Influences of Structural Features on Electrical Properties and Heating Characteristics of Al-Ta Alloy Thin Films (Al-Ta 합금박막의 구조적 인자가 전기적 특성 및 발열 특성에 미치는 영향)
-
- Journal of the Microelectronics and Packaging Society
- /
- 제11권4호
- /
- pp.23-27
- /
- 2004