본 연구에서는 고상법 및 flux를 이용하여 $Y_3Al_5O_{12}:Er^{3+}\;(YAG:Er^{3+})$ 분말을 저온에서 성공적으로 합성하였다. 분말의 합성 여부와 분말 하소 시 온도에 따른 결정성을 분석하기 위하여 X-ray diffraction(XRD)를 측정하였다. 순수한 YAG는 일반적인 고상법으로 합성할 경우, $1400^{\circ}C$에서 12시간 동안 하소하여 순수한 YAG 상을 얻을 수 있었고, 반면에 $BaF_2$를 첨가한 결과는 상대적으로 낮은 온도($1000^{\circ}C$)에서 합성되었다. 즉, 합성온도를 약 $400^{\circ}C$ 가량 낮출 수 있는 것으로 나타났다. 또한, $BaF_2$의 최적의 농도를 찾아 첨가 후, 열처리 온도에 따라 $BaF_2$로 인한 입자의 형태 및 크기를 조사하였으며 그에 따른 발광강도에 대하여 논의하였다.
Nickel oxide was doped with a wide range of concentrations (mol%) of Aluminum (Al) by solvothermal synthesis; single-phased nano powder of nickel oxide was generated after calcination at$900^{\circ}C$. When the concentration of Al dopant was increased, the reduced intensity was confirmed through XRD analysis. Lattice parameters of the synthesized NiO powder were decreased after treatment of the dopant; parameters were increased when the concentration of Al was over the doping limit (5 mol% Al). The binding energy of $Ni^{2+}$ was chemically shifted to $Ni^{3+}$ by doping $Al^{3+}$ ion, as confirmed by the XPS analysis. The tilted structure of the synthesized NiO with 5 mol% Al dopant and the polycrystalline structure of the $Ni_{0.75}Al_{0.25}O$ were observed by HR-TEM analysis. The electrical conductivity of the newly synthesized NiO was highly improved by Al doping in the conductivity test. The electrical conductivity values of the commercial NiO and the synthesized NiO with 5 mol% Al dopant ($Ni_{0.95}Al_{0.05}O$) were 1,400 s/cm and 2,230 s/cm at $750^{\circ}C$, respectively. However, the electrical conductivity of the synthesized NiO with 10 mol% Al dopant ($Ni_{0.9}Al_{0.1}O$) decreased due to the scattering of free-electrons caused by the large number of impurity atoms; the electrical conductivity of $Ni_{0.9}Al_{0.1}O$ was 545 s/cm at $750^{\circ}C$.
In order to meet the requirements of faster speed and higher packing density for devices in the field of semiconductor manufacturing, the development of Cu/Low k device material is explored for use in multi-layer interconnection. SiOC(-H) thin films containing alkylgroup are considered the most promising among all the other low k candidate materials for Cu interconnection, which materials are intended to replace conventional Al wiring. Their promising character is due to their thermal and mechanical properties, which are superior to those of organic materials such as porous $SiO_2$, SiOF, polyimides, and poly (arylene ether). SiOC(-H) thin films containing alkylgroup are generally prepared by PECVD method using trimethoxysilane as precursor. Nano voids in the film originating from the sterichindrance of alkylgroup lower the dielectric constant of the film. In this study, methyltriphenylsilane containing bulky substitute was prepared and characterized by using NMR, single-crystal X-ray, GC-MS, GPC, FT-IR and TGA analyses. Solid-state NMR is utilized to investigate the insoluble samples and the chemical shift of $^{29}Si$. X-ray single crystal results confirm that methyltriphenylsilane is composed of one Si molecule, three phenyl rings and one methyl molecule. When methyltriphenylsilane decomposes, it produces radicals such as phenyl, diphenyl, phenylsilane, diphenylsilane, triphenylsilane, etc. From the analytical data, methyltriphenylsilane was found to be very efficient as a CVD or PECVD precursor.
The properties of buffer layer for thermal and chemical stability in coated conductor is a very important issue. $CeO_2$ has desirable thermal and chemical stability as well as good lattice match. In this study, $CeO_2$ was deposited by electron beam deposition. The MgO(001) single crystal and LMO buffered IBAD substrate(LMO/IBAD-MgO/$Y_2O_3/Al_2O_3$/Hastelloy) were used as substrates, which have $\Delta\phi$ values of ${\sim}8.9^{\circ}$. The epitaxial $CeO_2$ films was deposited with high deposition rate of $12{\sim}16\;{\AA}/sec$. During deposition, the change of oxygen partial pressure(${\rho}O_2$) does not cause change in c-axis texture. In case of $CeO_2$ on MgO single crystal, the substrate temperature was optimized at $750^{\circ}C$ with superior $\Delta\phi$ and $\Delta\omega$ value. Otherwise, In case of LMO buffered IBAD substrate, It was optimized at $650^{\circ}C$ with increasing its deposition thickness of $CeO_2$, which was finally obtained with best $\Delta\phi$ value of $5.5^{\circ}$, $\Delta\omega$ value of $2^{\circ}$ and Ra value of 2.2 nm.
The structure of $CS_{7.3}Ag_{4.7}Si_{12}Al_{12}O_{48}$, vacuum dehydrated zeolite A with all Na+ ions replaced by $Cs^+$ and $Ag^+$ as indicated, has been determined by single-crystal x-ray diffraction techniques in the cubic space group, Pm3m (a = 12.282 (1) ${\AA}$). The structure was refined to the final error indices $R_1$$R_2$ (weighted) = 0.099 using 347 independent reflections for whind intlch $I_0\;>\;3{\sigma}(I_0)$. Although deydration occurred at $360^{\circ}C$, no silver atoms or clusters have been observed. The 8-ring sites are occupied only by $Cs^+$ ion, and the 4-ring sites only by a single $Ag^+$ ion. The 6-ring sites contain $Ag^+$ and $Cs^+$ ions with $Ag^+$ nearly in 6-ring planes and $Cs^+$ well off them, one on the sodalite unit side. With regard to the 6-rings, the structure can be represented as a superposition of two types of unit cells: about 70 % have $4Ag^+$ and $4Cs^+$ ions, and the remaining 30 % have $3Ag^+$ and $5Cs^+$. In all unit cells, $3Cs^+$ ions lie at the centers of the 8-rings at sites of D4h symmetry; these ions are approximately 0.3 ${\AA}$ further from their nearest framework-oxygen neighbors than the sum of the appropriate ionic radii would indicate. To minimize electrostatic repulsions, the $Cs^+$ ions at Cs(1) are not likely to occupy adjacent 6-rings in the large cavity; they are likely to be tetrahedrally arranged when there are 4.
For the precise measurements of special nuclear materials (SNM) including Pu and Am isotopes, we have used phoswich detector combination of two single crystal scintillators of Gd3Ga3Al2O12:Ce and CsI:Tl. High detection efficiency and sensitivity along with high figure of merit for the discrimination of these phoswich detectors ensures the detection and discrimination of thermal neutrons and gammas from spontaneous fission of Pu and other isotopes in presence of high gamma background. Using this detector, the low energy gammas, which is stopped completely in 1mm thick disc of GGAG, can be also discriminated from high energies gamma and shows linearity in wide range of sample quantities. By changing only the appropriate shielding, the similar setup was used for thermal neutron detection and shows a very good linearity over wide range. The quantity of a test sample was also calculated accurately by using the measured calibrated plot.
본 연구에서는 Anodic Aluminum Oxide(AAO) 템플레이트 제조 시 알루미늄의 결정방위가 세공 형성에 미치는 영향을 연구하였다. 시료는 직경 20mm 두께 2mm의 세가지 단결정 시편을 사용 하였으며 이는 XRD 장비로 $2{\theta}$ 측정결과를 통해 확인 하였다. 양극 산화전 평활한 면을 얻기 위해 다이아몬드분말로 미세연마하였으며 양극산화는 세가지 시편 모두 동일한 조건에서 2단계공정까지 진행하여 반복 실험 하였다. 결과는 전계방출주사전자현미경(FE-SEM)으로 표면의 세공형태를 관찰 하였다.
Yttria stabilized zirconia (YSZ) thin films were prepared by the electrochemical vapor deposition (EVD) method on the porous Al2O3 substrates which were fabricated by different substrate thickness and porosity. Film growth rates decreased with increase on the substrate thickness and porosity and obeyed a parabolic rate law. Activa-tion energy calculated from the parabolic rate onstants was 69.9 kcal/mol. With increase on the deposition time, monoclinic phase was appeared and then disappeared. YSZ penetrated deeply into substrates when the EVD temperature decreased. Electrical conductivity of the films was 0.09 S/cm at 100$0^{\circ}C$ similar to the value of YSZ single crystal.
Optimization of process variables, including oxygen and water partial pressure and also an nesting temperature, was performed in batch-type process to fabricate YBCO films on LaAlO3 single crystal. In this work, YBCO oxide powder was used as a starting precursor for metal-organic deposition(MOD)method. The precursor films were fabricated in batch furnace and they were converted to the epitaxial YBCO films at the same furnace with varying the process variables. The oxygen partial pressure was varied from 100ppm to 2000ppm and the water partial pressure from 1.2% to 12.2%. The window for optimal P(O2) was narrow about 700ppm for batch-type process. YBCO films in bathc-thype MOD process were optimized at 740-770oC and P(H2O) of 2.3%-7.3%.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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