• 제목/요약/키워드: Antimony oxide

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이온빔 스퍼터링법에 의한 ATO박막의 저온 증착 특성 (Low Temperature Deposition and Characteristics of ATO Thin Films by Ion Beam Sputtering)

  • 구창영;이희영;홍민기;김경중;김광호
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2000년도 영호남학술대회 논문집
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    • pp.307-310
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    • 2000
  • Antimony doped tin oxide (ATO) thin films were deposited at room temperature by ion-beam sputter deposition (IBSD) technique in oxidizing atmosphere utilizing Sb and Sn metal targets. Effect of Sb doping concentration, film thickness and heat treatment on electrical and optical properties was investigated. The thickness of as-deposited films was controlled approximately to $1500{\AA}$ or $2000{\AA}$, and Sb concentration to 10.8 and 14.9 wt%, as determined by SEM and XPS analyses. Heat treatment was performed at the temperature from $400^{\circ}C$ to $600^{\circ}C$ in flowing $O_2$ or forming gas. The resulting ATO films showed widely changing electrical resistivity and optical transmittance values in the visible spectrum depending on the composition, thickness and firing condition.

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The Influences of Water Vapor/Hydrogen Ratio, Gas-Flow Rate and Antimony on the Surface Oxidation of Trip Steels

  • Kwon, Youjong;Zhu, Jingxi;Sohn, Il-Ryong;Sridhar, Seetharaman
    • Corrosion Science and Technology
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    • 제10권6호
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    • pp.189-193
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    • 2011
  • In the current paper, we are reporting the results from an investigation of the surface and sub-surface oxidation of a TRIP steel containing 2 wt.% Mn and 0.5 wt.% Al with and without 0.03 wt.% Sb. The oxidizing conditions in the gas were successively varied in terms of the linear gas flow-rate and dew-point, from conditions were gas-phase mass transport limited conditions prevailed, to those were solid state processes became the rate determining conditions. It was found, that at sufficient low oxidizing conditions (defined as flow-rate/dew-point), the metal surfaces were clear of any external oxides, and as the oxidizing conditions were increased, Mn- and Si- oxide nodules formed along with magnetite. As the oxidizing conditions were increased further, a dense magnetite layer was present. The limits of the various regions were experimentally quantified and a proposed hypothesis for their occurrences is presented. No obvious effect of Sb was noted in this micro-structural research of the oxides that results from the various conditions investigated in this study.

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 고온 내구성 InSbO4 박막의 물성 평가 (Characterization on high temperature durability of InSbO4 deposited by RF magnetron sputtering)

  • 이현준;조상현;송풍근
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2012년도 춘계학술발표회 논문집
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    • pp.205-206
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    • 2012
  • $InSbO_4$ (Indium antimony oxide) 박막을 RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 $SiO_2$가 코팅된 Si wafer ($SiO_2/Si$) 기판 또는 $400^{\circ}C$에서 융해된 석영 유리 (silica glass) 기판 위에 증착시켰다. 고결정성과 화학양론의 $InSbO_4$ 막을 증착시키기에 최적화된 조성의 $In_{0.2x}Sb_{0.3x}O_x$ 타겟을 이용하여 Ar과 $O_2$ 혼합 가스 분위기에서 스퍼터링 증착을 수행하였다. $InSbO_4$ 막은 가시광 영역에서 80%이상의 투과도를 보였고, $400^{\circ}C$에서 $1100^{\circ}C$사이의 어닐링 온도에서는 $InSbO_4$ 막의 전기적 성질이 높은 고온 내구성을 가지는 것을 알 수 있었다. 그러나 $1200^{\circ}C$ 이상의 어닐링 온도에서는 새로운 $Sb_2O_4$ 상의 분리로 인해 $InSbO_4$ 막의 비저항이 급격히 증가하였다.

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이소부탄의 산화탈수소반응에 대한 여러 담지체에 따른 V-Sb 산화물 촉매 성능 효과 (Effect of Various Supports on the Catalytic Performance of V-Sb Oxides in the Oxidative Dehydrogenation of sobutane)

  • Shamilov, N.T.;Vislovskiy, V.P.
    • 대한화학회지
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    • 제55권1호
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    • pp.81-85
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    • 2011
  • 이소부탄의 산화탈수소반응(ODH)에 대한 $V_{0.9}Sb_{0.1}O_x$ 촉매계의 5가지 담지체의 촉진효과를 조사하였다. 사용된 5가지 담지체는 감마-알루미나, 알파-알루미나, 실리카-알루미나, 실리카겔, 마그네슘 산화물이다. 촉매는 사용된 담지체에 따라 그 효과가 다르게 나타났다: ${\gamma}-Al_2O_3$ > $\alpha$-$Al_2O_3$ > Si-Al-O> $SiO_2$ $\approx$MgO$\gg$unsupported. V-Sb-O 비율은 별로 촉매 활성과 선택성에 영향을 미치지 않았다. 촉매 성분들이 담지체에 골고루 잘 분포된 이유로 인해 감마-알루미나에 담지된 $V_{0.9}Sb_{0.1}O_x$ 촉매계가 성능이 제일 뛰어났다.

잉크젯 프린팅을 이용한 low-e $TiO_2$-silver 투명박막형성 (Fabrication of $TiO_2$-silver transparent thin films low-e coated on glass substrate by ink-jet printing)

  • 윤초롱;오효진;이남희;;김병환;김선재
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.511-511
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    • 2007
  • Low-emissivity (low-e) coatings with visible transparency have attracted increased interest m reducing heat radiation loss through window panes from ecological and sustainable aspects. $TiO_2$-silver transparent thin films for low-e have good properties for UV and IR blocking as well as photocatalyst compared to that with commercial UV blocking films such as fluorine doped oxide (FTO), antimony doped tin oxide (ATO), etc. In this study, transparent $TiO_2$-silver thin films were prepared by successive ink-jet printing of commercial nano silver and $TiO_2$ sol. The $TiO_2$ sol, as ink for ink-jet printing, were synthesized by hydrothermal process in the autoclave externally pressurized with $N_2$ gas of 200 bar at $120^{\circ}C$ for 10 hrs. The synthesized $TiO_2$ sols were all formed with brookite phase and their particle size was several to 30 nm. At first nano sized silver sol was coated on glass substrate, after that $TiO_2$ sol was coated by ink-jet printing. With increasing coating thickness of $TiO_2$-silver multilayer by repeated ink-jet coating, the absorbance of UV region (under 400nm) and IR region (over 700nm) also increase reasonably, compared to that with commercial UV blocking films.

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RF Magnetron Sputtering을 이용한 ATO 박막의 산소 유량에 따른 특성 변화 (The effect of $O_2$ flow rate on die characteristics of ATO Thin Films by RF Magnetron Sputtering)

  • 견동민;이성욱;박미주;김영렬;최원석;홍병유
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.336-337
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    • 2007
  • 현재 투명전극의 재료로 ITO, ZnO, $SnO_2$등의 재료가 주로 이용되며, 낮은 저항률을 장점으로 가지는 ITO 박막이 가장 널리 이용되고 있으나, 가격이 비싸다는 단점을 가지고 있다. 이 밖에도 ITO 박막보다 가격이 저렴한 ZnO박막에 대한 연구가 많이 진행되고 있으나, 고온에서의 열적 불안정성 등의 문제로 상용화되지는 못하고 있다. 그러나 $SnO_2$ 박막은 ITO와 ZnO 박막보다 저항률이 다소 높지만, 우수한 열적, 화학적 안정성과 저렴한 가격으로 ITO 박막을 대체할 투명전도막 재료로 주목받고 있다. 본 연구에서는 $SnO_2$박막의 저항률 향상을 위하여 ATO(Antimony doped Tin Oxide) 박막을 RF Magnetron Sputtering 법으로 Coming glass위에 증착하였으며, 박막 증착시 산소 유량의 변화가 ATO 박막의 구조적, 전기적 그리고 광학적 특성에 미치는 효과를 연구하였다. 본 실험에서는 동작압력을 10 mTorr, RF power를 250W로 고정하고 $O_2$ 유량을 부분적으로 변화시키면서 증착되어진 ATO 박막을 분석한 결과 Ar:$O_2$의 비가 90:10일 때 최적의 가스비율로써 우수한 구조적, 전기적 그리고 광학적 특성을 보임을 확인하였다.

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한국의 광산물 HSK Code 개정방안 연구 (Study on Revision of Minerals HSK Code of Korea)

  • 이화석;김유정
    • 광물과산업
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    • 제27권
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    • pp.8-15
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    • 2014
  • 본 연구에서는 법정광물 및 정부비축광물을 대상으로 HSK Code 개정(안)을 수립하였다. 법정 광물 중 리튬 광, 희토류 광, 사문석, 연옥, 비축 대상 광종 중 인듐 괴, 페로텅스텐, 안티모니 괴, 셀렌 그래뇰, 갈륨, 산화란탄, 탄산세륨 등의 경우 타 품목과 혼합되어 HSK Code가 부여되어있어 세부 품목별로 정확한 무역통계를 파악하기가 어렵다. 또한 현재의 HSK Code 분류체계에서는 대략적인 품목의 명칭 정도만을 확보할 수 있을 뿐 용도, 규격, 성분, 타입 등 보다 구체적인 품목에 대한 정보는 확보하기가 어려운 상황이다. 법정광물, 정부비축 등 국가적 차원에서 관리되고 있는 광물자원에 대해서는 정확한 통계적 데이터 구축을 위해 품목분류를 세분화하여 단독으로 HSK Code를 관리하는 것을 원칙으로 하였다. 단, 국제 공통기준(HS Code 6단위)을 준수하는 범위 내에서 개정안을 마련하였으며, 수입규모가 일정규모 이상(금액기준 : 5천만불 이상, 물량기준 : 5천톤 이상)인 품목을 개정 대상으로 선정하였고 HSK Code간 Hierarchy의 균형을 고려하였다.

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용접공에서 발생한 구리흄에 의한 금속열 1례 (A Case of Metal Fume Fever Associated with Copper Fume in a Welder)

  • 임현술;정해관
    • Journal of Preventive Medicine and Public Health
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    • 제31권3호
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    • pp.414-423
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    • 1998
  • Metal fume fever has been known as an occupational disease is induced by intense inhalation of fresh metal fume with a particle size smaller than $0.5{\mu}m\;to\;1{\mu}m$. The fumes originate from heating metals beyond their boiling point, as happens, for example, in welding operations. Oxidation usually accompanies this process. In most cases, this syndrome is due to exposure to zinc oxide fumes; however, other metals like copper, magnesium, cadmium, manganese, and antimony are also reported to produce such reactions. Authors report a case of metal fume fever suspected to be associated with copper fume inhalation. The patient was a 42-year-old male and was a smoker. He conducted inert gas tungsten arc welding on copper-coated materials without safety precautions such as a protective mask and adequate ventilation. Immediately after work, he felt metallic taste in his mouth. A few hours after welding, he developed headache, chilling sensation, and chest discomfort. He also complained of myalgia, arthralgia, feverish sensation, thirst, and general weakness. Symptoms worsened after repeated copper welding on the next day and subsided gradually following two weeks. Laboratory examination showed a transient increase of neutrophil count, eosinophilia, elevated erythrocyte sedimentation rate, and positive C-reactive proteinemia. Blood and urine copper level was also increased compared to his wife. Before this episode, he experienced above complaints several times after welding with copper materials but welding of other metals did not produce any symptoms. It was suggested that copper fume would have induced metal fume fever in this case. Further investigations are needed to clarify their pathogenic mechanisms.

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다양한 첨가 성분을 함유한 ZnO 바리스터의 미세구조 (Microstructure of ZnO Varistors with Various Additives)

  • 이훈;조성걸;김창조;김형식
    • 한국세라믹학회지
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    • 제32권12호
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    • pp.1323-1330
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    • 1995
  • The effects of various additives on the microstructures of sintered ZnO varistors were examined. Bi2O3, Sb2O3 and Cr2O3 were added to ZnO step by step to identify the effect of each component. The specimens were prepared by sintering at 110$0^{\circ}C$ and 120$0^{\circ}C$ in ambient atmosphere. In ZnO-Bi2O3-Sb2O3 ternary system, decrease of averge grain size due to antimony oxide addition depends on sintering temperature as well as Bi2O3 content. When Sb2O3 was partly or completely replaced by Cr2O3, grain size was further reduced. A significant amount of pyrochlore phase which was not transformed to spinel and Bi2O3-rich liquid phase seemed to remain during sintering at 110$0^{\circ}C$. Unlike ZnO-Bi2O3-Sb2O3 system, the $\alpha$-spinel phase containing significant amount of Cr did not transform to pyrochlore during furnace cooling. Fine spinel particles around 1${\mu}{\textrm}{m}$ size were ovserved within ZnO grains and grain boundaries, which were believed to be responsible for grain-growth inhibition in ZnO-Bi2O3-Sb2O3.

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RF Magnetron Sputtering법에 의해 증착된 ATO박막의 열처리에 따른 구조적, 전기적, 광학적 특성 변화 (Effect of annealing temperature on the Structural, Electrical, Optical Properties of ATO Thin Films by RF Magnetron Sputtering)

  • 문인규;이성욱;박미주;김영렬;최원석;홍병유
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.335-335
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    • 2007
  • 본 연구에서는 RF Magnetron Sputtering 법으로 94:6 wt%의 비율로 Sb가 첨가된 $SnO_2$ 타겟을 사용하여 실온에서 ATO(Antimony doped Tin Oxide) 박막을 증착하고, 열처리가 ATO 박막의 구조적, 전기적, 광학적 특성에 미치는 효과를 연구하고자 하였다. ATO 박막의 두께는 약 200 nm로 증착하였으며, 실험 조건으로는 Ar 유량을 100 seem, 진공도는 1, 5, 10 mTorr로 변화시켰으며 스퍼터링 파워는 100, 150, 200, 250 W로 조절하였다. 증착되어진 박막은 vacuum 상태에서 300, $600^{\circ}C$의 온도에서 열처리를 수행하였으며 결과적으로 스퍼터링 파워가 증가함에 따라 비저항이 감소하였고, 250 W의 파워와 10 mTorr의 공정압력 조건에서 $600^{\circ}C$로 열처리한 ATO 박막은 $5{\times}10^{-3}{\Omega}-cm$의 저항률과 85.3%의 높은 투과도를 가지는 우수한 투명 전도막을 얻을 수 있었다.

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