• 제목/요약/키워드: Co film

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리튬 미소전지용 $LiCoO_2$ 박막양극의 전기화학적 특성에 미치는 기판의 영향 (Substrate Effect on the Electrochemical Properties of $LiCoO_2$ Thin-Film Cathode for Li Microbattery)

  • 이종기;이승주;백홍구;이성만
    • 전기화학회지
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    • 제3권3호
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    • pp.157-161
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    • 2000

  • 기판의 변화가 박막전극의 전기화학적 특성에 미치는 영향을 조사하기 위해 박막 $LiCoO_2$ 양극을 alumina, chemically etched-Si그리고 flat-Si기판 위에 증착하였다. Alumina기판의 경우 산소 분위기, $800^{\circ}C$ 30분간 열처리 후 내부에 균열이 존재하는 매우 큰 결정이 형성되었으나 flat-Si 기판의 경우에는 미세하며 균일한 결정이 관찰되었다. Flat-Si 기판 위에 증착된 박막은 alumina또는 식각된 Si 기판의 경우에 비하여 peak potential증감 및 고 전류밀도 방출 능면에서 매우 우수한 특성을 나타내었으며 이는 열처리 후 형성된 결정립의 크기, 표면 형상 및 전류 집전체의 전기저항 차이에 기인한 것으로 생각되었다.

  • https://doi.org/10.5229/JKES.2000.3.3.157 인용 PDF