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Effect of Particle Size of Ceria Coated Silica and Polishing Pressure on Chemical Mechanical Polishing of Oxide Film

  • Kim, Hwan-Chul;Lim, Hyung-Mi;Kim, Dae-Sung;Lee, Seung-Ho
    • Transactions on Electrical and Electronic Materials
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    • 제7권4호
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    • pp.167-172
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    • 2006
  • Submicron colloidal silica coated with ceria were prepared by mixing of silica and nano ceria particles and modified by hydrothermal reaction. The polishing efficiency of the ceria coated silica slurry was tested over oxide film on silicon wafer. By changing the polishing pressure in the range of $140{\sim}420g/cm^2$ with the ceria coated silica slurries in $100{\sim}300nm$, rates, WIWNU and friction force were measured. The removal rate was in the order of 200, 100, and 300 nm size silica coated with ceria. It was known that the smaller particle size gives the higher removal rate with higher contact area in Cu slurry. In the case of oxide film, the indentation volume as well as contact area gives effect on the removal rate depending on the size of abrasives. The indentation volume increase with the size of abrasive particles, which results to higher removal rate. The highest removal rate in 200 nm silica core coated with ceria is discussed as proper combination of indentation and contact area effect.

$textsc{k}$-Casein, GMP, Sialic Acid가 한우송아지 Rotavirus와 제주도 Bovine Rotavirus(JBR)의 MA-104 세포감염에 미치는 영향 (Effect of $textsc{k}$-Casein, GMP and Sialic Acid on the Infection of MA-104 Cells by Korean Native Cattle Rotavirus and JBR)

  • 유제현;김종헌;박범석;유대환;신원선;김세민;지병주;송진욱
    • 한국축산식품학회지
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    • 제22권3호
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    • pp.274-280
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    • 2002
  • 로타바이러스는 유아와 어린 포유동물에 있어서 위장염을 일으키는 원인체로서 다양한 혈청형에 의해 발병되기 때문에 효과적인 백신 개발이 되지 않고 있다. 본 연구는 국내 분리 한우송아지 로타바이러스 S97과 JBR(Jeju island bovine rotavirus)에 $textsc{k}$-casein, GMf, sialic acid를 첨가하여 MA-104세포에 감염시켰을 때 그 억제 효과를 규명하기 위해 시행하였다. 한우송아지 로타바이러스 597과 JBR을 무혈청 Ml99배지의 MA-104세포에 감염시켜 37$^{\circ}C$에서 6일간 회전 배양하여 활성화시킨 다음, 로타바이러스 역가를 분석하였고, MA-104 세포에 활성화된 BRV를 감염시키고, $textsc{k}$-casein, GMP sialic acid를 각각 농도에 따라 첨가하여 15시간 배양한 다음 AEC 염색법으로 염색시켜 현미경 상에서 감염된 세포수를 계산하였다. 한우송아지 로타바이러스 S97과 GMR의 역가는 각각 2.5$\times$107과 2.0$\times$106 PFU/ml이었다. $textsc{k}$-casein, GMP의 농도 20001M에서 S97의 세포감염율은 97.4%와 97.44%로 나타났고, $textsc{k}$-casein, GWP의 농도 2000$\mu$M에서 JBR의 세포감염 억제율은 99.52%와 99.78%로 나타났다. Sialic acid의 농도 2000$\mu$M에서의 S97과 JBR의 세포감염 억제율은 3.85%와 3.63%로 나타났다. $textsc{k}$-casein, CU는 로타바이러스 S97과 JBR에 대해 농도 2000UM에서 97%이상의 억제효과를 나타냈으며, sialic acid는 억제효과가 거의 없었다. K-casein, GMP는 송아지뿐만 아니라 유아의 로타바이러스에 의한 설사를 억제할 수 있을 것으로 기대된다.