The effects of the deposition variables on the electrical properties of the $Ta_{2}O_{5}$ thin films deposited by ECR-PECVD
(ECR-PECVD방법으로 중착된 탄탈릅 산화박막의 전기적 성질에 미치는 증착변수의 영향)
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- Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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- 1993.11a
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- pp.116-116
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- 1993