Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2009.10a
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- Pages.627-628
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- 2009
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- 2005-8446(pISSN)
Atomic Force Microscope (AFM) Lithography : Influence of the Anodic Voltage Waveform on the Formation of Oxide Nanodots
원자현미경 리소그래피 : 양극전압 파형이 옥사이드 성장에 미치는 영향
- Published : 2009.10.26