• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제16권4호
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• pp.75-78
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• 2017

The $CO_2$ gas responsibility of $SnO_2$ thin films was researched with various annealing temperatures. $SnO_2$ was prepared on n-type Si substrate by RF magnetron sputtering system and annealed in a vacuum condition. The bonding structure of $SnO_2$ was changed from amorphous to crystal structure with increasing the annealing temperature, and the content of oxygen vacancy was researched the highest of the annealed at $60^{\circ}C$. The $SnO_2$ annealed at $60^{\circ}C$ had the characteristics of the highest capacitance. The special properties of $CO_2$ gas responsibility was found at the $SnO_2$ thin film annealed at $60^{\circ}C$ with amorphous structure because of the combination with the oxygen vacancies and $CO_2$ gases changed the resistivity. The amorphous structure enhanced the responsibility at the $SnO_2$ surface and the conductivity of $SnO_2$ thin film.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.166-166
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• 2012

We examined the distribution of Co ions of ferromagnetic n-type Zn(1-x)Co(x)O semiconducting films with the Co concentrations of 0.03~0.07 using x-ray absorption fine structure (XAFS) measurements at the Co and Zn K edges. Extended XAFS (EXAFS) revealed that Co ions mainly occupied the zinc sites of the films. X-ray absorption near edge structure (XANES) spectra demonstrated that the pre-edge peak of the Co K edge was substantially affected by the second neighboring Co ions at the zinc sites due to hybridizing of the Co 4p conduction electrons with the Co 3d bounded electrons. From XANES and EXAFS analysis using ab initio calculations, we found that Co ions uniformly occupied the zinc sites of the Zn (0.93) Co (0.07)O film, whereas the Co ions of the Zn (0.97) Co (0.03)O and Zn (0.95) Co (0.05)O films were substituted at localized zinc sites. The ferromagnetic properties of the Zn (0.93) Co(0.07)O film could be induced by direct interaction between the magnetic dipoles of the Co ions with a mean distance of 4.3 A or by Co 4p electron mediation.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2000년도 하계학술대회 논문집 C
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• pp.1779-1781
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• 2000

Pd doped $SnO_2$ thin film sensors were prepared on alumina substrate by rf magnetron sputtering method. The sensitivity of thin film was investigated by varying the heat-treatment temperature, film thickness and gas species. The thin film heat-treated at 600$^{\circ}C$ and film thickness of 5000${\AA}$ showed the highest sensitivity at an operating temperature of 400$^{\circ}C$.

• 한국표면공학회지
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• 제32권3호
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• pp.444-446
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• 1999

The structure and composition of anodic films, formed on 6063 commercial aluminium alloy at constant current density of $1.5A/^dm2$ with various superimposed cathodic current ratio, in the range 0~33%, in the 11% $H_2SO_4$ with various concentration of $CuSO_4{\cdot}5H_2O$, in the range 0~75 g/l, without cathodic current are generally porous-type and no sign of Cu co-deposition appearance, suggesting that cathodic current is an important factor in the Cu co-deposition. Comparison with the anodic film thickness measurement results obtained from anodic film formed by direct anodic current and anodic film formed by superimposed various portion of cathodic current, the portion of cathodic current of input current increases with decrease of anodic film thickness and increases with increase of concentration of $Cu_2S{\;}and{\;}Cu_2O$ in the anodic film.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2004년도 Asia Display / IMID 04
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• pp.985-987
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• 2004

A plastic substrate for flexible display is developed. The gas barrier property in the substrate is improved through depositing metal and metal oxide multi layer on plastic film by PVD process. The metal/metal-oxide multiplayer on plastic film shows excellent gas barrier property and optical property.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2010년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.549-550
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• 2010

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
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• 한국해양정보통신학회 2002년도 추계종합학술대회
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• pp.796-799
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• 2002

BSCCO thin films are fabricated via a co-deposition process at an ultra-low growth rate using ion beam sputtering. The sticking coefficient of Bi element exhibits a characteristic temperature dependence. This temperature dependence of the sticking coefficient was explained consistently on the basis of the evaporation and sublimation processes of Bi$_2$O$_3$.

• Current Research on Agriculture and Life Sciences
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• 제8권
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• pp.83-88
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• 1990

고농도의 탄산가스를 단기간 처리한 딸기를 0.06mm 폴리에틸렌 필름으로 포장저장하는 동안 포장내부의 기체조성, 중량감소율 및 부패율, 과육의 경도 및 과피의 색도등의 변화를 측정한 결과를 요약하면 다음과 같다. 저장중 포장내부의 기체조성은 저장초기에 급격히 변화하다가 저장14일 이후에는 산소농도 1~2%, 탄산가스농도 8~9%를 유지하였다. 무포장구의 중량감소율은 저장말기까지 12% 정도였으나 포장구는 약 2%정도의 중량감소율을 보였으며 탄산가스처리에 의해 부패율의 증가가 크게 억제되었다. pH는 다소 증가한 반면 적정산도는 약간 감소하였으며 당도는 탄산가스처리 및 포장에 의해 감소가 비교적 작게 나타났다. 과육의 경도는 탄산가스 처리에 의하여 저장14일까지 크게 증가되었으며 과피의 a값 역시 탄산가스 처리 및 포장에 의해 그 감소가 억제되었다. ascorbic acid의 함량은 저장 14일까지는 무포장구가 높았으나 그 이후는 포장구에서 높게 나타났다.

• 전기화학회지
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• 제10권4호
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• pp.279-282
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• 2007

개질기에서 생산된 수소를 연료전지용 연료로 사용할 때에는 개질수소가 포함하고 있는 일산화탄소가 막-전극접합체의 촉매를 피독시켜서 연료전지 성능이 크게 감소된다. 본 논문에서는 개질수소에 포함된 일산화탄소가 스퍼터링 공정으로 제조된 박막층에 의하여 개선된 막-전극접합체의 성능에 어떠한 영향을 미치는지 연구하였다. 실험결과 Pt와 Ru박막은 MEA의 단위전지 성능을 개선하였으며, 금속박막은 막-전극접합체의 일산화탄소에 대한 내구성을 증가시켰다. 산화전극으로의 공기주입 운전기법은 막-전극접합체의 일산화탄소에 대한 내구성을 증가시켰다. 게다가 Pt, Ru그리고 PtRu박막은 공기주입 운전에 영향을 주는 것으로 확인되었다.

• 한국세라믹학회지
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• 제38권12호
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• pp.1180-1186
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• 2001

고진공 저항 가열식 증발 증착기를 이용하여 약 1$mu extrm{m}$ 두께의 W $O_3$-Sn $O_2$박막 가스센서를 제작하였다. 50$0^{\circ}C$에서 4시간동안 공기중 열처리한 다음, 제조된 박막의 결정성과 미세구조를 관찰하였다. 100 ppm의 산화성 가스인 N $O_2$와 환원성 가스인 CO 가스에 대한 가스 감응 특성을 측정한 결과, N $O_2$가스에 대한 감도( $R_{gas}$/ $R_{air}$)는 기판온도 25$0^{\circ}C$에서 W $O_3$박막이 약 1000으로서 가장 높았으며, CO 가스 감도는 기판온도 15$0^{\circ}C$~25$0^{\circ}C$ 범위에서 약 0.25로 가장 양호하였다.하였다.