Atomic Force Microscope (AFM) Lithography : Influence of the Anodic Voltage Waveform on the Formation of Oxide Nanodots (원자현미경 리소그래피 : 양극전압 파형이 옥사이드 성장에 미치는 영향)
-
- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
- /
- 2009.10a
- /
- pp.627-628
- /
- 2009