The effects of the type and thickness of underlayers on the crystallographic texture and the sheet resistance of aluminum thin films were studied. Sputtered Ti and Ti/TiN were examined as the underlayer of the aluminum films. The texture and the sheet resistance of the metal thin film stacks were investigated at various thicknesses of Ti or TiN, and the sheet resistance was measured after annealing at $400^{\circ}C$ in an nitrogen ambient. For the Ti underlayer, the minimum thickness to obtain excellent texture of aluminum <111> was 10nm, and the sheet resistance of the metal stack was greatly increased after annealing due to the interdiffusion and reaction of Al and Ti. TiN between Ti and Al could suppress the Al-Ti reaction, while it deteriorated the texture of the aluminum film. For the Ti/TiN underlayer, the minimum Ti thickness to obtain excellent texture of aluminum <111> was 20nm, and the minimum thickness of TiN to function as a diffusion barrier between Ti and Al was 20nm.
Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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v.10
no.2
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pp.55-59
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2003
In this study, $Al_xTa_{1-x}$(x=0.0∼1.0) alloy thin films were grown by RF-Magnetron sputtering system, and the structural, mechanical and electrical properties of samples were examined by 4-point probe, XRD, AFM and micro-Vickers hardness profiler. The electrical resistivity was maximum and the crystal quality was optimum for the samples with Al content x=0.245 (Al 24.5 at.%). Regarding the surface hillock formation, the hillock density decreased with an increase of Al content for the low Al content range, and the hillock was eliminated for the sample with Al=24.5 at.%. The hillock density increased with the further increase of Al content. The high values of micro-Vickers hardness were obtained for the samples with x=0.2∼0.45. The results obtained demonstrate that the crystal quality, electrical resistivity, surface morphology and micro-hardness are closely inter-related, and that the optimum physical properties are obtained for the sample with x=0.245.
The main aim of the present study is to investigate the effects of several processing parameters on the characteristics of Fe-Al alloy preform manufactured by reactive sintering process. The processing parameters include preform composition of 25, 40, 50, 60 and 75at.%Al, compacting pressure of 10, 20 and $30kg/cm^2$, and mean Al particle size of 29, 66 and $187{\mu}m$. Mean Fe particle size was $39{\mu}m$. The density of preform processed under same compacting pressure was not affected by changing Al composition. The preform with Al compositions of 25, 40, 50 and 60at.% Al swelled after reactive sintering process, thus having lower density than the green compacts. The preform with Al compositions of 75at.%Al, however, shrinked after reactive sintering process, thus having higher density than the green compacts. Ignition temperature increased with increasing compacting pressure, and increased with increasing Al composition at the fixed compacting pressure. And adiabatic temperature decreased with increasing compacting pressure at the fixed Al composition, and increased with increasing Al composition at the fixed compacting pressure. The size of compound particles increased with increasing Al composition. Especially, The size of compound particles increased largely in the case of 75at.%Al. It was observed that 50at.%Al preform have three dimentional network structure having a homogeneous and fine decreasing Al particle size.
Effect of Fe and Mn contents on the tensile properties of Al-4 wt%Mg-0.9 wt%Si alloy system has been studied. Common phases of Al-4 wt%Mg-0.9 wt%Si alloy system were ${\alpha}$-Al, $Mg_2Si$, ${\alpha}-Al_{12}(Fe,Mn)_3Si$ and ${\beta}-Al_5FeSi$. As Fe content of Al-4 wt%Mg-0.9 wt%Si alloy system increased from 0.15 wt% to above 0.3 wt%, ${\beta}-Al_5FeSi$ compound appeared. When Mn content of the alloy increased from 0.3 wt% to 0.5 wt%, morphology of plate shaped ${\beta}-Al_5FeSi$ compound changed to chinese script ${\alpha}-Al_{12}(Fe,Mn)_3Si$. As Fe content of Al-4 wt%Mg-0.9 wt%Si-0.3 wt%Mn alloy increased from 0.15 wt% to 0.4 wt%, tensile strength of the as-cast alloy decreased from 191 MPa to 183 MPa and, elongation of the alloy also decreased from 8.0% to 6.2%. Decrease of these properties can be explained as the formation of plate shape, ${\beta}-Al_5FeSi$ phase with low Mn/Fe ratio of the alloy. However, when Mn content of Al-4 wt%Mg-0.9 wt%Si-0.3 wt%Fe alloy increased from 0.3 wt% to 0.5 wt%, tensile strength of as-cast alloy increased from 181 MPa to 194 MPa and, elongation of the alloy increased from 6.8% to 7.0%. These improvements attribute to the morphology change from ${\beta}-Al_5FeSi$ phase to chinese script, ${\alpha}-Al_{15}(Fe,Mn)_3Si_2$ phase shape-modified from with high Mn/Fe ratio of the alloy.
Journal of the Korean institute of surface engineering
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v.47
no.4
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pp.186-191
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2014
Double layer films which consisted of aluminum(Al) and magnesium(Mg) have been prepared by e-beam deposition. The structure, alloy phase, and corrosion resistance of the prepared films were investigated before and after heat treatment. The first (bottom) layer fixed with Al, and the thickness ratio between Al and Mg layers has been changed from 1 : 1 to 5 : 1, respectively. Total thickness of Al-Mg film was fixed at $3{\mu}m$. The cold-rolled steel sheet was used as a substrate. Heat treatment was fulfilled in an nitrogen atmosphere at the temperature of $400^{\circ}C$ for 2, 3 and 10 min. Surface morphology of as-deposited Al-Mg film having Mg top layer showed plate-like structure. The morphology was not changed even after heat treatment. However, cross-sectional morphology of Al-Mg films was drastically changed after heat treatment, especially for the samples heat treated for 10 min. The morphology of as-deposited films showed columnar structure, while featureless structure of the films appeared after heat treatment. The x-ray diffraction data for as-deposited Al-Mg films showed only pure Al and Mg peaks. However, Al-Mg alloy peaks such as $Al_3Mg_2$ and $Al_{12}Mg_{17}$ appeared after heat treatment of the films. It is believed that the formation of Al-Mg alloy phase affected the structure change of Al-Mg film. It was found that the corrosion resistance of Al-Mg film was increased after heat treatment.
An eco-friendly production technique of Al-8.6Ti-0.025C refiner was developed by melting a Al-Ti master alloy in a graphite crucible, in which the potential nucleation site, TiC effectively formed by the spontaneous in-situ reaction between excessive Ti and carbon from graphite crucible. The A3003 alloy refined by the Al-8.6Ti-0.025C showed effectively refined macrostructure and enhanced mechanical properties comparable to the commercial Al-Ti-B refiner. The effective refinement was achieved in a shorter compare to the melt-treating time commercial Al-Ti-B refiner.
The bi-materials with Al-Mg alloy and its composites reinforced with SiC and $Al_2O_3$ particles were prepared by conventional powder metallurgy method. The A1-5 wt%Mg and composite mixtures were compacted under $150{\sim}450\;MPa$, and then the mixtures compacted under 400 MPa were sintered at $773{\sim}1173K$ for 5h. The obtained bi-materials with Al-Mg/SiCp composite showed the higher relative density than those with $Al-Mg/Al_2O_3$ composite after compaction and sintering. Based on the results, the bi-materials compacted under 400 MPa and sintered at 873K for 5h were used for mechanical tests. In the composite side of bi-materials, the SiC particles were densely distributed compared to the $Al_2O_3$ particles. The bi-materials with Al-Mg/SiC composite showed the higher micro-hardness than those with $Al-Mg/Al_2O_3$ composite. The mechanical properties were evaluated by the compressive test. The bi-materials revealed almost the same value of 0.2% proof stress with Al-Mg alloy. Their compressive strength was lower than that of Al-Mg alloy. Moreover, impact absorbed energy of bi-materials was smaller than that of composite. However, the bi-materials with Al-Mg/SiCp composite particularly showed almost similar impact absorbed energy to $Al-Mg/Al_2O_3$ composite. From the observation of microstructure, it was deduced that the bi-materials was preferentially fractured through micro-interface between matrix and composite in the vicinity of macro-interface.
Al2O3/t-ZrO2 particulate composites were prepared by sintering at 150$0^{\circ}C$ and 1$600^{\circ}C$ for 2h in air and microstructure and mechanical properties of the composites were investigated. Although most ZrO2 particles existed at Al2O3 grain boundaries a few ZrO2 particles within Al2O3 grains. Al2O3 grain growth was depressed due to the pinning effect by ZrO2 particles. During sintering coarsening of intergranular ZrO2 particles occurred as a results of the elimination of ZrO2 intraagglomerate grain boundaries and the coalescence of dragged ZrO2 particles by migrating Al2O3 grain boundries. Changes in mechanical properties of Al2O3 composites were dependant on microstructure of Al2O3 matrix and on size and structure of dispersed ZrO2.
Kim, Hye-Seong;Jeong, Jae-Pil;Gwon, Suk-In;Geum, Dong-Hwa
Korean Journal of Materials Research
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v.8
no.12
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pp.1127-1132
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1998
The possibilities of producing Al-10%Ti-4%Fe composites through in-situ processing and thus achieving mechanical property improvements over binary Al-10%Ti to a level or higher exhibited by PM SiC/A12124 composites were explored in this study. The microstructure of in-situ processed Al-10%Ti-4%Fe composites was similar to that of Al matrix composites reinforced with discontinuous SiC particulates(SiC/A12124) and significant enhancements in elastic modulus, tensile strength and wear resistance were observed as compared to Al-10%Ti alloy. These results can be attributed to the in-situ formed Al. Fe by third element addition, leading to additional dispersion strengthening effect over $Al_3Ti$ phase reinforcement in Al-Ti system.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2013.02a
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pp.384-384
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2013
본 연구에서는 e-beam 증착을 이용하여 Al, Mg 단일 금속으로 다층형 Al-Mg 코팅층을 제조하여 특성 분석 및 내식성을 평가하였다. Al-Mg 코팅층은 99.99%의 Al, 99.9%의 Mg grain을 사용하여 E-Beam 가열을 통해 냉연강판 위에 코팅하였다. 증발물질과 기판과의 거리는 48 cm이며, 기판은 세척을 실시한 후 진공 챔버에 장착하고 ~10-5 Torr 까지 진공배기를 실시하였다. 진공챔버가 기본 압력까지 배기되면 아르곤 가스를 주입하고 기판홀더에 800 V의 직류 전압을 인가하여 약 30분간 글로우 방전 청정을 실시하였다. 기판의 청정이 끝나면 아르곤 가스를 차단하고 코팅층의 구성형태에 따라 Al 또는 Mg을 코팅하였다. 다층형 Al-Mg 코팅층은 2층에서 최대 6층까지 제조하였으며 $3{\mu}m$의 두께를 기준으로 Al과 Mg 코팅층의 두께비가 각각 1:1 과 2:1이 되도록 코팅하였다. 6층 이상에서는 코팅층의 두께 제어가 쉽지 않기 때문에 층수는 6층으로 제한하였다.다층형 Al-Mg 코팅층을 주사전자현미경으로 관찰한 결과, Al-Mg 코팅층간의 계면을 관찰할 수 있었다. 또한 글로우방전분광기로 Al-Mg 코팅층을 관찰한 결과, Al과 Mg 코팅층이 균일한 다층 구조를 형성하고 있는 것을 확인할 수 있었다. 다층의 Al-Mg가 코팅된 강판을 염수분무시험을 통해서 내부식 특성을 확인하였다. Al-Mg 코팅 강판의 염수분무시험 결과, Al-Mg 코팅층의 층수가 증가할 수록 내부식 특성이 향상되는 것을 확인할 수 있었으며, 이러한 현상은 Al-Mg 코팅층이 다층으로 형성되어 있어 부식 생성물을 효과적으로 차단하여 강판의 부식을 방지한 것으로 판단된다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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