• The Korean Journal of Ceramics
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• 제3권4호
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• pp.257-262
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• 1997

Aluminum nitride(AIN) thin films were deposited on SiO$_2$/Si substrates by reactive sputtering for the application of SAW devices. The major deposition parameters such as pressure, nitrogen fraction, rf power, substrate distance were changed to find out the optimal condition for c-axis oriented thin films on an amorphous substrate. The effects of deposition parameters on the crystal structure, residual stress, and growth morphology of thin films were characterized by XRD, SEM, and TEM. The FWHM of (002) rocking curve of the films deposited at the proper condition was lower than 2.2$^{\circ}$(C=0.93$^{\circ}$). Cross-sectional TEM showed that self-aligned structure was developed just after slightly random growth at the initial stage. The frequency characteristics of test device fabricated from AIN thin films confirmed their piezoelectric property and applicability for SAW devices.

• KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
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• 제3C권6호
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• pp.241-245
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• 2003

ZnO thin films on (l00) p-type Si and sapphire substrates have been deposited by a pulsed laser deposition technique using an Nd:YAG laser with a wavelength of 266 nm. The influence of the deposition parameters such as oxygen pressure, substrate temperature and laser energy density on the properties of the grown films was studied. The experiments were performed for substrate temperatures in the range of 200∼50$0^{\circ}C$ and oxygen pressure in the range of 100∼700 sccm. All of the films grown in this experiment show strong c-axis orientation with (002) textured ZnO peak. With increasing substrate temperature, the FWHM (full width at half maximum) and surface roughness were decreased. In the case of using sapphire substrate, the intensity of PL spectra increased with increasing ambient oxygen flow rate. We investigated the structural and morphological properties of ZnO thin films using X-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM) and atomic force microscopy (AFM).

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제16권8호
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• pp.716-722
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• 2003

ZnO thin films were deposited on Al and Pt electrodes by an RF reactive sputtering system for the fabrication of FBAR (film bulk acoustic wave resonator), and the effect of thermal treatment temperature on their c-axis preferred orientation was investigated. SEM experiments show that columnar structure of ZnO thin films were grown with c-axis normal to electrode material, and XRD experiments show that both ZnO films were grown with (002) plane preferred orientation, but larger diffraction peak was observed with Pt electrode. The peak intensity increased with higher thermal treatment temperature, but c-axis preferred orientation was diminished. The surface roughness of Al thin film was higher than that of Pt, and these affect the surface roughness of ZnO film deposited on the electrode. Though the preferred orientation with respect to Pt(111) plane was improved with higher thermal treatment temperature, this could not improve the c-axis orientation of ZnO film.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.13-16
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• 2009

In this study, AlN thin films were deposited on a polycrystalline (poly) 3C-SiC buffer layer for surface acoustic wave (SAW) applications using a pulsed reactive magnetron sputtering system. AFM, XRD and FT-IR were used to analyze structural properties and preferred orientation of the AlN/3C-SiC thin film. Suitability of the film in SAW applications was investigated by comparing the SAW characteristics of an interdigital transducer (IDT)/AlN/3C-SiC structure with the IDT/AIN/Si structure at 160 MHz in the temperature range $30-150^{\circ}C$. These experimental results showed that AlN films on the poly 3C-SiC layer were highly (002) oriented. Furthermore, the film showed improved temperature stability for the SAW device, $TCF\;=\;-18\;ppm//^{\circ}C$. The change in resonance frequency according to temperature was nearly linear. The insertion loss decrease was about $0.033dB/^{\circ}C$. However, some defects existed in the film, which caused a slight reduction in SAW velocity.

• 대한방사선치료학회지
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• 제22권1호
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• pp.25-32
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• 2010

목 적: 종양의 움직임을 고려하여 치료할 수 있는 RPM (Real time Position Management, Varian, USA) system을 사용하여 호흡을 고려한 방사선치료 시행 시, 제조사에서 제공하는 적외선 반사체는 일정각도 이상 couch가 회전할 경우 호흡신호 획득이 불가능하다. 이런 단점을 개선하고자 본 저자는 어느 각도에서나 호흡신호를 얻을 수 있는 3차원 적외선 반사체(3D infrared reflective marker)를 자체 개발하여 Kw-반사체라 명하고 그 유용성을 평가 하고자 한다. 대상 및 방법: 호흡신호의 안정성을 측정하기 위해 호흡운동을 재현 할 수 있는 3차원 구동팬텀(3D moving phantom) 위에 3가지 조건(A: couch 0도, 제조사의 반사체 B: couch 0도, Kw-반사체 C: couch 90도, Kw-반사체)의 적외선 반사체를 올려놓고 각각 3분 동안 호흡신호를 획득 하였다. 획득한 호흡신호는 호흡분석 프로그램(Labview ver 7.0)을 통해 최고값(peak value), 최저값(valley value), 표준편차(standard deviation), 변동값(variation value), 진폭값(amplitude value)을 획득하였다. 타겟의 회전 오차와 타겟의 이동범위를 알아보기 위해 3차원 구동팬텀 위에 B.B팬텀을 올려놓고 온-보드 영상장치(OBI)로 couch 0도와 90도 이미지를 획득한 후 B.B팬텀 중심에 위치한 ball bearing의 X, Y, Z값(mm)을 획득하였다. 결 과: 호흡신호를 분석한 결과 최고점에서 표준편차가 A: 0.002 B: 0.002 C: 0.003이고 진폭에 대한 호흡의 안정성은 A: 0.15% B: 0.14% C: 0.13%로 Kw반사체는 안정적으로 호흡신호를 얻을 수 있었다. couch 90도 회전 시 타겟인 ball bearing의 평균 회전오차는 X: -1.25 mm Y: -0.45 mm Z: +0.1 mm로 모든 방향에서 평균 1.3 mm 이내이고 타겟의 이동범위 차이도 평균 0.3 mm 이내였다. 결 론: couch가 회전하는 비동일면(Non-coplanar) 치료 시 Kw-반사체로 호흡신호를 얻은 결과 Kw-반사체는 안정적인 호흡신호를 획득할 수 있었고 제조사의 적외선반사체를 대체하기에 충분했다. 타겟의 회전오차와 이동범위 차이가 거의 없어 couch 회전 시 반사체 움직임의 변위가 호흡신호의 scale 및 진폭을 변화시킨 원인임을 알 수 있었다. 향후 couch angle값에 따른 진폭 높이의 변환 값을 연구해 적용한다면 비동일면에 대한 위상기반 gating 치료도 가능 할 것으로 사료된다.

• 한국진공학회지
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• 제18권1호
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• pp.9-14
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• 2009

본 연구는 정방정계-$HfO_2$/Si 초격자의 계면 층 구조를 범밀도함수론 (density functional theory)을 이용하여 계산하였다. 입방정계-$HfO_2$는 Si 기판과 에피택시 접합을 위하여 a와 b축의 길이가 증가되면 c축의 길이가 2% 감소하여 정방정계 구조가 되었다. 정방정계-$HfO_2$와 Si 기판의 말단층에 따라서 8 개의 계면 층 모델이 생성되었다. 정방정계-$HfO_2$ (004)$_{1/4}$/Si $(004)_{3/4}$ 초격자구조가 에너지 관점에서 가장 안정하였고, 정방정계-$HfO_2$ $(004)_{1/4}$/Si (002) 초격자구조는 가장 불안정하였다. 에너지 관점에서 가장 불안정한 구조의 경우, 정방정계-$HfO_2$의 계면에 존재하는 2 개의 산소 원자가 Si 기판으로 이동하여 정방정계-$HfO_2$ 초격자구조에 2 개의 산소 공공이 생성되었다.

• 한국균학회지
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• 제50권1호
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• pp.65-73
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• 2022

본 연구는 남해안 해운대와 인근 몽돌해수욕장 주변의 야생 효모 종 분포특성을 알아보기위해 이들 지역 주변의 물과 모래, 토양 등 70점의 시료들로부터 일반 효모와 호알칼리성 균주 등 모두 37종, 41균주의 야생 효모들을 분리하였다. 이들 야생 효모들 중 Cys. insectorum HUD16-3 (JSLKSS-002)와 M. citriensis HUD12-5 (JSL-KSS-001)등 두 균주들이 국내 보고되지 않은 미기록 효모들로 선별되었고 필자 등이 전라북도 장선천 주변 토양에서 분리하여 국내 미기록 균주로 선별한 Cys. lysinophilum JSC 52-2 (JSL-GGU-019)와 대전광역시 장태산 호수 주변에서 분리하여 선별한 C. takata NMD11-1 (JSL-GGU-017), C. panamensis ASG58M-2 (JSL-GGU-018)등 5종의 미기록 야생 효모들의 균학적 특성을 조사하였다. 이들 미기록 효모들은 모두 난형으로 출아에 의해 영양 증식을 하였고 포자와의 균사를 형성하지 않았다. 미기록 효모 모두 vitamin-free배지에서도 생육하였고 M. citriensis HUD12-5균주는 50% 포도당을 함유한 YPD배지에서 생육하는 강한 내당성을 보였고 Cys. insectorum HUD16-3과 M. citriensis HUD12-5균주들은 15% NaCl을 함유한 YPD배지에서도 생육이 비교적 양호한 호염성균이었다 또한, 미기록 효모들 모두 포도당과 fructose, sucrose, 전분 등을 자화시켰고 특히Cys. lysinophilum JSC 52-2등 3균주들은 lactose를 자화시켰다.

• 한국세라믹학회지
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• 제30권10호
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• pp.852-858
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• 1993

The effect of coal tar ptch-impregnated carbon materials which were made from petroleum coke was investigated at various pressure time and impregnation-sintering cycle. As a result, density and bending strength of the carbon materials were remarkably increased in the condition of pressure times of 5hrs and of the cycle of 3rd times. And the value of d002 and Lc of the graphitic carbon sintered at 230$0^{\circ}C$ shwoed 3.387$\AA$ and 167$\AA$, respectively.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제26권2호
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• pp.109-113
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• 2013

ZnO thin films were synthesized on Si substrates by MOCVD using diethyl zinc as a precursor. Effects of $O_2$/DEZ gas mixing ratio on the growth rate, surface morphology, preferred orientation, and electrical properties of the ZnO thin films were investigated with SEM, XRD, and Hall measurement. The surface reflectance variations of ZnO thin films were analyzed using laser-photometer apparatus. As the $O_2$/DEZ mixing ratio increased, growth rate and $I_{(002)}/I_{(101)}$ in XRD of ZnO thin films decreased, and the crystal structure was changed from columnar to planar structure. All ZnO films deposited at various CVD conditions exhibited c-axis (002) plane preferred orientation. The electrical properties of ZnO thin films mainly depended on the carrier mobility.

• 한국재료학회지
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• 제4권5호
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• pp.581-589
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• 1994

인가자장하에서 성장한 $Co_{83}Cr_{17}$ 박막의 자가적 특성 및 미세구조를 조사하였고, 인가자장을 가하지 않은 경우에 성장한 박막과 그 특성 및 미세구조를 비교 하였다. 인가자장은 박막의 포화자화와 수평방향 보자력에는 아무런 영향을 주지 못하였지만, 수직보자력과 유효수직이방성자계를 감소시켰다. 또한 천이층의 결정립경과 두께는 인가자장에 의해 영향을 받지 않았지만, C축배향성은 약간 악화되었다. 또한 TEM사진은 인가자장의 유무에 관계없이 박막의 두께가 두꺼워질수록 (002)방위의 결정립 등이 우선적으로 성장함을 보여주었다.