리우레탄 폼 생산과 같이 아민을 취급하는 작업 시 간접적인 증기 노출로도 가역적인 각막 독성을 유발할 수 있으므로 산업장에서 아민류 농도에 관한 고려가 필요하다.