Chun, Hui-Gon;You, Yong-Zoo;Nikolay S. Sochugov;Sergey V. Rabotkin
Journal of the Korean institute of surface engineering
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v.36
no.4
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pp.296-300
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2003
Extended cylindrical magnetron sputtering system with rotating 600-mm long and 90-mm diameter graphite cathode and pulsed power supply voltage generator were developed and fabricated. Time-dependent Langmuir probe characteristics as well as carbon films thickness were measured. It was shown that ratio of ions flux to carbon atoms flux for pulsed magnetron discharge mode was equal to $\Phi_{i}$$\Phi$sub C/ = 0.2. It did not depend on the discharge current in the range of $I_{d}$ / = 10∼60 A since both the plasma density and the film deposition rate were found approximately proportional to the discharge current. In spite of this fact carbon film structure was found to be strongly dependent on the discharge current. Grain size increased from 100 nm at $I_{d}$ = 10∼20 A to 500 nm at $I_{d}$ = 40∼60 A. To deposit fine-grained hard nanocrystalline or amorphous carbon coating current regime with $I_{d}$ = 20 A was chosen. Pulsed negative bias voltage ($\tau$= 40 ${\mu}\textrm{s}$, $U_{b}$ = 0∼10 ㎸) synchronized with magnetron discharge pulses was applied to a substrate and voltage of $U_{b}$ = 3.4 ㎸ was shown to be optimum for a hard carbon film deposition. Lower voltages were not sufficient for amorphization of a growing graphite film, while higher voltages led to excessive ion bombardment and effects of recrystalization and graphitization.
The effects of monensin, Tween 80 and exogenous fibrolytic enzymes on ruminal fermentation and animal performance were studied in vitro and in vivo. In Expt 1, the effects of the surfactant Tween 80 (0.2% wt/wt, DM basis) on ruminal fermentation of alfalfa, corn and orchardgrass silages were investigated using in vitro gas production techniques. Tween 80 did not affect (p>0.05) cumulative gas production at 24 h, but it reduced (p<0.05) the lag in fermentation of all three silages. With corn silage and orchardgrass silage, gas production rates and concentrations of total volatile fatty acids (VFA) were increased (p<0.05) by Tween 80; with alfalfa silage, they were reduced (p<0.05). Tween 80 increased (p<0.05) the proportion of propionate in total VFA, and reduced (p<0.05) acetate to propionate ratios (A:P) with all three silages. In Expt 2, exogenous fibrolytic enzymes (E; at 0, 37.5 or 75 g/tonne DM), monensin (M; at 0 or 25 ppm and Tween 80 (T; at 0 or 2 L/tonne DM) were added alone or in combination to backgrounding and finishing diets fed to 320 crossbred steers in a feeding trial with a $3{\times}2{\times}$2 factorial arrangement of treatments. The backgrounding and finishing diets contained barley grain and barley silage in ratios of 57.8:42.2 and 93.5:6.5 (DM basis), respectively. Added alone, none of the additives affected DM intake (p>0.1) in the backgrounding or in the finishing period, but interactive $M{\times}T$ effects were observed in the finishing period (p=0.02) and overall (p=0.04). In the finishing period, T without M tended to reduce DM intake (p=0.11), but T with M increased (p=0.05) DM intake. Monensin increased average daily gain (ADG) during backgrounding (p=0.07) and finishing (p=0.01), and this ionophore also improved overall feed efficiency (p=0.02). Warm carcass weight was increased (p<0.001) by M, but dressing percentage was reduced (p=0.07). In the backgrounding period, T increased ADG by 7% (p=0.06). Enzymes increased (p=0.07) ADG by 5 and 6% (low and high application rates, respectively) during backgrounding, but did not affect (p>0.10) ADG during finishing, or overall feed efficiency. Whereas T enhanced the positive effects of M on ADG during backgrounding (p=0.04) and overall (p=0.05), it had no impact (p>0.1) on the effects of E. Interactions between M and T suggest that the surfactant may have potential for enhancing the positive effects of monensin on beef production, but this requires further research.
The objective of this study was to characterize the mechanical properties of $Y_{2}O_{3}$-containing glass infiltrated ceramic core material, which was made by pressureless powder packing method. A pure alumina powder with a grain size of about $4{\mu}m$ was packed without pressure is silicon mold to form a bar shaped sample, and applied PVA solution as a binder. Samples were sinterd at $1350^{\circ}C$ for 1 hour. After cooling, $Y_{2}O_{3}$-containing glass($SiO_{2},\;Y_{2}O_{3},\;B_{2}O_{3},\;Al_{2}O_{3}$, ect) was infiltrated to the sinterd samples at $1300^{\circ}C$ for 2 hours and cooled. Six different proportions $Y_{2}O_{3}$ of were used to know the effect of the mismatch of the thermal expansion coefficient between alumina powder and glass. The samples were ground to $3{\times}3{\times}30$ mm size and polished with $1{\mu}m$ diamond paste. Flexural strength, fracture toughness, hardness and other physical properties were obtained, and the fractured surface was examined with SEM and EPMA. Ten samples of each group were tested and compared with In-Ceram(tm) core materials of same size made in dental laboratory. The results were as follows : 1. The flexural strengths of group 1 and 3 were significantly not different with that of In-Ceram, but other experimental groups were lower than In-Ceram. 2. The shrinkage rate of samples was 0.42% after first firing, and 0.45% after glass infiltration. Total shrinkage rate was 0.87%. 3. After first firing, porosity rate of experimental groups was 50%, compared with 22.25% of In-Ceram. After glass infiltration, porosity rate of experimental groups was 2%, and 1% in In-Ceram. 4. There was no statistical difference in hardness between two materials tested, but in fracture toughness, group 2 and 3 were higher than In-Ceram. 5. The thermal expansion coefficients of experimental groups were varied to $4.51-5.35{\times}10^{-6}/^{\circ}C$ according to glass composition, also the flexural strengths of samples were varied. 6. In a view of SEM, many microparticles about $0.5{\mu}m$ diameter and $4{\mu}m$ diameter were observed in In-Ceram. But in experimental group, the size of most particles was about $4{\mu}m$, and a little microparticles was observed. The results obtained in this study showed that the mismatch of the thermal expansion coefficients between alumina powder and infiltrated glass affect the flexural strength of alumin/glass composite. The $Y_{2}O_{3}$-containing glass infiltrated ceramic core made by powder packing method will takes less time and cost with sufficient flexural strength similar to all ceramic crown made with slip casting technique.
Optics fabrication process for precision space optical parts includes bound abrasive grinding, loose abrasive lapping and polishing. The traditional bound abrasive grinding with bronze bond cupped diamond wheel leaves the machine marks of about $20{mu}m$ rms in height and the subsurface damage of about 1 ${mu}m$ rms in height to be removed by subsequent loose abrasive lapping. We explored an efficient quantitative control of precision CNC grinding. The machining parameters such as grain size, work-piece rotation speed and feed rate were altered while grinding the work-piece surfaces of 20-100 mm in diameter. The input grinding variables and the resulting surface quality data were used to build grinding prediction models using empirical and multi-variable regression analysis. The effectiveness of such grinding prediction models was then examined by running a series of precision CNC grinding operation with a set of controlled input variables and predicted output surface quality indicators. The experiment achieved the predictability down to ${pm}20$ nm in height and the surface roughness down to 36 nm in height. This study contributed to improvement of the process efficiency reaching directly the polishing and figuring process without the need for the loose abrasive lapping stage.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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1999.07a
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pp.214-214
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1999
다이아몬드를 반도체용 열방산용기판 등으로 사용하기 위해서는 수백 $\mu\textrm{m}$ 두께의 대면적 웨이퍼가 요구된다. 이를 위해서 DC are jet CVD, MW PACVD, DC PACVD 등이 개발되어, 현재 4"에서 8"까지의 많은 문제를 일으키고 있다. 본 연구에서는 multi-cathode DC PACVD법에 의한 4" 다이아몬드 웨이퍼의 합성과 합성된 막의 특성변화에 대한 연구를 수행하였다. 또한, 웨이퍼의 휨과 crack 발생거동과 대한 고찰을 통래 휨과 crack이 없는 웨이퍼의 제작방법을 고안하였다. 사용된 음극의 수는 일곱 개이며, 투입된 power는 각 음극 당 약 2.5kW(4.1 A-600V)이었다. 사용된 기판의 크기는 직경 4"이었다. 합성압력은 100Torr, 가스유량은 150sccm, 증착온도는 125$0^{\circ}C$~131$0^{\circ}C$, 수소가스네 메탄조성은 5%~8%이었다. 합성 중 막에 인가되는 응력은 합성 중 증착온도의 변화에 의해 제어하였다. 막의 결정도는 Raman spectroscopy 및 열전도도를 측정을 통해 분석하였다. 성장속도 및 다이아몬드 peak의 반가폭은 메탄조성 증가(5%~8%)에 따라 증가하여 각각 6.6~10.5$\mu\textrm{m}$/h 및 3.8~5.2 cm-1의 분포를 보였다. 6%CH4 및 7%CH4에서 합성된 웨이퍼에서 측정된 막의 열전도도는 11W/cmK~13W/cmK 정도로 높게 나타났다. 막두께의 uniformity는 최대 3.5%로 매우 균일하였다. 막에 인가되는 응력의 제어로 직경 4"k 합성면적에서 두께 1mm 이상의 균열 및 휨이 없는 다이아몬드 자유막 웨이퍼를 합성할 수 있었다.다이아몬드 자유막 웨이퍼를 합성할 수 있었다.active ion에 의해 sputtering 이 된다. 이때 plasma 처리기의 polymer 기판 후면에 magnet를 설치하여 높은 ionization을 발생시켜 처리 효과를 한층 높여 주었다. 이 plasma 처리는 표면 청정화, 표면 etching 이 동시에 행하는 것과 함께 장시간 처리에 의해 표면에서는 미세한 과, C=C기, -C-O-의 극성기의 도입에 의한 표면 개량이 된다는 것을 관찰할 수 있다. OPP polymer 표면을 Ar 100%로 plasma 처리한 경우 C-O, C=O 등의 carbonyl가 발생됨을 알 수 있었다. C-O, C=O 등의 carbynyl polor group이 도입됨에 따라 sputter된 Al의 접착력이 향상됨을 알 수 있으며, TEM 관찰 결과 grain size도 상당히 작아짐을 알 수 있었다.onte-Carlo 방법으로 처리하였다. 정지기장해석의 경우 상용 S/W인 Vector Fields를 사용하였다. 이를 통해 sputter 내 플라즈마 특성, target으로 입사하는 이온에너지 및 각 분포, 이들이 target erosion 형상에 미치는 영향을 살펴보았다. 또한 이들 결과로부터 간단한 sputtering 모델을 사용하여 target으로부터 sputter된 입자들이 substrate에 부착되는 현상을 Monte-Carlo 방법으로 추적하여 성막특성도 살펴보았다.다.다양한 기능을 가진 신소재 제조에 있다. 또한 경제적인 측면에서도 고부가 가치의 제품 개발에 따른 새로운 수요 창출과 수익률 향상, 기존의 기능성 안료를 나노(nano)화하여 나노 입자를 제조, 기존의 기능성 안료에 대한 비용 절감 효과등을 유도 할 수 있다. 역시 기술적인 측면에서도 특수소재 개발에 있어 최적의 나노 입자 제어기술 개발 및 나노입자를 기능성 소재로 사용하여 새로운 제품의 제조와 고압 기상
Evaluation of the smear effect caused by mandrel penetration into soft ground for a vertical drain installation is very important to predict the consolidation time of soft ground improvement. 30 kinds of laboratory model tests considering in situ conditions were conducted to investigate the formation of a smear zone and the decrease of coefficient of permeability in the disturbed zone. Three types(C(clay):M(silt)=1:1, 0.5:0.5, and 0:1) of reconstituted samples were used for 3 dimensional smear zone test. An experimental study was performed focusing on length of mandrel penetration, mandrel shape and size, earth pressure, and ground condition(unit weight and grain size distributions). Laboratory test results show that the length of mandrel penetration is the most critical factor for the formation of smear zone. As a result, the ratio between diameter of the smear zone($d_s$) and that of mandrel($d_m$) at field using long mandrel becomes larger than conventional $d_s/d_m$. The ratio between $d_s$ and $d_m$ ranges from 1.89 and 2.48 with the sample at C:M=1:0. It was also found that the $d_s/d_m$ value with the round shape of the mandrel is smaller than that of diamond one. The value of $d_s/d_m$ decreased with larger mandrel size, lower unit weight, and higher earth pressure. However, higher silt content led to increase of $d_s/d_m$. The ratio between coefficient of horizontal permeability in the smear zone($k_{hs}$) and that of undisturbed zone($k_{ho}$) ranged from 0.70 to 0.85. The test results imply that factors and values affecting $k_{hs}/k_{ho}$ show similar tendency with $d_s/d_m$.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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