A Strategy on the Growth of Large Area Polycrystalline Si Virtual Substrate Using Al-Induced Crystallization (알루미늄 유도 결정화를 이용한 대면적 다결정 Si 가상 기판 성장 전략)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.37 no.1
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- pp.26-35
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- 2024