• 한국세라믹학회지
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• 제28권9호
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• pp.661-666
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• 1991

Microstructure, room temperature resistivity and temperature coefficient of resistance of BaTiO3 ceramics were studied by varying cooling rates and additives such as TiO2, SiO2 and Al2O3. The basic composition of the BaTiO3 ceramics was formed by adding 0.25 mol% Dy2O3 and 0.07 mol% MnO2 to the BaTiO3 composition. Unlike the additives of SiO2 and Al2O3, an addition of 2 mol% TiO2 to the basic composition was effective to control the grain size of the fired specimens. The room temperature resistivity and the temperature coefficient of resistance for the specimen of this particular compostion were measured as about 102 ohm.cm and 16.5%/$^{\circ}C$, respectively. The observed grain boundary phase of the sample with Al2O3 additive was BaTi3O7, while that of the samples with SiO2 additive was confirmed as BaTiSiO5.

• 한국결정성장학회지
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• 제8권4호
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• pp.563-566
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• 1998

BaTiO3 분말은 티타늄 수산화물 용액과 비륨수산화물 용액을 혼합하여 적당한 온도와 압력하에서 합성되었다. 미분말이 얻어진 온도는 160~$185^{\circ}C$, 압력은 5~10kg/$\textrm{cm}^2$이였다. 분말의 모양과 크기는 주사전자현미경, 결정 상은 X-선 회절로 분석하였다. 분말합성온도, 반응시간 및 농도변화에 따르는 분말의 물성을 조사하였다. $BaTiO_3$ 분말의 평균입자크기는 반응온도 및 시간이 증가함에 따라 증가하였다. $170^{\circ}C$에서 8시간 반응시킨 경우의 평균입자크기는 약 30nm이고, 입도 분포는 균일하였다.

• 한국재료학회지
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• 제18권7호
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• pp.373-378
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• 2008

$Ba(Ti,Sn)O_3$ thin films, for use as dielectrics for MLCCs, were grown from Sn doped BaTiO3 sources by e-beam evaporation. The crystalline phase, microstructure, dielectric and electrical properties of films were investigated as a function of the (Ti＋Sn)/Ba ratio. When $BaTiO_3$ sources doped with $20{\sim}50\;mol%$ of Sn were evaporated, $BaSnO_3$films were grown due to the higher vapor pressure of Ba and Sn than of Ti. However, it was possible to grow the $Ba(Ti,Sn)O_3$ thin films with {\leq}\;15\;mol%$ of Sn by co-evaporation of BTS and Ti metal sources. The (Ti＋Sn)/Ba and Sn/Ti ratio affected the microstructure and surface roughness of films and the dielectric constant increased with increasing Sn content. The dielectric constant and dissipation factor of $Ba(Ti,Sn)O_3$ thin films with {\leq}\;15\;mol%$ of Sn showed the range of 120 to 160 and $2.5{\sim}5.5%$ at 1 KHz, respectively. The leakage current density of films was order of the $10^{-9}{\sim}10^{-8}A/cm^2$ at 300 KV/cm. The research results showed that it was feasible to grow the $Ba(Ti,Sn)O_3$ thin films as dielectrics for MLCCs by an e-beam evaporation technique.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제21권9호
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• pp.825-828
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• 2008

$Sr_xBa_{(1-x)}TiO_3$ red phosphors doped with Pr(0.13 mol%) and Al(O.23 mol%) were synthesized by solid state reaction method. Orthorhombic perovskite structure with increasing value of x in $Sr_xBa_{(1-x)}TiO_3$:Pr,Al phosphors changed to cubic perovskite structure. Emission bands at 615 nm and 492 nm in $Sr_{0.25}Ba_{0.75}TiO_3$:Pr,Al and $BaTiO_3$:Pr,Al phosphors were observed at room temperature. The main cause of green luminescence at 492 nm was explained by the change of the 4f5d band.

• 한국재료학회지
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• 제7권2호
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• pp.114-120
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• 1997

$Ba(NO_{3})_{2}$와 $TiCl_{4}$의 혼합 수용액으로부터 전기화학법 중 음극혼원법(cathodic reduction method)을 이용하여 stainless steel기판 위에 $BaTiO_{3}$박막을 제조하였다. $BaTiO_{3}$전구체 박막은 혼합 수용액으로부터 반응초기에 $TiO_{2}{\cdot}nH_{2}O$M/형태로 우선적으로 형성되었으며, 일정 시간이 경과한 후에는 일정한 Ba/Ti몰비를 갖는 박막이 제조되었다. $BaTiO_{3}$박막 내 Ba/Ti조성비는 혼합 수용액 내에 존재하는 이온 조성비 $Ba^{2+}/Ti_{4+}$에 변화하였는데, 0.3M $Ba(NO_{3})_{2}$와 0.1M $TiCI_{4}$의 혼합 수용액과 $10mA/cm^2$의 전류를 흘려주는 조건에서 Ba/Ti의 조성비가 1에 가까운 박막을 얻을 수 있었다. 이러한 전구체 박막을 $500^{\circ}C$이상에서 열처리한 결고 페로브스카이트 상의 $BaTiO_{3}$박막이 제조되었다.

• 한국세라믹학회지
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• 제26권4호
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• pp.493-498
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• 1989

High purity, submicron BaTiO3 powder was prepared by a hydrothermal technique using Ba(OH)2.8H2O, TiCl4 and NH4OH as starting raw materials. The submicron BaTiO3 powder was synthesized at 130~23$0^{\circ}C$ for 2.5h to yield highly crystalline particles with a narrow particle distribution. The mole ratio of Ba(OH)2.8H2O/TiO(OH)2 was 1.5. It is possible to obtain BaTiO3 with Ba : Ti=1.00$\pm$0/01. The samples densified well at 13$25^{\circ}C$, showing a uniform and fine grain structure. The grain size ranged between 0.3 and 0.5${\mu}{\textrm}{m}$. The products obtained by hydrothermal treatment at various temperatures from 130 to 23$0^{\circ}C$ were characterized by XRD, DTA, BET and SEM etc.

• 한국세라믹학회지
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• 제24권1호
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• pp.41-46
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• 1987

When barium titanate was synthesized in soild-solid reaction the abnormal expansion occurred from 900$^{\circ}C$ to 1100$^{\circ}C$. The equi-molecular mixture of BaCO3 and TiO2 was sintered from 800$^{\circ}C$ to 1300$^{\circ}C$ on the condition of air, vacuum and CO2 atmosphere. After that the specimens were tested closely with XRD, Dilatometer, SEM and EDS. The result indicated that; 1. The crystal phase which was concerned with expansion of BaTiO3 was Ba2TiO4 as the intermediate crystal phase. 2. The formation of Ba2TiO4 was affected by the firing atmosphere. 3. The expansion occurred when BaTiO3 changed to Ba2TiO4 and pore also expanded by the expansion of BaTiO3 body just as the model of expansion.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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• pp.114-114
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• 2010

최근 고용량의 디커플링 캐패시터를 기판에 내장하여 고주파 발생의 원인인 배선길이와 실장 면적을 획기적으로 줄이는 임베디드 디커플링 캐패시터에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 하지만 기존의 공정들은 높은 공정온도와 같은 공정상의 한계를 가지고 있어 상온 저 진공 분위기에서 세라믹 분말을 기판에 고속 분사시켜 기공과 균열이 거의 없는 치밀한 나노구조의 세라믹 제작이 가능한 후막코팅기술인 Aerosol Deposition Method (ADM)에 착목하였으며, 이 ADM을 박막공정으로 응용하여 $BaTiO_3$ 박막을 제작하고 고용량의 디커플링 캐패시터 제작을 실현하고자 한다. 하지만, Cu 기판 상에 성막 된 $0.5\;{\mu}m$이하의 $BaTiO_3$ 박막에서는 $BaTiO_3$ 분말 내에 존재하는 평균입자 보다 큰 입자와 응집분말로 인해 발생하는 pore, crater, not-fully-crushed particles와 같은 거시적인 결함들에서의 전류 통전과 울퉁불퉁한 $BaTiO_3$ 박막과 기판 사이의 계면에서의 전계의 집중에 의한 전류의 증가로 인하여 큰 누설전류 발생하는 문제에 봉착하였다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 제시된 효과적인 방법으로 Stainless steel 기판과 같이 표면경도가 높은 기판을 사용하는 것이며, 이를 통해 $0.2\;{\mu}m$의 두께까지 유전 $BaTiO_3$ 박막을 성막 할 수 있었으며, 치밀한 표면 미세구조와 줄어든 $BaTiO_3$ 박막과 기판 사이의 계면의 거칠기를 확인하였다. 하지만, $BaTiO_3$ 박막 내에 발생하는 누설전류의 근본원인을 확인하기 위해서는 누설전류에 대한 미시적인 접근이 더욱 요구된다. 이에 본 연구에서는 누설전류 발생원인의 미시적 접근을 위해 두께에 따른 $BaTiO_3$ 박막의 누설전류 전도기구에 대한 조사하였으며, 이를 통해 $BaTiO_3$ 박막내 발생하는 누설전류의 원인은 $BaTiO_3$막 내에서 donor로서 역할을 하는 oxygen vacancy와 불균일한 전계의 집중으로 인한 전자의 tunneling 현상임을 확인할 수 있었다. 또한, Nano-indenter와 Conductive atomic force microscopic를 이용한 정밀 측정을 통해 표면경도의 중요성을 재확인하였으며 $BaTiO_3$ 박막의 두께가 $0.2\;{\mu}m$이하로 더욱 얇아지게 되면 입자간 결합 문제 또한 ADM을 박막화 하는데 있어 중요한 요소임을 확인하였다.

• 한국세라믹학회지
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• 제22권4호
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• pp.61-65
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• 1985

$BaTiO_3$ powders doped with $BaTiO_3$ and $Nb_2O_5$ at 9$0^{\circ}C$ for 1hr. were synthesized by Direct Wet Process. These powders were very homogeneous and fine particle size. To obtain the highe PTCR effect AST($1/3Al_2O_3$.$3/4SiO_2$.$1/4TiO_2$) and $MnO_2$ were added in the semiconduc-ting $BaTiO_3$. In this case $Bi_2O_3$ and $MnO_2$ were used in the form of $Bi(NO)_3$ and $MnCl_2$.$4H_2O$ solution for Direct Wet Process. $BaTiO_3$ doped Nb2O5 and $MnO_2$ demostrated greater PTCR effect than $BaTiO_3$ doped $Nn_2O_5$ only.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2002년도 하계학술대회 논문집 Vol.3 No.2
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• pp.609-612
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• 2002

In this study, the electrical properties were investigated for the deposited Ba,Sr)(Nb,Ti)$O_3$[BSNT] thin films grown on $Pt/TiO_2/SiO_2/Si$ substrate by RF sputtering method. The structural properties of the BSNT thin films affected by the $Ar/O_2$ rates were investigated. In the case of the BSNT thin films deposited with condition of 60/40$(Ar/O_2)$ ratio, the $BaTiO_3$, $SrTiO_3$ and $BaNbO_3$ phases were showed. The composition ratio of Nb and Ti in the BSNT thin films were nearly equivalent. Also, in the BSNT thin films deposited with condition of 60/40 and 80/20$(Ar/O_2)$ ratios, the composition of Ba, Sr, Nb and Ti were relatively uniform. The Ba, Sr, Nb and Ti in the BSTN thin films were not diffused into the Pt layer.