• 한국진공학회지
• /
• 제19권3호
• /
• pp.161-168
• /
• 2010

진공펌프의 배기성능 지표들을 정량적으로 측정하기 위해서 사용하는 표준용기에 관한 ISO 규격은 기체도입 도관의 굵기를 용기 내경의 10분의 1로 규정하고 있다. 표준용기 내경은 검사 대상 펌프의 흡기구 직경보다 작아서는 안 되므로 만일 대용량 펌프에 맞춘다면 때에 따라 도관의 굵기가 100 mm라는 수치도 나올 수 있다. 전체 시스템의 크기가 커지는 만큼 이런 굵기의 도관도 수용이 가능하기는 하지만 과연 이렇게 굵은 도관이 정밀한 측정을 위해 꼭 필요한지 또는 오히려 방해가 되는 것은 아닌지 검토해 볼 필요성이 있다. 본 논문에서는 도관 굵기에 따라, 도관출구를 빠져나오는 입자들과 오리피스 및 펌프 흡기구에 입사하는 입자들의 등방성에 대해 살펴봄으로써 적절한 도관 굵기가 존재하는지에 대해 논의한다.