• 제목/요약/키워드: Collimated Beam

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다중노광 나노구 리소그라피를 이용한 쌍-광자결정 어레이 제작 (Fabrication of Pair-Photonic Crystal Arrays using Multiple-Exposure Nanosphere Lithography)

  • 여종빈;한광민;이현용
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제23권3호
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    • pp.245-249
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    • 2010
  • Two dimensional(2D) pair-photonic crystals (pair-PCs) have been fabricated by a multiple-exposure nanosphere lithography (MENSL) method using the self-assembled nanospheres as lens-mask patterns and the collimated laser beam as a multiple-exposing source. The arrays of the 2D pair-PCs exhibited variable lattice structures and shape the control of rotating angle (${\Theta}$), tilting angle (${\gamma}$) and the exposure conditions. In addition, the base period or filling factor of pair-PCs as well as their shapes could be changed by experimental conditions and nanosphere size. A 1.18-${\mu}m$-thick resist was spincoated on Si substrate and the multiple exposure was carried out at change of ${\gamma}$ and ${\Theta}$. Images of prepared 2D pair-PCs were observed by SEM. We believe that the MENSL method is a suitable useful tool to realize the pair-periodic arrays of large area.

PDP용 수직형 구조의 근접 노광장치 개발 (Development of Proximity Exposure System with Vertical Structure for Plasama Display Panel)

  • 박정규;정수화;이항부
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제24권9호
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    • pp.2371-2380
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    • 2000
  • In this paper, we developed the proximity exposure system with the vertical structure of glass and mask stage to minimize the mask's warp caused by the pull of gravity. This system, which canirradiate the ultra violet through 1440 H 850 $\textrm{mm}^2$ and 1330X 1015 $\textrm{mm}^2$ exposure area, has the followingcharacteristics. The glass stage can be inclined by 80 degrees at vertical structure to load substrate withsafety on it. When the glass stage is the vertical state, the gap control, alignment control and exposureof ultra violet are executed. So, it enhances the pattern uniformity by minimizing the mask's warp. Theglass stage can also control the gap between the mask and the substrate by the coarse and fine motioncontrol. The mask stage can adjust the posture of photomask to the position of substrate by imageprecessing method. The galss stage for the gap control and the mask stage for the alignment aredesigned independently for each function.

Laboratory test of MEMS based astronomical adaptive optics

  • 유형준;박용선;채종철;양희수
    • 천문학회보
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    • 제36권1호
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    • pp.65.1-65.1
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    • 2011
  • We built a simple Adaptive Optics (AO) system at laboratory. This AO system is a step toward developing AO system for astronomical use. In this step, the AO system consists of He-Ne laser as a artificial light source, wavefront sensor, MEMS (Micro electro mechanical system) type deformable mirror and several lenses. MEMS deformable mirror allows the compact system at low cost and the only several mm sized collimated beam. We made Shack-Hartmann wavefront sensor using a lenslet array and a fast frame CCD. Its performance is verified using an artificial phase disturber and noting the movement of spot images by the lenslet array. The frame rate of the driving software is about 70 fps, depending on the control parameters. The characteristics of MEMS deformable mirror was measured which includes the voltage-to-deflection relation, influence function, and cross-talk. The total system is operated under closed-loop control for the artificial phase disturber and the wavefront is found to be compensated successfully.

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Ir-192 $\gamma$선(線)의 금속(金屬)에 대(對)한 산란분포(散亂分布)에 관(關)한 연구(硏究) (A Study on Scattering Distribution in Metal of Ir-192 Gamma-Ray)

  • 주광태
    • 대한방사선기술학회지:방사선기술과학
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    • 제4권1호
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    • pp.63-71
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    • 1981
  • The metal-plates(Aluminium. Copper, Lead) of change the variation thickness have been penetrated by the collimated beam($450mm{\times}4mm{\phi}$) of Gamma-ray from $^{192}Ir$. Then, the scattered $\gamma$-ray dose in variable angle and the directly transmitted $\gamma$-ray dose were measured using the electrometer of ionization chamber. The results were summarized as follows: 1. Obtained the mass attenuation coefficients of $Al;0.0937cm^2g^{-1},\;Cu;0.0937cm^2g^{-1},\;pb;0.244cm^2g^{-1}$. 2. Total intensity of front scattered $\gamma$-ray follow the order of Al>Cu>pb. 3. The scattered $\gamma$-ray intensity with the lager angle of scattering was saturated after increase rapidly, and the scattering angle of the more larger was decreased. 4. The scattered $\gamma$-ray intensity through plates of aluminium or copper was saturated after increase with thicker scatterer, and the intensity was decreased at the more thicker. But the variation of scattered $\gamma$-ray dose in the lead plate made the fewest than Al and Cu. 5. The ratio of the scattered $\gamma$-ray dose and the directly transmitted $\gamma$-ray dose was saturated after increase with the thicker scatterer, and the scatterer of the more thicker was decreased. Degree of total intensity in these ratios was followed the order of Cu>Al>Pb.

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Novel Telecentric Collimator Design for Mobile Optical Inspection Instruments

  • Hojong Choi;Seongil Cho;Jaemyung Ryu
    • Current Optics and Photonics
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    • 제7권3호
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    • pp.263-272
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    • 2023
  • A collimator refers to an optical system that images a collimated beam at a desired point. A resolution target located at a near distance can be converted into a virtual image located at a long distance. To test the resolution for mobile cameras, a large target is placed at a long distance. If a collimator system is used, the target can be placed at a near distance. The space required for a resolution inspection can thus be drastically reduced. However, to inspect a mobile camera, the exit pupil of the collimator system and the entrance pupil of the mobile camera must match, and the stop of the collimator system must be located on the last surface. Because a collimator system cannot be symmetrical with respect to the stop, the distortion becomes extremely large, which can be corrected by combining the collimator symmetrically with respect to the object plane. A novel system was designed to inspect an optical lens on a mobile phone. After arranging the refractive power, lenses were added using the equivalent lens design method. The distortion was reduced to less than 1%. This optical system satisfies a half-field angle of 45° and an optical performance sufficient for inspection.

Infrared Dual-field-of-view Optical System Design with Electro-Optic/Laser Common-aperture Optics

  • Jeong, Dohwan;Lee, Jun Ho;Jeong, Ho;Ok, Chang Min;Park, Hyun-Woo
    • Current Optics and Photonics
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    • 제2권3호
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    • pp.241-249
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    • 2018
  • We report a midinfrared dual-field-of-view (FOV) optical system design for an airborne electro-optical targeting system. To achieve miniaturization and weight reduction of the system, it has a common aperture and fore-optics for three different spectral wavelength bands: an electro-optic (EO) band ($0.6{\sim}0.9{\mu}m$), a midinfrared (IR) band ($3.6{\sim}4.9{\mu}m$), and a designation laser wavelength ($1.064{\mu}m$). It is free to steer the line of sight by rotating the pitch and roll axes. Our design co-aligns the roll axis, and the line of sight therefore has a fixed entrance pupil position for all optical paths, unlike previously reported dual-FOV designs, which dispenses with image coregistration that is otherwise required. The fore-optics is essentially an achromatized, collimated beam reducer for all bands. Following the fore-optics, the bands are split into the dual-FOV IR path and the EO/laser path by a beam splitter. The subsequent dual-FOV IR path design consists of a zoom lens group and a relay lens group. The IR path with the fore-optics provides two stepwise FOVs ($1.50^{\circ}{\times}1.20^{\circ}$ to $5.40^{\circ}{\times}4.32^{\circ}$), due to the insertion of two Si lenses into the zoom lens group. The IR optical system is designed in such a way that the location and f-number (f/5.3) of the cold stop internally provided by the IR detector are maintained when changing the zoom. The design also satisfies several important performance requirements, including an on-axis modulation transfer function (MTF) that exceeds 10% at the Nyquist frequency of the IR detector pitch, with distortion of less than 2%.

선형가속기 기반 뇌정위 방사선 수술기법 (Methodologic Aspect of LINAC-based Stereotactic Radiosurgery)

  • 최태진
    • 한국의학물리학회지:의학물리
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    • 제23권3호
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    • pp.127-137
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    • 2012
  • Leksell은 뇌동정맥기형종의 중심에 280 kVp 관전압 방사선빔을 집속하는 방법으로 방사선수술법을 고안 시술한 바 있으며, 이 후 코발트-60 감마 선원 201개의 선속이 헬멧콜리메터를 지나 구의 중심에 초점을 이루게 한 감마나이프를 개발하여 표적병변에 높은 선량을 주어 비침습적으로 수술효과를 얻었다. 선형가속기는 높은 선량률과 1 mm 이내의 갠트리회전중심과 안정된 치료대회전 및 선량성능검증효과와 획기적으로 발전된 3차원선량계획 전산화에 힘입어 정밀하고 높은 정확성에 바탕을 둔 비공면궤적으로 방사선을 환부에 집속할 수 있어, 병변 주위의 정상조직에는 낮은 선량이 도달하고 병변에 높은 선량을 줄 수 있는 뇌정위방사선수술에 이용할 수 있게 되었다. 특히 Photon Knife는 환자의 체축을 이용하여 선속이 환부를 중심으로 종횡의 비공면궤적을 이루게 하여 치료선량분포에서 90%와 50% 선량폭을 2~3 mm 까지 좁힐 수 있는 기법을 보였다. 최근 선형가속기의 방사선수술은 2.5~3 mm 폭의 초박형 다엽콜리메터를 이용한 세기조절에 의한 시술이 늘어나는 경향이며, 종전의 종양의 크기에 따른 제한을 넘어 3 cm 이상의 종양에도 시행되고 있다. 뇌정위방사선수술은 선량모델을 뒷받침하는 마이크로 선량계측 및 평가와 성능보증이 필수적이며 선량분포의 경사도를 높이는 기법이 지속적으로 연구되어야 한다. 특히 초박형다엽콜리메터를 이용한 방사선수술은 다엽콜리메터 요철(Tongue and groove) 에 의해 일어나는 표적내 선량저하 부위를 평가하고 균등한 표적선량이 이루어지도록 하며, 마이크로 분해능을 가진 선량검증 방법이 앞으로 더욱 발전할 것으로 보인다.

Evaluations of the Space Dose and Dose Reductions in Patients and Practitioners by Using the C-arm X-ray Tube Shielding Devices Developed in Our Laboratory

  • Kim, Jae Seok;Kim, Sung Ho;Lee, Bu Hyung;Kwon, Soo Il;Jung, Hai Jo;Hoe, Seong Wook;Son, Jin Hyun;Kang, Byeong Sam
    • 한국의학물리학회지:의학물리
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    • 제27권4호
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    • pp.241-249
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    • 2016
  • The present study used a digital angiography x-ray device to measure the space dose and exposure dose of patients and practitioners using x-ray tube shielding devices developed in our laboratory. The intent of the study was to reduce the space dose within the test room, and to reduce the exposure dose of patients and practitioners. The patient and practitioner exposure doses were measured in five configurations in a human body model. The glass dosimeter was placed on the eye lenses, thyroid glands, left shoulder, right shoulder, and gonads. The beam was collimated at full size and at a 48% reduction for a comparative analysis of the measurements. The space dose was measured with an ion chamber at distances of 50 cm, 100 cm, and 150 cm from the x-ray tube under the following conditions: no shielding device; a shielding device made of 3-mm-thick lead (Pb) [Pb 3 mm shield], and a shielding device made of 3-mm-thick Pb (outside) and 3-mm-thick aluminum (Al) (inside) [Pb 3 mm+Al 3 mm shield]. The absorbed dose was the lowest when the 3-mm-thick Pb+3-mm-thick Al shield was used. For measurements made with collimated beams with a 48% reduction, the dose was the lowest at $154{\mu}Gy$ when the 3-mm-thick Pb+3-mm-thick Al shield was used, and was $9{\mu}Gy$ lower than the measurements made with no shielding device. If the space dose can be reduced by 20% in all situations where the C-arm is employed by using the x-ray tube shielding devices developed in our laboratory, this is expected to play an important role in reducing the annual exposure dose for patients, practitioners, and assistants.

가상쐐기를 이용한 반대측 유방선량감소 (Contralateral Breast Dose Reduction Using a Virtual Wedge)

  • 여인환;김대용;김태현;신경환;지의규;박원;임도훈;허승재;안용찬
    • Radiation Oncology Journal
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    • 제23권4호
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    • pp.230-235
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    • 2005
  • 목적: Siemens사 선형가속기에 장착된 가상쐐기를 이용하여 반대측 유방에 흡수되는 선량을 기존쐐기와 비교 연구하고자 하였다. 대상 및 방법: 반대측 유방선량을 인체모형에서 이극진공관을 사용하여 측정하였다. 이극진공관을 조사영역의 내측 경계선으로부터 반대쪽 외측방향으로 5.5 cm (1번 위치), 9.5 cm (2번 위치), 14 cm (3번 위치) 떨어진 곳에 위치하였다. 6 MV X-선을 이용하여 50도와 230도에서 $17{\pm}10cm$의 비대칭조사영역을 사용하여 접면 조사를 실시하였다. 첫번째 실험은 4가지의 치료방법을 시도하였다; (i) 개방 내측조사와 30도 기존쐐기를 사용한 외측조사; (ii) 15도 기존쐐기를 사용한 내측 및 외측조사; (iii) 개방 내측조사와 30도 가상쐐기를 사용한 외측조사; (iv) 15도 가상쐐기를 사용한 내측 및 외측조사. 두번째 실험은 개방조사, 15도 및 60도 기존쐐기 및 가상쐐기 모두를 사용하여 내측조사를 시행하였으며, 이때 동일한 모니터단위로 조사하였다. 모든 실험은 3회 반복되었다. 결과: 첫번째 실험은 반대측 유방선량은 1번 위치, 2번 위치, 3번 위치의 순으로 감소한다. 또한 기존쐐기 및 가상쐐기와 무관하게 내측에 쐐기를 사용한 경우($3.25{\pm}1.59%$)보다는 사용하지 않은 경우(2.70{\pm}1.45%$) 선량이 낮았고, 이러한 차이는 가상쐐기($0.10{\pm}0.01%$)보다 기존쐐기($0.99{\pm}0.18%$)의 경우 더 컸다. 가상쐐기의 사용은 같은 기법의 기존쐐기를 사용한 것에 비해 처방선량 대비 $0.12{\sim}1.20%$의 반대측 유방선량을 감소시켰다. 두번째 실험시 1번 위치에서는 개방빔, 가상쐐기, 기존쐐기 순으로 선량이 높았으며, 2, 3번 위치에서는 기존쐐기, 개방빔, 가상쐐기 순으로 선량이 높았다. 결론: Siemens사 선형가속기에 장착된 가상쐐기를 사용할 경우 반대측 유방선량을 줄일 수 있으며, 위치에 따른 선량분포는 Varian사 것과 차이가 있었다.

Six-Dual 전자선 조사면에 의한 전신 피부 조사의 선량 특성 (Dose Characteristics of Total-Skin Electron-Beam Irradiation with Six-Dual Electron Fields)

  • 최태진;김진희;김옥배
    • Radiation Oncology Journal
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    • 제16권3호
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    • pp.337-345
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    • 1998
  • 목적 : 전신피부의 수 mm 깊이에 한정된 피부 종양의 전신전자선조사에서 균등선량을 얻기위해, 원거리 전자선조사면에 대한 선량특성을 얻고 상하6방향조사에 의한 전신피부선량분포를 조사하였다. 대상 및 방법 : 전신조사를 위한 실험적 선량분포는 전자선 타켓-피부간 거리 300 cm에서, 크기가 105*105 $cm^2$ (콜리메-터 35*35 $m^2$, TSD 100 cm) 인 조사면으로 4 MeV 전자선의 심부선량률, 공간선량분포, 에너지감쇠에 의한 선량률 변화 등의 선량특성이 정해졌다. 환자는 상하 6방향조사가 이루어지는 동안 안정된 위치를 유지하기 위하여 양손을 치켜들고 기둥막대를 잡을 수 있는 발판에 위에 표시해둔 위치에 서게 하였다. 4 MeV 전자선 에너지를 감쇠 시켜 산란선고 피부선량을 높이기 위해 전자선 통로상 환자 전면의 20 cm 거리에 0.5 cm 두께의 산란체인 아크릴판을 설치하였다. 전신피부의 흡수선량은 테프론혼합 CaSO4:Dy 열형광소자 (1 mm 직경 * 6 mm 길이)를 전신 74 곳에 부착하여 분할조사면에 의한 합성선량을 평가하였다. 결과 : 전자선 타켓-피부간 거리 300 cm에서 얻어진 105*105 $cm^2$ 의 큰 조사면의 선량 반치폭은 130 cm 였으며, 80$\%$ 폭은 86 cm 로 나타났으며, 두 조사면을 FWHM 만큼 이동하여 두 조사면을 25 cm 띄워 조사한 합성선량분포에서 선량률이 $100\pm10\%$ 인 균등조사면의 폭은 186 cm 로 확장되었다. 인체전면 20 cm 위체에 0.5 cm 아크릴판을 삽입한 결과, 4 MeV 전자선은 최대선량점 5 mm, 80$\%$ 깊이가 7 mm, 50$\%$ 깊이는 10.7 mm를 보여 감쇠된 전자선의 평균에너지는 2.5 MeV 였다. 큰 조사면의 선속 중심에서 50 cm 떨어진 위치의 심부선량률은 중심선속의 심부선량과 거의 동일 값을 보였다. 전신피부조사에 의한 환자의 선량분포는 인체의 돌출부와 굴곡부분을 제외하고는 비교적 균등한 선량이 도달되었으며, 돌출부와 분할조사면이 잘 이루어지지 않는 중첩조사부위는 각각 30$\%$ 와 60-100$\%$ 의 과다선량이 도달되어 치료중 차폐가 불가피한 반면, 인체구조상 전자선이 가리워지는 두정부, 회음부 및 대퇴부 내측은 선량이 거의 도달 되지 않는 곳이 생겨지므로 부가적 조사가 필요함을 알 수 있었다. 결론 : 전신피부조사는 2-3 MeV의 저에너지 전자선빔에 의해 피하 수 mm 깊이에 80$\%$ 의 선량을 도달시킬 수 있으며, 높은 에너지에서는 흡수체를 이용하여 적정에너지를 얻을 수 있다. 전신피부조사에서 전신균등선량은 전자선을 상하 각각 6문조사로 고정분할 조사하는 경우 전자선이 가리워지는 부위를 제외하고 대개 $\pm10\%$ 의 선량오차범위에 들었으나, 돌출부위의 선량과다부위에는 차폐가 필요하였으며, 전자선이 가리워지는 부위는 부가치료를 통해 임상에 적합한 균등선량분포를 얻을 수 있다.

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