• 제목/요약/키워드: C.V.

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NH3 분위기 후열처리에 따른 SiC 기판 위에 성장된 HfO2 박막의 계면 변화 연구

  • 권세라;박현우;최민준;정권범
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.299-299
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    • 2016
  • SiC는 넓은 에너지갭 (Eg=~3.4 eV)을 갖는 반도체로써, 고전압, 고온에서 동작이 가능하여 기존의 Si기반의 파워디바이스를 대체하기 위한 물질로 많은 연구가 이루어지고 있다. 파워 디바이스의 성능 향상을 위해서는 기판과 절연체 사이의 계면에 생성되는 계면 결함을 감소시켜야 한다. 따라서 본 연구에서는 SiC 기판에 high-k 물질인 HfO2를 증착하여 HfO2/SiC 계면에 유도된 결함을 분석하고 이를 감소시킬 수 있는 방법에 대한 연구를 수행하였다. HfO2 박막은 atomic-layer-deposition (ALD) 방법을 이용하여 SiC 기판 위에 $200^{\circ}C$에서 증착하였다. HfO2 박막 증착 후 NH3 분위기에서 rapid thermal annealing 방법을 이용하여 $600^{\circ}C$에서 1분 동안 열처리 진행하였다. Current-voltage (I-V) 측정을 통해 열처리 전 HfO2/SiC의 절연파괴 전압이 약 8.3 V 임을 확인하였다. NH3 열처리 후 HfO2/SiC의 절연파괴 전압이 10 V로 증가하였으며 누설 전류가 크게 감소하는 것을 확인하였다. 또한 capacitance-voltage (C-V) 측정을 통해 열처리 후 flat band voltage가 negative 방향에서 positive 방향으로 이동함을 확인하였고, 이를 통해 NH3 열처리 방법이 HfO2/SiC 계면에 존재하는 결함을 감소시킬 수 있음을 확인하였다. 전자 구조상의 conduction band edge에 존재하는 결함 준위를 분석하기 위해 x-ray absorption spectroscopy (XAS) 분석을 실시하였고, 열처리 전 HfO2/SiC 계면에 많은 결함 준위가 존재함을 확인하였으며, x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) 분석을 통해 이 결함 준위가 oxygen deficiency state과 관련됨을 알 수 있었다. NH3 열처리 후 결과와 비교해보면, oxygen deficiency state가 감소함을 확인하였으며 이로 인해 conduction band edge에 존재하는 결함 준위가 감소함을 알 수 있었다. 따라서, NH3 열처리 방법을 이용하여 HfO2/SiC 계면에 존재하는 결함을 감소시킬 수 있으며, HfO2/SiC의 물리적, 전기적 특성을 향상시킬 수 있다는 결과를 도출하였다.

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Fe-3%C-x%Cr-y%V-w%Mo-z%W 다합금계백주철의 주방상태 및 급냉조직 (As-Cast and Solidification Structures of Fe-3%C-x%Cr-y%V-w%Mo-z%W Multi- Component White Cast Irons)

  • Yu, sung-Kon;Shin, Sang-Woo
    • 한국재료학회지
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    • 제12권5호
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    • pp.414-422
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    • 2002
  • Three different multi-component white cast irons alloyed with Cr, V, Mo and W were prepared in order to study their as-cast and solidification structures. Three combinations of the alloying elements were selected so as to obtain the different types of carbides and matrix structures : 3%C-10%Cr-5%Mo-5%W(alloy No.1), 3%C-10%V-5% Mo-5%W(alloy No. 2) and 3%C-17%Cr-3% V(alloy No.3). The as-cast microstructures were investigated with optical and scanning electron microscopes. There existed two different types of carbides, $M_7C_3$ carbide with rod-like morphology and $M_6C$ carbide with fishbone-like one, and matrix in the alloy No. 1. The alloy No. 2 consisted of MC carbide with chunky and flaky type and needle-like $M_2C$ carbide, and matrix. The chunky type referred to primary MC carbide and the flaky one to eutectic MC carbide. The morphology of the alloy No. 3 represented a typical hypo-eutectic high chromium white cast iron composed of rod-like $M_7C_3$ carbide which is very sensitive to heat flow direction and matrix. To clarify the solidification sequence, each iron(50g) was remelted at 1723K in an alumina crucible using a silicon carbide resistance furnace under argon atmosphere. The molten iron was cooled at the rate of 10K/min and quenched into water at several temperatures during thermal analysis. The solidification structures of the specimen were found to consist of austenite dendrite(${\gamma}$), $ ({\gamma}+ M_7C_3)$ eutectic and $({\gamma}+ M_6C)$ eutectic in the alloy No. 1, proeutectic MC, austenite dendrite(${\gamma}$), (${\gamma}$+MC) eutectic and $({\gamma}+ M_2C)$ eutectic in the alloy No. 2, and proeutectic $M_7C_3$ and $ ({\gamma}+ M_7C_3)$ eutectic in the alloy No 3. respectively.

접촉연소식 센서를 이용한 $CH_4$$C_4$$H_{10}$ 감도 측정 및 전압변화 (The $CH_4$and $C_4$$H_{10}$ Sensitivity Measurement and Voltage Variation Using Catalytic Combustion Type Gas Sensor)

  • 윤헌주;신종열;홍진웅
    • 한국화재소방학회논문지
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    • 제15권3호
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    • pp.44-48
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    • 2001
  • 본 연구에서는, 접촉연소식 가스 탐지 소자를 대상으로 감도특성 및 전기적 특성을 분석하였으며, 24시간 동안 공기중에 노출시킨 후 온도($20^{\circ}c$, $40^{\circ}c$)와 상대습도(65%, 85%)에서 작동시켜 분석하였다. 또한 동일한 주거환경에서 210일 동안 50 cm/sec 유속을 유지하며 가스탐지소자의 동작을 실험하였다. 가스 탐지센서에 공급 전원은 기본회로에 직류 전압별(2.1V, 2.2V, 2.3V)로 인가하였다. 따라서, 상대습도와 온도에 의한 이소부탄과 메탄 특성그래프를 각각 분석한 결과 전반적으로 선형적인 증가를 보임을 확인할 수 있다.

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Ti-6Al-4V재의 전기화학적부식 거동에 미치는 시효열처리의 영향 (The Effect of Age Heat-treatment to the Electro-Chemical Corrosion Behavior on Ti-6Al-4V)

  • 백신영
    • Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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    • 제24권6호
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    • pp.70-77
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    • 2000
  • In this paper, the effect of solution and age heat treatment to the corrosion behavior for the Ti-6Al-4V alloy were studied by cyclic polarization methods. Ti-6Al-4V was solution heat treated at $1,066^{\circ}C$ and $966^{\circ}C$ for 5 hours, and followed by age heat treated at $650^{\circ}C$, $600^{\circ}C$ and $550^{\circ}C$ with 1, 2, 4, 8 and 16 hours under vacuum environment. Test solution was 3.5% NaCl with temperature $25^{\circ}C$. The obtained results were as follows: 1. Base metal was exhibited higher electrical charge than that of solution and aged material. With decrease of solution-treatment temperature from 1066 to $966^{\circ}C$, the electrical charge was increased due to softening of micro structure. 2. The corrosion resistance of specimen that solution treated at $966^{\circ}C$ for 5 hours and age heat treated at 650, 660 and $550^{\circ}C$ were increased with increase of aging time to 4, 8 and 16 hours respectively, and then decreased. 3. In case of 316L stainless steel, measured charge and corrosion potential was 0.0627 coulomb and -614 mV respectively. Corrosion resistance of Ti-6Al-4V was higher than that of 316L.

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ESCO 에너지절약 M&V 방법의 선택 및 적용방안 연구 (A Survey on the M&V to guarantee the energy saving performance of ESCO)

  • 임기추
    • 에너지공학
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    • 제23권4호
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    • pp.123-129
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    • 2014
  • 국내에서도 에너지절약성과 보증계약 방식 위주의 역량강화를 위한 측정 검증(M&V)이 중요한 과제로 부각됨에 따라 선진국과 같은 M&V 방법의 선택과 적용이 필요하다. 국내 ESCO 산업의 역량강화를 촉진하기 위해 에너지절약성과에 대한 M&V를 위해서, 적합한 M&V 선택 및 적용방안의 제시가 요청되고 있다. 본고에서는 IPMVP, 미국 및 일본 사례를 참조하여 국내의 M&V 적용목표 및 적용방향을 설정하고, 적용절차 및 유의사항을 설명한 뒤 M&V 방안(A, B, C, D)의 선택 및 검증방안을 제시하였다. 향후 연구과제로 앞에 제시된 M&V 선택 및 적용방안을 기초로 한 M&V 계획서 및 결과서 작성을 위한 가이드라인 제시방안이 마련될 필요가 있다.

A.c. Impedance Measurement of CP-Ti in 0.1 M NaOH Solution

  • Moon, Sungmo;Kwon, Mikyung;Kim, Jusuk
    • Journal of Electrochemical Science and Technology
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    • 제3권4호
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    • pp.185-189
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    • 2012
  • A.c. impedances of mechanically polished CP-Ti specimens were measured at open-circuit potential (OCP) with immersion time and under applied anodic potentials between -0.2 and 1 $V_{Ag/AgCl}$ in 0.1 M NaOH solution. Capacitances of native oxide films ($C_{ox,na}$) grown naturally and capacitances of anodic oxide films ($C_{ox,an}$) formed under applied anodic potentials were obtained to examine the growth of native and anodic oxide films in 0.1 M NaOH solution and how to use $C_{ox,na}$ for the surface area measurement of Ti specimen. $1/C_{ox,na}$ and $1/C_{ox,an}$ appeared to be linearly proportional to OCP and applied potential ($E_{app}$), with proportional constants of 0.086 and 0.051 $uF^{-1}\;V^{-1}$, respectively. The $C_{ox,na}$ also appeared to be linearly proportional to geometric surface area of the mechanically polished CP-Ti fixture specimen, with proportional constants of 11.3 and $8.5{\mu}F\;cm^{-2}$ at -0.45 $V_{Ag/AgCl}$ and -0.25 $V_{Ag/AgCl}$ of OCPs, respectively, in 0.1 M NaOH solution. This linear relationship between $C_{ox,na}$ and surface area is suggested to be applicable for the measurement of real surface area of Ti specimen.

아미드 작용기를 가진 부식억제제를 사용한 금속의 전기화학적 특성 (Electrochemistry Characterization of Metal Using Corrosion Inhibitors Containing Amide Functional Group)

  • 박근호
    • 한국응용과학기술학회지
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    • 제28권1호
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    • pp.48-56
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    • 2011
  • In this study, we investigated the C-V diagrams and metal surface related to the electrochemistry characterization of metal(nickel, SUS-304). We determined electrochemical measurement by using cyclic voltammetry with a three-electrode system. A measuring range was reduced from initial potential to -1350mV, continuously oxidized to 1650 mV and measured to the initial point. The scan rate were 50, 100, 150, 200 and 250 mV/s. As a result, the C-V characterization of metal using N,N-dimethylacetamide and N,N-dimethylformamide inhibitors appeared irreversible process caused by the oxidation current from the cyclic voltammogram. After adding organic corrosion inhibitors, adsorption film constituted, and the passive phenomena happened. According to the results by cyclic voltammetry method, it was revealed that the addition of inhibitors containing amide functional group enhances the corrosion resistance properties.

한우에 있어서 PEG에 용해시킨 Folltropin-V의 1회 피하주사에 의한 다배란 유기 (Superovulation in Korea Cattle with a Single Subcutaneous Injection of Folltropin-V Dissolved in Polyethyleneglycol)

  • 임석기;우제석;전기준;장선식;강수원;윤상기;손동수
    • 한국수정란이식학회지
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    • 제13권3호
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    • pp.207-212
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    • 1998
  • 본 연구는 한우에 있어서 다배란처리에 의한 체내 정상수정란의 생산효율을 극대화하기 위하여 PEG에 용해한 FSH의 1회 피하주사 방법이 현재 사용하고 있는 1일 2회 4일간 근육 주사방법을 대체할 수 있는지를 결정하기 위하여 실시하였다. 연구결과 다회 근육주사 방법과 비교하여 1회 피하주사 방법이 황체수, 총 회수란수 및 이식가능 수정란수에 있어서 현저히 증가 (P〈0.05)하였다. 따라서 한우에 있어서 PEG에 용해시킨 Folltropin-V의 1회 피하주사 방법이 효과적이라고 사료된다.

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에탄올아민화합물 첨가에 대한 니켈의 전기화학적 특성 (Electrochemistry Characterization of Nickel Using Ethanolamine Compound Additives)

  • 박근호
    • 한국응용과학기술학회지
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    • 제27권4호
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    • pp.531-538
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    • 2010
  • The electrochemistry characterization of metal is important in many industrial applications. In this study, we investigated the C-V diagrams related to the electrochemistry characterization of nickel. We determined electrochemical measurement by using cyclic voltammetry with a three electrode system. A measuring range was reduced from initial potential to -1350mV, continuously oxidized to 1650mV and measured to the initial point. The scan rate were 100, 150, 200 and 200mV/s. As a result, the C-V characterization of nickel using ethanolamine and ethylethanolamine inhibitor appeared irreversible process caused by the oxidation current from the cyclic voltammogram. After adding ethanolamine compound additive, adsorption film constituted, and the passive phenomena happened. According to the results by cyclic voltammetry method, it was revealed that the effect of the electrochemistry characterization of nickel depends on ethanolamine structure interaction to adsorption complex.

VVC 다이오드를 사용한 수정주파수변조기 (Frequency Modulated Quartz Oscillator Using V.V.C. Diode)

  • 정만영;김영웅;김병식
    • 대한전자공학회논문지
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    • 제8권5호
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    • pp.27-39
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    • 1971
  • 이동편 간이형 FM송신기를 제작할때 종전방식에 의한 리액턴스변조방식보다 VVC다이오드를 사용한 수정주파수변조방식이 채배단을 필요치않기 때문에 변조기로서 더 적합하다. 이때 수정발진자와 변조회로소자 및 VVC다이오드와의 관계에서 가장 변조직선성이 좋으면서 중심주파수의 안전도를 허용범위내에 들게하려면 어떻게 하면 되는가를 이론적해석과 실험적결과로서 입증하였다.

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