한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

원자현미경 리소그래피 : 양극전압 파형이 옥사이드 성장에 미치는 영향

Atomic Force Microscope (AFM) Lithography : Influence of the Anodic Voltage Waveform on the Formation of Oxide Nanodots

  • 김철웅 (고려대학교/(주)트리플씨메디칼) ;
  • 김태영 ((주)트리플씨메디칼 R&D Center)
  • 발행 : 2009.10.26
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