PECVD로 제조한 $SnO_2$ 박막의 구조적 특성
(Structural Characteristics of $SnO_2$ Thin Films prepared by PECVD)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2005년도 추계학술대회 논문집 Vol.18
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- pp.250-251
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- 2005