• 제목/요약/키워드: Annealing Time

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ER2594 용착금속의 전기화학적 부식특성에 미치는 시그마상의 영향 (Effect of Sigma Phase on Electrochemical Corrosion Characteristics of a Deposited Metal of ER2594)

  • 정병호;김시영;서기정;박주영
    • 동력기계공학회지
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    • 제19권6호
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    • pp.75-81
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    • 2015
  • A deposited metal specimen of ER2594 which is a super duplex steel welding wire used to investigate the effect of sigma(${\sigma}$) phase on electrochemical corrosion characteristics was prepared by gas tungsten arc welding. Aging treatment was conducted for the specimen at the temperature range of $700^{\circ}C$ to $900^{\circ}C$ for 5 to 300 minutes after annealing at $1050^{\circ}C$. Corrosion current density has decreased a little with an increase of aging time over 60 minutes at $700^{\circ}C$ to $900^{\circ}C$ and the uniform corrosion of deposited metal had more influence on the precipitation of ferrite than the precipitation of sigma phase. Therefore, the precipitation of sigma phase did not have much effect on the uniform corrosion. Pitting potential representing pitting corrosion has shown decreasing tendency as the precipitation of sigma phase increased. The degree of sensitization representing intergranular corrosion has shown increasing tendency as the precipitation of sigma phase increased at $700^{\circ}C$ to $800^{\circ}C$, while it has decreased at $900^{\circ}C$ for 60 to 300 minutes.

Cu 금속 배선에 적용되는 질소와 탄소를 첨가한 W-C-N 확산방지막의 질소불순물 거동 연구 (Additional Impurity Roles of Nitrogen and Carbon for Ternary compound W-C-N Diffusion Barrier for Cu interconnect)

  • 김수인;이창우
    • 한국진공학회지
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    • 제16권5호
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    • pp.348-352
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    • 2007
  • 반도체 기술이 초고집적화 되어감에 따라 미세화공정에 의하여 소자의 크기가 급격히 줄어들고 있으며, 공정에서는 선폭이 크게 줄어드는 추세이다. 또한 박막을 다층으로 제조하여 소자의 집적도를 높이는 것이 중요한 이슈가 되고 있다. 이와 같은 수많은 제조 공정을 거치는 동안, Si 기판과 금속 박막사이에는 확산에 의한 많은 문제점들이 발생되고 있기 때문에, 이러한 금속과 Si 사이의 확산을 방지하는 것이 큰 이슈로 부각되어 왔다. 특히 Cu는 낮은 온도에서도 Si과 확산을 일으켜 Si 기판과 접합에서 확산에 의한 소자 failure 등이 문제로 발생하게 되며, 또한 선폭이 줄어듦에 따라 고열이 발생하여 실리콘으로 spiking이 발생하게 된다. 이를 방지하기 위하여 본 논문에서는 질소와 탄소를 첨가한 3개의 화합물로 구성된 Tungsten-Carbon-Nitrogen (W-C-N) 확산방지막을 사용하였다. 실험은 물리적 기상 증착법(PVD)으로 질소비율을 변화하며 확산방지막을 증착하였고, 이를 여러 가지 온도에서 열처리하여 열적인 안정성에 대한 실험을 실시하였다. 결정구조를 확인하기 위하여 X-ray Diffraction 분석을 통하여 확산방지막의 특성을 연구하였다.

벌지 실험을 통한 Ti 박막의 크기 효과 관찰 및 기계적 물성 측정 (Observation of Size Effect and Measurement of Mechanical Properties of Ti Thin Film by Bulge Test)

  • 정봉부;이헌기;황경호;박현철
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제37권1호
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    • pp.19-25
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    • 2013
  • 본 연구에서는 벌지 실험을 이용하여 티타늄 박막의 기계적 물성을 측정하였다. 벌지 실험은 외적 지지구조를 가지지 않는 박막 시편의 한 면에 일정한 압력을 가하여 박막의 변위를 측정, 압력과 변위의 관계를 이용하여 박막의 기계적 물성을 측정하는 실험이다. 스퍼터링을 이용해 증착된 티타늄 박막의 두께는 1.0, 1.5, $2.0{\mu}m$ 이고, 물성의 열처리 시간에 대한 영향을 알아보기 위해 증착된 시편은 $600^{\circ}C$에서 각각 150, 300, 600 초 동안 열처리 되었다. 박막의 탄성 계수, 잔류 응력, 항복 응력이 벌지 실험을 통해 측정되었고, 실험 결과 항복 응력은 열처리 시간에 의존하는 특성을 확인하였다. 또한 시편 두께가 감소할수록 강도가 증가하는 크기효과를 관찰하였다.

Photo-induced Electrical Properties of Metal-oxide Nanocrystal Memory Devices

  • Lee, Dong-Uk;Cho, Seong-Gook;Kim, Eun-Kyu;Kim, Young-Ho
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.254-254
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    • 2011
  • The memories with nano-particles are very attractive because they are promising candidates for low operating voltage, long retention time and fast program/erase speed. In recent, various nano-floating gate memories with metal-oxide nanocrystals embedded in organic and inorganic layers have been reported. Because of the carrier generation in semiconductor, induced photon pulse enhanced the program/erase speed of memory device. We studied photo-induced electrical properties of these metal-oxide nanocrystal memory devices. At first, 2~10-nm-thick Sn and In metals were deposited by using thermal evaporation onto Si wafer including a channel with $n^+$ poly-Si source/drain in which the length and width are 10 ${\mu}m$ each. Then, a poly-amic-acid (PAA) was spin coated on the deposited Sn film. The PAA precursor used in this study was prepared by dissolving biphenyl-tetracarboxylic dianhydride-phenylene diamine (BPDA-PDA) commercial polyamic acid in N-methyl-2-pyrrolidon (NMP). Then the samples were cured at 400$^{\circ}C$ for 1 hour in N atmosphere after drying at 135$^{\circ}C$ for 30 min through rapid thermal annealing. The deposition of aluminum layer with thickness of 200 nm was followed by using a thermal evaporator, and then the gate electrode was defined by photolithography and etching. The electrical properties were measured at room temperature using an HP4156a precision semiconductor parameter analyzer and an Agilent 81101A pulse generator. Also, the optical pulse for the study on photo-induced electrical properties was applied by Xeon lamp light source and a monochromator system.

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Influences of the Eu Concentration and the Milling Time on Photoluminescence Properties of Y2O3-H3BO3:Eu3+ Powders Prepared by Mechanical Alloying

  • Gong, Hyun-Sic;Kim, Hyun-Goo
    • 한국분말재료학회지
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    • 제23권2호
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    • pp.108-111
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    • 2016
  • $Y_2O_3-H_3BO_3:Eu^{3+}$ powders are synthesized using a mechanical alloying method, and their photoluminescence (PL) properties are investigated through luminescence spectrophotometry. For samples milled for 300 min, some $Y_2O_3$ peaks ([222], [440], and [622]) and amorphous formations are observed. The 300-min-milled mixture annealed at $800^{\circ}C$ for 1 h with Eu = 8 mol% has the strongest PL intensity at every temperature increase of $100^{\circ}C$ (increasing from 700 to $1200^{\circ}C$ in $100^{\circ}C$ increments). PL peaks of the powder mixture, as excited by a xenon discharge lamp (20 kW) at 240 nm, are detected at approximately 592 nm (orange light, $^5D_o{\rightarrow}^7F_1$), 613 nm, 628 nm (red light, $^5D_o{\rightarrow}^7F_2$), and 650 nm. The PL intensity of powder mixtures milled for 120 min is generally lower than that of powder mixtures milled for 300 min under the same conditions. PL peaks due to $YBO_3$ and $Y_2O_3$ are observed for 300-min-milled $Y_2O_3-H_3BO_3$ with Eu = 8 mol% after annealing at $800^{\circ}C$ for 1 h.

고크롬 (α+γ) 2상강의 결정립 성장기구 (A study on the grain growth mechanism in dual-phase high Cr-steel)

  • 위명용
    • 열처리공학회지
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    • 제11권4호
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    • pp.324-332
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    • 1998
  • The grain growth characteristics of dual-phase (${\alpha}+{\gamma}$) containing high Cr-steel have investigate using ${\alpha}$-, ${\gamma}$-single phases and (${\alpha}+{\gamma}$)dual-phase of 12%Cr Steel. The heat treatment has performed at $1000-1200^{\circ}C$ for 1-100hr. The results are as follows : 1) The grain growth rate in (${\alpha}+{\gamma}$) dual phase was substantially slower than that of single grain. 2) The relation between mean grain radius $\bar{{\gamma}}$ and annealing time t is, in general, described as following equation : $$(\bar{{\gamma}})^n-(\bar{{\gamma}_o})^n=K_n{\cdot}t{\cdots}{\cdots}(1)$$ i) In the case of single phase of high Cr steel, Eq.(1) is described as $(\bar{{\gamma}})^2-(\bar{{\gamma}_o})^2=K_2{\cdot}t$ and the grain growth is controlled by boundary migration. ii) In dual phase, the grain growth needs diffusion of alloying elements because the chemical composition of ${\alpha}$- and ${\gamma}$- phases differs from each other. When the volume fraction of ${\alpha}$-, ${\gamma}$-phase was almost equal and ${\gamma}$-phase in the case of 80 and $90%{\gamma}$. Eq.(1) is described as $(\bar{{\gamma}})^3-(\bar{{\gamma}_o})^3=K_3{\cdot}t$ because the grain growth is controlled by volume diffusion iii) In the case of ${\gamma}$-rich phase (80 and $90%{\gamma}$), the grain growth of minor phase (10 and $20%{\alpha}$) is described as $(\bar{{\gamma}})^4-(\bar{{\gamma}_o})^4=K_4{\cdot}t$ because the boundary diffusion is predominent rather than volume diffusion.

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Comparative Analysis of Gene Expression in the Female Reproductive Organs

  • Kim, Min-Goo;Seo, Hee-Won;Choi, Yo-Han;Lee, Chang-Kyu;Ka, Hak-Hyun
    • 한국수정란이식학회지
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    • 제24권2호
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    • pp.77-87
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    • 2009
  • To understand molecular and cellular mechanisms of many gene products in the female reproductive organs including the ovary and uterine endometrium as well as during embryo development, researchers have developed and utilized many effective methodologies to analyze gene expression in cells, tissues and animals over the last several decades. For example, blotting techniques have helped to understand molecular functions at DNA, RNA and protein levels, and the reverse transcription-polymerase chain reaction (RT-PCR) method has been widely used in gene expression analysis. However, some conventional methods are not sufficient to understand regulation and function of genes expressed in very complex patterns in many organs. Thus, it is required to adopt more high-throughput and reliable techniques. Here, we describe several techniques used widely recently to analyze gene expression, including annealing control based-PCR, differential display-PCR, expressed sequence tag, suppression subtractive hybridization and microarray techniques. Use of these techniques will help to analyze expression pattern of many genes from small scale to large scale and to compare expression patterns of genes in one sample to another. In this review, we described principles of these methodologies and summarized examples of comparative analysis of gene expression in female reproductive organs with help of those methodologies.

선형 및 스타형 폴리락트산 입체블록 공중합체의 합성 및 물성 (Synthesis and Characterization of Linear and Star-shaped Poly(lactic acid) Stereo-block Copolymers)

  • 이선영;김지흥
    • 폴리머
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    • 제24권5호
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    • pp.638-645
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    • 2000
  • 디올 또는 다가 알콜의 존재 하에서 DL-락트산 및 L-락티드를 연속 중합하여 선형 (ABA 형)과 스타형 ((AB)$_{n}$ 형)의 폴리락트산 입체블록 공중합체를 합성하고 분석하였다. 알콜의 함량에 따라 블록 공중합체의 분자량을 어느 정도 범위에서 조절할 수 있었으며, 합성된 중합체는 비교적 좁은 분자량 분포를 나타내었다. 폴리락트산 입체블록 공중합체의 유리전이온도는 5$0^{\circ}C$ 부근이었으며, 융점은 구조와 분자량에 따라 100~14$0^{\circ}C$ 범위에서 관찰되었다. 용융 엔탈피로부터 얻은 결정화도의 측정 결과로부터 블록구조를 갖는 공중합체는 D-입체이성질체 단량체의 높은 조성(~35%)에서도 결정화가 충분히 일어남을 확인하였는데 이는 유사한 조성의 랜덤 공중합체의 성질과 대비된다. 선형과 스타형 블록 공중합체의 경우 모두 열처리 온도와 시간에 따른 결정화도의 변화를 관찰하였다.다.

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Hexagonal Barium-Ferrite 박막의 미세구조와 자기적 특성에 미치는 산소분압과 열처리 시간의 영향 (Influences of Oxygen Partial Pressure and Annealing Time on Microstructure and Magnetic Properties of Hexagonal Barium-Ferrite Thin Films)

  • 김웅수;김동현;남인탁;홍양기
    • 한국자기학회지
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    • 제10권6호
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    • pp.285-290
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    • 2000
  • 본 연구에서는 Hexagonal Barium Ferrite(BaM) 박막을 RF magnetron sputtering system을 이용하여 상온에서 증착한후, 85$0^{\circ}C$에서 열처리하여 결정화하였다. XRD pattern을 통해 BaM 박막의 working pressure 10 mTorr에 대한 산소분압(Po$_2$)을 0~3 mTorr가지 변화하여 알아본 결과, 1 mTorr 이하의 산소분압(Po$_2$)에서는 spinel 상과 BaM 상이 함께 형성되었으나, 1 mTorr 이상의 높은 산소분압(Po$_2$)에서는 BaM 상만이 형성되는 것을 알 수 있었다. BaM 박막의 자기적특성을 VSM을 통하여 알아본 결과 산소분압(Po$_2$)이 증가함에 따라 수직보자력은 일정하게 감소를 하였으나 포화자화값은 1 mTorr가지 증가하다 감소하였다. 열처리 시간에 따른 결정화 정도와 특성을 알아본 결과 열처리를 시작한 뒤 10분 이내에 대부분의 특성변화가 일어났으며, 그 이상의 온도에서는 커다란 변화를 일으키지 않음을 알 수 있었다.

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렌즈절삭용 탄화규소계 공구의 크랙전파 거동 (Crack Path Behavior of SiC Based Tools for Spectacle Lens Cutting)

  • 이영일
    • 한국안광학회지
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    • 제11권2호
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    • pp.85-89
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    • 2006
  • 렌즈 절삭공구의 기계적 특성을 향상시키는 기구에 관한 연구를 하기 위해, 탄화규소와 탄화티타늄을 주재료로 사용되었다. 또한, 소결첨가제로 알루미나와 이트리아를 첨가하였다. 첨가제 조성비는 알루미나와 이트리아비를 1:1로 유지하였다. 이를 $1810^{\circ}C$에서 1시간 일축가압 소결 후 $1860^{\circ}C$에서 3, 6 그리고 12시간 동안 열처리하였다. 열처리 시간이 길어질수록 입자크기는 점점 증가하였다. 미세구조는 주사전자현미경으로 관찰하였으며 이미지프로그램(Image-Pro Plus, Media Cybernetics, Maryland, U.S.A.)으로 상분석 하였다. 파괴기구는 주로 길게 자란 탄화규소 입자에 의한 균열회절에서 일어나고 있음을 알 수 있다. 균열회절기구에 영향을 미친 SiC입자들은 대부분 두께가 $2.3{\mu}m$ 이하였고, 장경비는 2.5 이상이었다. 균열가교도 일부 파괴인성 증진기구에 기여함을 알 수 있다.

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