$V_2O_5/V/V_2O_5$ 다층박막 및 MEMS기술을 이용한 비냉각형 적외선 감지 소자의 제작
($V_2O_5/V/V_2O_5$ based uncooled infrared detector by MEMS technology)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 2003년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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- pp.131-131
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- 2003