Fabrication and Dielectric Properties of $(Sr_{1-x}Ca_x)TiO_3$ thin film by RF Magnetron Sputtering Method
(RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 $(Sr_{1-x}Ca_x)TiO_3$ 박막의 제조 및 유전특성)
-
- Proceedings of the KIEE Conference
- /
- 1998.07d
- /
- pp.1456-1458
- /
- 1998