• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2009년도 9th International Meeting on Information Display
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• pp.1500-1503
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• 2009

In this paper, we studied about atmospheric pressure remote plasma ashing of photoresist(PR), by using a modified dielectric barrier discharge(DBD). The effect of various gas combinations such as $N_2/O_2$, $N_2/O_2+SF_6$ on the changes PR ashing rate was investigated as a function of power. The maximum PR ashing rate of 1850 nm/min was achieved at $N_2$ (70 slm)/ $O_2$ (200 sccm) + $SF_6$ (3 slm). We found that as the oxygen and fluorine radical peaks were increased, the ashing rate is increased, too.

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제7권2호
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• pp.35-38
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• 2008

This study shows the improvement of PR-Ashing rates in semi-conductor process using Atmospheric Plasma. Taguchi method is used to improve Ashing rates of photo-resist that is spread on the surface of a wafer. Improvement of Ashing rates is acquired through the decision of the effective factors and suitable combination of the factors. The results show the contribution rate of each factor and the effectiveness of Plasma for PR-Ashing process in this system.

• Biomolecules & Therapeutics
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• 제31권5호
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• pp.496-514
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• 2023

Cold atmospheric plasma (CAP), a redox modulation tool, is capable of inhibiting a wide spectrum of cancers and has thus been proposed as an emerging onco-therapy. However, with incremental successes consecutively reported on the anticancer efficacy of CAP, no consensus has been made on the types of tumours sensitive to CAP due to the different intrinsic characteristics of the cells and the heterogeneous design of CAP devices and their parameter configurations. These factors have substantially hindered the clinical use of CAP as an oncotherapy. It is thus imperative to clarify the tumour types responsive to CAP, the experimental models available for CAP-associated investigations, CAP administration strategies and the mechanisms by which CAP exerts its anticancer effects with the aim of identifying important yet less studied areas to accelerate the process of translating CAP into clinical use and fostering the field of plasma oncology.

• 한국진공학회지
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• 제21권6호
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• pp.301-311
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• 2012

결정질 태양전지 등의 도핑 공정에 적용하기 위한 플라즈마 제트 장치의 기초 방전 특성을 조사한다. 대기압에서의 아르곤 플라즈마 제트와 대기 압력변화에 대한 대기 플라즈마 제트, 그리고 아르곤 분위기 압력 변화에 대한 플라즈마 제트의 전류-전압은 전형적인 정상 글로우 방전의 특성을 갖는다. 대기압 플라즈마 제트의 방전 전압은 약 2.5 kV의 높은 전압이 요구되며, 대기 및 아르곤 플라즈마 제트는 200 Torr 이하의 낮은 압력에 대한 방전 전압은 약 1 kV가 된다. 도핑용 실리콘 웨이퍼에 조사되는 단일 채널 플라즈마 제트의 전류는 인가전압의 조정에 의하여 수 10~50 mA의 고 전류를 용이하게 얻는다. 플라즈마 제트를 웨이퍼에 조사하는 경우에 웨이퍼의 온도 상승은 정상상태에서 약 $200^{\circ}C$가 된다. 실리콘 웨이퍼에 도핑 용재인 액상의 인산을 도포하여 플라즈마를 조사한 결과 얻어진 인 원자의 도핑 분포는 플라즈마 제트 도핑의 가능성을 보여준다.

• 한국식품위생안전성학회지
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• 제32권3호
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• pp.222-227
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• 2017

연구는 대기압 유전체장벽방전 플라즈마 처리에 따른 식품유해 미생물 사멸효과를 조사하기 위해 수행되었다. 플라즈마 처리 시, 활성종 생성 및 농도에 영향을 미치는 노출시간, 노출거리, 산소비율, 전력 변화에 따른 E. coli의 사멸효과를 조사한 결과, E. coli의 사멸율은 플라즈마 처리를 위한 노출시간, 산소비율, 전력의 증가에 따라 증가한 반면, 노출거리의 증가에 따라서는 사멸율이 감소하였다. 이 결과는 미생물 시료가 플라즈마에 노출되는 시간이 증가됨으로서 시료 내 NO 농도가 증가되고, E. coli의 사멸율 역시 증가되는 결과로 뒷받침할 수 있고, 미생물 사멸효과를 높이기 위해서는 활성종의 농도가 증가되어야 함을 의미한다. E. coli와 함께 B. cereus, B. subtilis, B. thuringiensis, B. atrophaeus를 대상으로 대기압 유전체 장벽방전 플라즈마에 의한 살균효과를 조사한 결과, 72.3~91.3%의 높은 사멸율을 나타내었다. 이러한 결과로 미루어, 대기압 유전체장벽방전 플라즈마기술은 다양한 미생물에 적용될 수 있는 유용한 살균기술임을 확인하였다.

• 한국정밀공학회지
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• 제19권8호
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• pp.34-37
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• 2002

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.597-598
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• 2008

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.517-518
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• 2011

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2010년도 추계학술대회 논문집
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• pp.249-250
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• 2010

• 농업과학연구
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• 제45권3호
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• pp.475-484
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• 2018

Nitrite is an essential additive for the manufacture of cured meat products. This study was conducted to investigate the curing effect of the plasma treated juice of red Perilla in meat batter. The nitrite content in the juice of red Perilla was increased by the indirect treatment of atmospheric pressure plasma, and the lyophilized powder of red Perilla juice contained 9,133 ppm of nitrite. A meat batter without a nitrite source was prepared as a negative control (NC), and the meat batters cured with sodium nitrite (PC), celery powder (CP), and the lyophilized powder of red Perilla juice treated with atmospheric pressure plasma (PTP) at 70 ppm level of nitrite were prepared. The PTP showed the highest pH and the lowest cooking loss among the treatments. There were no significant differences in the nitrosyl-hemochrome content in the cooked meat batters of the PC, CP and PTC. However, the PTP had a lower CIE $a^*$-value compared to the PC and CP. The malondialdehyde content in the cooked meat batters was significantly lower in the CP and PTP than in the NC while there was no significant difference between the NC and PC. Based on the results of this study, the plasma treated juice of red Perilla can be used as a new natural nitrite source for cured meat products.