This paper shows the study for development inprocess measuring magnetic sensor for tolerance control, First, we fabricated and annealed sample amorphous ribbons which were made of ($CO_{0.94}$$Fe_{0.06}$)$_{79}$$Si_{2}$$b_{19}$ having near zero magnetostrictive. It had 12[$\mu\textrm{m}$] of thickness, 10[mm] of length, and 2.5[mm] of width. Then, we measured the magnetic characteristics such as frequency dependency over impedance variation rate and position change over impedance variation. As the results of the evaluation, we found that the sample ribbons had excellent sensor characteristics. Then, we made sensors by using the sample ribbons, As the results of the measurements, it proved that the ribbon could be used as excellent magnetic sensor for which it was possible to control inprocess measurement within the tolerance range(~$\mu\textrm{m}$ ).
비대칭 거대 자기임피던스 효과를 보이는 자기장 열처리된 CoFeSiB 비정질 리본에서 자기 바이어스 현상을 MOKE 방법을 이용하여 연구하였다. 열처리 과정에서 리본의 양 표면에 형성된 경자성 결정층이 내부 연자성 비정질 상의 자화특성에 미치는 영향을 조사하기 위해 열처리 후 화학적 에칭에 의해 한쪽 및 양쪽 표면의 결정층을 깎아낸 시편들을 준비하고 각 시편에 대해 비정질 상의 자화곡선을 MOKE 방법으로 측정하였다. 열처리 과정에서 표면에 형성된 경자성층이 내부의 비정질 연자성 상에 바이어스 자기장을 작용하고 있다는 것과 바이어스 자기장의 방향이 경자성층의 자화방향에 반대 방향임을 자기이력곡선의 이동을 통해 확인하였다.
급속응고(melt spinning)법이 Fe-Nd-C의 경우와 마찬가지로 보자력이 높은 Fe-Pr-C 합금을 얻는데에 효과적인지 알아보기 위하여, 급속응고된 Fe-Pr-C 리본에 대하여 냉각속도 및 열처리의 변화에 따른 상, 미세조직 및 자기특성의 변화를 조사하였다. 냉각속도(wheel speed)가 증가할수록 as-spun 리본의 비정질화가 증가하여 40m/s에서 제조된 리본합금은 거의 비정질화하였다. 10m/s에서 제조된 결정질 리본의 상분포는 주소상태의 상분포와 유사하여 .alpha. -Fe가 일차상, Fe$_{17}$Pr$_{2}$C$_{x}$가 이차상으로 존재하였다. 20m/s에서도 결정질이 우세하게 나타나나, 이때에는 .alpha. -Fe의 정출이 약간 억제되는 반면 Fe$_{17}$Pr$_{2}$C$_{x}$의 정출이 현저하였으며, 30m/s에서는 비정질이 우세하여 소량의 결정질만이 존재하였다. 따라서 강자성 Fe$_{14}$Pr$_{2}$C 상은 as-spun 상태에서는 존재하지 않거나 미량이었으며, 주조합금의 경우와 마찬가지로 고상변태를 통해서 얻을 수 있었다. 일반적으로 as-spun리본이 비정질화할수록 비교적 낮은 온도에서 수분의 열처리만으로 완전한 Fe$_{14}$Pr$_{2}$C 상을 얻을 수 있었으며, 결정화가 완벽할수록 Fe$_{14}$Pr$_{2}$C를 얻기 위한 열처리 시간은 증가하였다. 이와 같이 얻은 Fe$_{14}$Pr$_{2}$C는 대부분 1 .mu. m 이하의 미세한 결정립을 가지고 있었으며, as-spun 리본의 비정질화가 완벽한 경우보다 덜 완벽한 경우(30m/s) 또는 결정질과 약간의 비정질이 혼합된 경우 (20m/s)에 열처리에 의한 보자력의 향상이 뚜렷하였다. 일반적으로 변태온도 구역안에서 열처리 온도가 높을수록 10분 이하의 짧은 열처리가 보자력의 향상에 효과적이었다.이었다.
For the amorphous F $e_{78}$$B_{13}$S $i_{9-x}$G $e_{x}$ alloy, thermal analysis and measurements of the magnetic properties were carried out. As the content of Ge increased, the crystallization temperature was decreased and the Curie temperature was increased, and the tendencies were almost linear. The core loss of the amorphous alloy for x=1.7, field annealed at optimized condition, was 0.057 W/kg(l.0T, 60Hz), which was about 30% lower than that of no Ge added amorphous alloy (basic composition). Such a low core loss characteristics was thought to be caused by the lower coercive force and good squareness of B-H loop of the alloy.y.y.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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