A Study on the Al2O3 Thin Film According to ALD Argon Purge Flow Rate and Application to the Encapsulation of OLED (ALD 아르곤 퍼지유량에 따른 Al2O3박막 분석 및 유기발광 다이오드 봉지막 적용에 관한 연구)
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- Journal of the Semiconductor & Display Technology
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- v.22 no.1
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- pp.23-27
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- 2023