• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 1997.05a
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• pp.40-40
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• 1997

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 1998.11a
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• pp.75-75
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• 1998

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2011.06a
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• pp.667-668
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• 2011

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2003.05a
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• pp.44-44
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• 2003

• Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference
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• 1999.10a
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• pp.138-139
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• 1999

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.290-290
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• 2012

본 실험에서는 RF magnetron sputtering법과 evaporator법을 이용하여 다층박막 OMO구조를 $30{\times}30mm$ 유리기판 위에 제작하였다. Oxide층은 Sputter장비를 이용 IGZO막을 제작하였으며, Metal 층은 evaporator장비를 이용 Ag 막을 제작하였다. 변수로는 Oxide층의 시간에 따른 특성 변화를 연구하였다. 소결된 타겟으로는 In:Ga:ZnO를 각각 1:1:1 mol%의 조성비로 혼합하여 이용하였으며, Ag는 99.999%의 순도를 가진다. Oxide층의 RF sputter 공정 조건으로는 초기압력 $3.0{\times}10^{-6}$ Torr 이하로 하였으며, 증착 압력 $2.0{\times}10^{-2}$ Torr, Rf power 30 W, Ar gas 50 sccm으로 고정 시켰으며, 변수로는 5, 7, 9, 11분은 시간 차이를 두어 증착을 하였다. Metal층의 Evaporator 공정조건으로는 $5.0{\times}10^{-6}$ Torr이하, 전압은 0.3 V, Thickness moniter로 두께를 확인해가며 증착하였으며, $100{\AA}$으로 고정시켰다. 분석결과로는 XRD 측정 결과 35도 부근에서 Ag 피크가 관찰되었다. IGZO막 하나일때 90% 이상의 평균 투과율을 보였으며, 3층의 구조가 모두 증착됐을때의 투과도는 가시광영역에서 평균 80% 이상의 투과율을 보였으며, 500 nm부터 투과율이 떨어지기 시작해 800 nm부근에서는 평균 투과율이 30%까지 떨어져 Metal층인 Ag가 하나의 layer로 잘 증착이 된것을 보여주며, 플라즈몬효과를 보여줌을 알수있다. AFM측정 결과 평균 거칠기는 1.2 nm 정도의 거칠기를 확인했다. 홀 측정결과 전기적 특성은 발견되지 않았다.

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.4 no.4
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• pp.307-312
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• 1994

The magneto-optical Kerr effect due to the (Fe,Co)/(Pd,Pt,Cu,Ag) multilayer film is calculated considering of multiple reflection effect, and the calculated Kerr spectrum is compared to the reported experimental value. In case of Co/Pd, the reliance of composition and the variable tendency of magneto-optical Kerr rotation angle for Co thickness fully coresponds to experimantal and theoretical value. The theoretical Kerr spectrum of Fe/Cu and Fe/Ag multilayer films show the peaks near the Cu and Ag optical ansorption band in accordance with the experiment. But in case of Co/Pt, the increase tendency of Kerr rofation with decreasing wavelength reported by experiments could not be explained by the optical multiple interference. This difference of theoretical and experimental Kerr spectrum of Co/Pt film might be related with the change of electronic structure of Co and/or Pt from their bulk state.

• Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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• v.26 no.5
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• pp.347-350
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• 2013

By inserting a very thin metal layer of Ag between two outer oxide layers of amorphous silicon indium zinc oxide (SIZO), we fabricated a highly transparent SIZO/Ag/SIZO multilayer on a glass substrate. In order to find the optimized thickness of Ag layers, we investigated the variation of optical properties depending on Ag thickness. It was found that the transition of Ag layer from island formation to a continuous film occurred at a critical thickness. Continuity of the Ag film is very important for optical properties in SIZO/Ag/SIZO multilayer. With about 15 nm thick Ag layer, the multilayer showed a high optical transmittance of 80% at 550 nm and low emissivity in IR.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2001.02a
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• pp.262-263
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• 2001

저방출 코팅(low-e coating)이란 열 방출에 해당하는 적외선 파장이 가능한 작게 투과하도록 기판 위에 박막을 증착하는 방법이다. 그러므로 유리 기판 위에 저방출 코팅을 하는 것은 냉방시설을 갖춘 건축물 내부에서 에너지 절약과 쾌적한 환경을 구현하거나 자동차 내부의 빠른 온도상승을 저하시키는데 이용될 수 있다. 본 연구에서는 원격 조정 장치의 적외선 파장이 디스플레이의 광원에서 나올 수 있는 동일 파장에 의해 간섭을 받지 않도록 적외선 영역의 투과율은 낮추고 가시광선 영역의 투과율은 높이는 설계를 하고 최적화 하였다. (중략)

• Journal of the Semiconductor & Display Technology
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• v.16 no.2
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• pp.27-31
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• 2017

AZO/Ag/AZO multi-layer films deposited on glass substrate by RF magnetron sputtering and thermal evaporator have a much better electrical properties than Al-doped ZnO thin films. The multi-layer structure consisted of three layers, AZO/Ag/AZO, the electrical and optical properties of AZO/Ag/AZO were changed mainly by thickness of Ag layers. The optimum thickness of Ag layers was determined to be $90{\AA}$ for high optical transmittance and good electrical conductivity. The Ag layers thickness $90{\AA}$ is an optical transmittance greater than 80% of visible light and the obtained multilayer thin film with the low resistivity of $8.05{\times}10-3{\Omega}cm$ and the low sheet resistance $5.331{\Omega}/sq$. Applying to TCO and Solar electrode will improve efficiency.