Study on the Improvement of $TiSi_2$ film for Ti-SALICIDE Process Using Ion Beam Mixing and Rapid Thermal Annealing
(Ion Beam Mixing과 급속열처리 방법을 이용한 Ti-SALICIDE용 $TiSi_2$ 박막 개선에 관한 연구)
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- Journal of the Korean Vacuum Society
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- v.1 no.1
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- pp.168-175
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- 1992