극저온 $CO_2$ 세정에서의 파티클 충돌 메커니즘에 대한 동적 해석
(A Dynamic Analysis for the Collision Mechanism between Particles on Cryogenic $CO_2$ Cleaning)
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- 한국정밀공학회:학술대회논문집
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- 한국정밀공학회 2007년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.197-198
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- 2007