$CO-H_2$ 혼합 기체의 MPECVD 에 의한 다이아몬드 합성에 관한 연구
(A Study on the Diamond Synthesis by MPECVD using $CO-H_2$ Mixture)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 1989년도 하계종합학술대회 논문집
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- pp.390-393
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- 1989