• Current Optics and Photonics
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• 제7권4호
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• pp.325-336
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• 2023

We review recent research related to shearing interferometry, reported over the last two decades. Shearing interferometry is categorized as azimuthal, radial, or lateral shearing interferometers by its fundamental principle to generate interference. In this review the research trends for each technique are provided, with a summary of experimental results containing theoretical background, the optical configuration, analysis, and perspective on its application fields.

• 한국광학회지
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• 제13권2호
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• pp.98-104
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• 2002

비구면 광학부품의 수차 측정 및 성능 평가를 위해 특별 설계된 층밀리기 간섭계를 소개하고, 이와 더불어 층밀리기 간섭계가 갖는 자체의 계통오차를 측정결과로부터 제거하기 위한 보정 방법을 제안한다. 층밀리기 간섭계의 계통오차는 크게 간섭광학계가 갖는 광학오차와 간섭계의 기구부의 불완전에 기인한 층밀리기 방향의 직교오차로 구분할 수 있다. 이들 두 계통 오차들은 모두 본 논문에서 제안하는 방법으로 모두 보정될 수 있다. 보정 방법은 측정 대상물을 간섭계의 광축을 중심으로 회전하여 측정결과로부터 계통오차를 분리하는 자가보정 원리에 근거한다.