rf 마그네트론 스퍼터링법에 의해 증착한 Al 첨가된 ZnO 박막의 스퍼터링 타게트 밀도에 따른 물성의 의존성 (DEFENDENCE OF PROPERTIES OF THE AL-DOPED ZNO THIN FILMS DEPOSITED BY RF MAGNTRON SPUTTER ON SPUTTERING TARGET DENSITY)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 1996년도 재료학회 춘계학술발표회
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- pp.39-39
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- 1996