Submicron contact hole filling with aluminum alloys has been achieved with a multistep metallization method, which utilizes a metal " flow" or self-diffusion process at elevated temperatures after the metal was sputter-deposited. A multi-chamber, modular sputtering system was employed to deposit aluminum alloys and subsequently to anneal the deposited metal films under vacuum at high temperatures. The film were deposited on 200 mm wafers with planar, dc magnetron sputtering sources without anysubstrate bias. The basic process steps studied for the multistep metallization include an initial layer deposition at low temperatures less than $100^{\circ}C$, and an annealin gstep at elevated temperatures, between 450 and $550^{\circ}C$. The degree of planarization or step coverage was dependent strongly upon the temperature and time of the flow step and complete filling of the submicron contacts with aluminum alloys was achieved. Responsible mechanisms for the enhancement in step coverge and factros determining uniform and reproducible flow of aluminum alloys during the high temperauture step are discussed.discussed.
Park, Doo-Hwan;Kim, Jeong-Hyeon;Choi, Sung-Woong;Lee, Jae-Myung
Journal of Ocean Engineering and Technology
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v.29
no.1
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pp.85-93
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2015
In this study, tensile tests were performed on aluminum alloys (AA6061 and AA6082) to investigate their mechanical behaviors at cryogenic temperatures. The temperature was varied from 110 K up to 293 K, and quasi-static strain rates of 10−4 s−1 −10−2 s−1 were taken into account for the tests. The experimental results were analyzed to find the dependence on the temperature, strain rate, and fractured surfaces. As a result, it was found that the strength and elongation of the aluminum alloys were improved when the temperature was decreased. In addition, it was confirmed that the mechanical behaviors of the aluminum alloys were not dependant on the strain rate. Under a tensile load, two types of fractures were seen in the aluminum alloys: cup-cone (AA6061) and shear (AA6082).
Aluminum alloys are widely utilized in diverse industries, such as automobiles, aerospace, and architecture, owing to their high specific strength and resistance to oxidation. However, to meet the increasing demands of the industry, it is necessary to design new aluminum alloys with excellent properties. Thus, a new method is required to efficiently test additively manufactured aluminum alloys with various compositions within a short period during the alloy design process. In this study, a combinatory approach using a direct energy deposition system for metal 3D printing process with a dual feeder was employed. Two types of aluminum alloy powders, namely Al6061 and Al-12Cu, were utilized for the combinatory test conducted through 3D printing. Twelve types of Al-Si-Cu-Mg alloys were manufactured during this combinatory test, and the relationship between their microstructures and properties was investigated.
Along with the growth of conventional ferrous powder metallurgy (PM), PM of aluminum alloys has been intensively investigated in Japan. Although rapidly solidified aluminum alloy powder was first used in the USA,/sup 1)/ commercialization for consumer market was first realized in Japan./sup 2)/ In order to achieve the viable cost-performance including Near Net Shape (NNS) formability, we developed three processes, powder extrusion, powder forging and sintering. The new powder extrusion process does not use either capsulation or vacuum degassing. The new powder forging does not need lateral flow. The new sintering process does not use liquid phase. The performance achieved by the processes is outstanding mechanical or physical properties that has potential to substitute cast iron, steel, titanium Metal Matrix Composite (MMC) or Ingot Metallurgy (IM) aluminum alloys. Cooperation with customers, powder suppliers and research associations contributed to the advancement of PM aluminum alloys in Japan.
The most widely utilized commercial, aluminum-casting alloys are based on an aluminum-silicon system due to its excellent casting, and good mechanical, properties. Unfortunately, these Al-Si based alloys are inherently poor energy conductors; compared to pure aluminum, because of their high silicon content. This means that they are not suitable for applications demanding high eletrical or thermal conductivity. Therefore, efforts are currently being made to develop new, highly-conductive aluminum-casting alloys containing no silicon. In this research, a number of properties; including potential for castability, were investigated for a number of Al-Fe-Zn-Cu alloys with varying Cu content. As the copper content was increased, the tensile strength of Al-Fe-Zn-Cu alloy tended to increase gradually, while the electrical conductivity was slightly reduced. Fluidity was found to be lower in high-Cu alloys, and susceptibility to hot-cracking was generally high in all the alloys investigated.
A literature review was conducted to gather informations available on the welding metallurgy of aluminum alloys, emphasized on characteristics in the heat affected zone(HAZ). Nominal metallurgical reactions that occur in aluminum alloys provide a basis for understanding aluminum welding metallurgy. However, welding reactions differ to some extent because of the relatively short times involved, and the non-isothermal heating excursed. For non-heat treatable alloys, welding primarily affects these alloys by annealing (recrystallization and growth) and to a less extent, changes in low temperature precipitates. In the case of heat treatable alloys, the resulting HAZ properties depend upon alloy composition, starting temper, heat input and post weld heat treatments.
The trend of the fabrication technology of high strength, high toughness aluminum alloys by the severe plastic deformation(SPD) process and the welding technology of lightweight alloys in the automobile has been studied. The lightweight aluminum alloys can reduce vehicle weight, while stringently demanding the high quality and efficient welding techniques, to produce the best weldments. Among the production technologies, welding plays an important role in the fabrication of lightweight vehicle structure. This paper covers the scientometric analysis of the severe plastic deformations of lightweight alloys and the welding technology in the automobile which are based on the published research works in the 'HPT, ECAP and rolling', and 'welding technology of the automobile' obtained from Web of Science, and deals with the details of the background data of the HPT, ECAP, and rolling of lightweight alloys, and welding technology of the automobile technology.
Journal of the Korean institute of surface engineering
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v.52
no.4
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pp.203-210
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2019
In this work, anodizing behavior of 6xxx series aluminum alloys was studied under constant current density and constant voltage conditions in 20% sulfuric acid solution by V-t curves, I-t curves, thickness measurement, observations of surface appearance and cross-sectional observation of anodizing films. The film growth rate of the anodizing films on Al6063, Al6061 and Al6082 obtained at 20 V were $0.63{\mu}m/min$. $0.46{\mu}m/min$ and $0.38{\mu}m/min$, respectively. Time to the initiation of imperfections at the oxide/substrate interface under constant current condition was shortened and colors of anodizing films became darker with the amount of alloying elements in 6xxx series aluminum alloys. Based upon the experimental results obtained in this work, it is concluded that maximum anodizing film thickness without interfacial defects is reduced with increasing amount of alloying elements and brighter anodizing films can be obtained by decreasing amount of alloying elements in the aluminum alloys.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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v.33
no.2
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pp.108-113
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2009
The mixing of two dissimilar aluminum alloys in friction stir welding (FSW) was investigated using etching. The results show that the materials from the retreating side mixed into the advancing side in rather narrow and elongated bands whereas the materials from the advancing side mixed into the retreating side in the form of thick bands and lobes. A computational method using smoothed particle hydrodynamics (SPH) is introduced as a way to properly describe the complex mixing behavior in FSW.
Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference
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2001.10a
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pp.202-206
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2001
The purpose of this research was to study the influence of machining characteristics for aluminum alloys. The effect of metallic microstructural variables on the measures of machinability of aluminum alloys has no been adequately investigated. Machining Characteristics are influenced significantly by mechanical characteristics, composition and structure of material etcs. For improvement of machining characteristics, various studies are reported. In this paper, composition elements add to aluminum alloys within the limit of sustaining mechanical characteristics of metallic material. We have analyzed dynamic characteristics of cutting resistance, tensile strength value, hardness value etcs.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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