• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제22권3호
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• pp.1-7
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• 2023

Recently, in the semiconductor industry, memory device market is focusing on producing ultra-thin wafers for high integration. In the wafer manufacturing process, wafers after backgrinding and CMP process must be picked up as individual dies and subjected to be peeled off from the dicing tape. However, ultra-thin dies are vulnerable to the possibility of breakage and failure in their thickness and size. This research studies the mechanism of peeling a die with a high-aspect ratio using a thermopneumatic method instead of a die ejector with physical pins. Setting compressed air and the temperature as main factors, we determine the success of the digester using thermopneumatic system and analyze the good die to find the possibility of making mass-production equipment.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제13권8호
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• pp.3301-3306
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• 2012

LED 칩 패키징에서 다이 본딩은 분할된 칩을 리드 프레임에 고정시켜 칩이 이후 공정을 견딜 수 있도록 충분한 강도를 제공하는 중요한 공정이다. 기존의 다이 본더의 픽업 장치는 단순히 콜렛의 하강 동작과 이젝터 핀의 상승 동작만으로 구동되어 픽업 장치와 다이가 접촉하는 순간 충격에 의한 다이의 손상과 위치 정렬 오차에 대한 문제점이 발생한다. 본 연구에서는 위치 정렬 에러 및 다이의 손상을 최소화시키기 위하여 고정밀, 고속 이송이 가능한 픽업 헤드를 사용한 다이 본더 시스템을 개발하였다. 구조적 안정성을 평가하기 위해 다이 본더의 유한요소모델을 생성하였고 구조 해석을 수행하였다. 그다음, 다이 본더의 작동 주파수에 대해 픽업 헤드의 유한요소모델을 이용하여 진동해석을 수행하였다. 해석 결과, 다이 본더에 작용하는 응력 및 변위, 고유진동수에 대해 분석하였고 개발된 시스템의 구조적 안정성에 대해 확인하였다.

• 한국정밀공학회지
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• 제19권9호
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• pp.166-171
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• 2002

The objective of this paper is to investigate the effect of clearance and the configuration of die system on burr formation by FEM analysis and experimental tests. Compared with casting, forging and machining, shearing has been known, especially in heavy or mass-production industries, as a very economical and fast way to obtain the desired shape Recently, the shearing process becomes widely used in the small and light electronic component manufacturing industries. When shearing a part of sheet metal, the burr formed on the cutting edge is usually unavoidable. The burr would not only degrade the precision of products but also causes additional cost for the deburring process. In this paper, the influence of shearing parameters such as clearance and configurations of the lower pad (ejector) on burr formation is investigated by using the experimental and numerical approach. From the experimental results, it has been shown that the more narrow clearance gives the smaller burr height and the higher shearing forces. The removal of lower holder also makes the sheared surface integrity and the dimensional accuracy become worse. The FEM results (using DEFORM-2D) show good agreement with the experimental results.