We report on a transmittance controlled photomask with phase patterns on the back quartz surface. Theoretical analysis for changes in illumination pupil shape with respect to the variation of size and density of backside phase patterns and experimental results for improvement of critical dimension uniformity on a wafer by using the transmittance controlled photomask are presented. As phase patterns for controlling transmittance of the photomask we used etched contact-hole type patterns with 180" rotative phase with respect to the unetched region. It is shown that pattern size on the backside of the photomask must be made as small as possible in order to keep the illumination pupil shape as close as possible to the original pupil shape and to achieve as large an illumination intensity drop as possible at a same pattern density. The distribution of illumination intensity drop suitable for correcting critical dimension error was realized by controlling pattern density of the contact-hole type phase patterns. We applied this transmittance controlled photomask to a critical layer of DRAM (Dynamic Random Access Memory) having a 140nm design rule and could achieve improvement of the critical dimension uniformity value from 24.0 nm to 10.7 nm in 3$\sigma$.TEX>.
Proceedings of the Korean Society for Bio-Environment Control Conference
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1998.10a
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pp.47-54
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1998
인공광형 식물공장의 광원으로는 고압나트륨등, 메탈할라이드등, 형광등이 주로 사용되고 있다. 고압나트륨등과 메탈할라이드등은 램프효율은 높으나 각각 청색광 또는 적색광이 부족하여 식물공장의 근접 조명용 단독 광원으로서는 부적합하다. 형광등은 고압나트륨등과 같은 고휘도 방전등에 비해서 광속은 낮으나 광이용효율이 높기 때문에 조직배양묘의 광원으로 널리 사용되고 있다. (중략)
This paper deals with the experiment to obtain quantitative information about conditions of the interface between a water drop and surrounding oil. Velocity distributions in very close region of the interface are measured by introducing a new illumination technique and a telecentric lens. It enables precise measurements of velocity distributions in the close region to the interface. Although the measured velocity distributions exhibit strong influence from the solid wall of an experimental tube, the coincidence of inner and outside velocities on the interface is clearly confirmed for the clean interface. The shearing stresses on the interface, which are proportional to the velocity gradient normal to the interface, clearly show conditions of contaminated interface, which can be divided into two parts. From front stagnation point to somewhere near a separation point, the distribution of shearing stresses is well coincide with that of the Hadamard's analytical solution, while the distribution on the latter part of the interface sows quite different feature, which is supposed to be strongly influenced by contamination of the surface.
The Journal of Korea Institute of Information, Electronics, and Communication Technology
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v.3
no.1
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pp.47-52
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2010
In this paper, we introduce a new approach for real-time 3D face pose discrimination based on active IR illumination from a monocular view of the camera. Under the IR illumination, the pupils appear bright. We develop algorithms for efficient and robust detection and tracking pupils in real time. Based on the geometric distortions of pupils under different face orientations, an eigen eye feature space is built based on training data that captures the relationship between 3D face orientation and the geometric features of the pupils. The 3D face pose for an input query image is subsequently classified using the eigen eye feature space. From the experiment, we obtained the range of results of discrimination from the subjects which close to the camera are from 94,67%, minimum from 100%, maximum.
In this study, a system is proposed for analyzing whether driver's eyes are open or closed on the basis of images to determine driver's drowsiness. The proposed system converts eye areas detected by a camera to a color space area to effectively detect eyes in a dark situation, for example, tunnels, and a bright situation due to a backlight. In addition, the system used a thickness distribution of a detected eye area as a feature value to analyze whether eyes are open or closed through the Support Vector Machine(SVM), representing 90.09% of accuracy. In the experiment for the images of driver wearing glasses, 83.83% of accuracy was obtained. In addition, in a comparative experiment with the existing PCA method by using Eigen-eye and Pupil Measuring System the detection rate is shown improved. After the experiment, driver's drowsiness was identified accurately by using the method of summing up the state of driver's eyes open and closes over time and the method of detecting driver's eyes that continue to be closed to examine drowsy driving.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2008.11a
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pp.121-121
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2008
We propose a novel nanomaterial-based pn diode which constructed with an n-type ZnO nanowire (NW) and a p-type HgTe nanoparticle (NP) thin film. The photo current characteristics of a ZnO NW, a HgTe NP thin film and pn diode constructed with a ZnO NW and a HgTe NP thin film were investigated under illumination of the 325 nm and 633 nm wavelength light. The conductivities of a ZnO NW exposed to the 325 nm and 633 nm wavelength light increased, while the photocurrents taken from the HgTe NP thin film was very close to the dark currents. Moreover, The pn diode exhibited the rectifying characteristics of the dark current and of the photocurrent excited by the 633 nm wavelength light. In contrast, the ohmic characteristics for the photocurrent were observed due to the junction barrier lowering in the conduction band of the ZnO nanowire under the illumination of the 325 nm wavelength light.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.23
no.9
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pp.708-713
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2010
In this research a ring light was developed so that a partial shadowless shooting for the patient's affected area at the medical treatment room and surgical operation room using high luminance light emitting diode (LED) for which attention is being paid as new lighting parts for medical purpose. LED which was applied to the development used high luminance three color LED for full color for which various color materialization and the adjustment of radiation intensity are possible and we can get white light in order to emphasize the delicate expression for generic tone of shooting object, strong highlight, simple shadow and three dimensional effect at the time of close-up shadowless shooting of the affected area. And at the time of design of ring light, the characteristics of LED and the loss of light at the time of penetrating light diffusion PC were considered so that intensity of illumination for over 150 lx can be obtained. The result of measurement of the intensity of illumination of the ring light that was developed revealed that maximum intensity of illumination of 225.7 lx was obtained, while smoke index was measured to be maximum 78 Ra in the case of Red(50%) Green(100%) and Blue LED(60%). We could confirm that response speed was also very fast as 1.72 ms.
Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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v.21
no.5
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pp.630-636
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2020
This study reviewed camouflage techniques to reduce the visual detect-ability of aircraft. Visual camouflage can be defined as the process of making objects less visible. Aircraft visual camouflage delays detection of the aircraft position, speed, and flight direction. Multi-tone and counter-shaded schemes are generally adopted as camouflage patterns for close-air-support aircraft and air-superiority aircraft, respectively. Another study showed that the monotone scheme is also efficient when the hue and brightness of the camouflage color are controlled correctly. Active camouflage techniques for aircraft have been studied to increase the camouflage effectiveness. In particular, counter-illumination techniques using electroluminescence devices can minimize the difference in brightness between the aircraft and sky background. Active camouflage techniques are expected to enhance the survivability of low-altitude UAVs, which are vulnerable to visual detection.
Kim, Dong-Hoon;Lee, Dong-Hwa;Myung, Hyun;Choi, Hyun-Taek
The Journal of Korea Robotics Society
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v.7
no.2
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pp.142-149
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2012
The camera has limitations of poor visibility in underwater environment due to the limited light source and medium noise of the environment. However, its usefulness in close range has been proved in many studies, especially for navigation. Thus, in this paper, vision-based object detection and tracking techniques using artificial objects for underwater robots have been studied. We employed template matching and mean shift algorithms for the object detection and tracking methods. Also, we propose the weighted correlation coefficient of adaptive threshold -based and color-region-aided approaches to enhance the object detection performance in various illumination conditions. The color information is incorporated into the template matched area and the features of the template are used to robustly calculate correlation coefficients. And the objects are recognized using multi-template matching approach. Finally, the water basin experiments have been conducted to demonstrate the performance of the proposed techniques using an underwater robot platform yShark made by KORDI.
Yang Dongwoo;Shin Changsoo;Yoon Kwangjin;Yang Seungjin;Suh Junghee;Hong Soonduk
Proceedings of the KSEEG Conference
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2002.04a
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pp.159-162
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2002
We tried to obtain an initial velocity model for prestack depth migration via waveform inversion. For application of any field data we chose a smooth background layered velocity model (v=v0 + k x z) as an initial velocity model. Newton type waveform inversion needs to invert huge Hessian matrix. In order to compute full Hessian matrix arising from full aperture data and full illumination zone, we meet insurmountable difficulties of paying astronomical computing cost. For the layered media, approximate Hessian emerging from single shot aperture data can be used repeatedly for split spread source configuration. In our work of using this Hessian characteristic of layered media we attempted to obtain the approximate velocity model as close as possible to the true velocity model in first iteration.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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